加速度計在很多市場中都有著重要的作用。智能手機中會用到加速度計,汽車中也會用到加速度計。測量速度的變化率似乎可以有無限的應用。雖然有很多設計技術可用來創(chuàng)建加速度計,但 MEMSIC® Inc. 使用Tanner工具開發(fā)了沒有可動部件的MEMS和CMOS IC 技術。采用獨特的熱技術,通過被加熱的氣體分子測量加速度。
要將混合信號處理與MEMS器件設計到同一芯片上非常困難,不過MEMSIC已成功將這些技術集成到同一硅片上,并且已向各行業(yè)售出了數(shù)百萬的加速度計。該公司還克服了另外兩大障礙,做到了堅持使用標準 CMOS IC 工藝從而維持低成本生產并且使用Tanner的單套工具將開發(fā)標準化。本白皮書介紹了他們是如何完成這一壯舉的。