本項目專注于晶圓光刻過程的仿真,采用先進的機器人技術(shù)和自動化手段,提高精度、一致性和效率。該系統(tǒng)包括一個帶有抓手的機械臂以及四個關(guān)鍵設備:加熱板、旋涂機、晶圓清洗機和無掩模直接寫入對準儀(MLA150),這些設備都集成在一個中央工作區(qū)周圍。我們使用西門子Tecnomatix Process Simulate提供的詳細3D仿真環(huán)境來建模和優(yōu)化制造過程。仿真涵蓋了17個相互連接的步驟,每個步驟都由可編程邏輯控制器(PLC)控制,確保操作無縫進行并保持高生產(chǎn)質(zhì)量。該方法旨在減少人力資源,降低生產(chǎn)風險,并確保在制造約瑟夫森參量放大器(JPA)時達到最高質(zhì)量和可靠性標準。該項目強調(diào)了數(shù)字化制造解決方案在現(xiàn)代光刻中的潛力,為未來的應用提供了一個可擴展且高效的模型。
The OSM (Open Standard Module) specification, officially adopted by the SGET (Standardization Group for Embedded Technologies e.V.) in 2021, heralded the world’s first manufacturer-independent standar
The Standardization Group for Embedded Technologies e.V. (SGET) was established in 2012 by founding members Advantech, congatec, Data Modul, Kontron, MSC, and SECO. Today, the standardization body has