多重曝光簡(jiǎn)介
[摘要]

利用多重曝光可在當(dāng)今最先進(jìn)的節(jié)點(diǎn)上獲得精確的光刻分辨率。了解此技術(shù)的基礎(chǔ)知識(shí),以及它對(duì)您的IC設(shè)計(jì)和驗(yàn)證任務(wù)與職責(zé)帶來的影響。

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Siemens Digital Industries Software簡(jiǎn)介
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