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[摘要]
微米級(jí)小目標(biāo)通常是溫度檢測(cè)的難點(diǎn),接觸式溫度計(jì)由于其傳感器尺寸限制 ,對(duì)于1mm以下的目標(biāo)是無(wú)法檢測(cè)的,高端紅外熱像儀配套專(zhuān)用的微距鏡頭, 可對(duì)最小32微米的目標(biāo)進(jìn)行有效檢測(cè),本文檔以案例敘述使用大師之選系列熱像儀對(duì)微米級(jí)芯片進(jìn)行溫度