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多重曝光中的顏色優(yōu)化注意事項(xiàng)
[摘要]

在先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)中，要實(shí)現(xiàn)最佳性能和良率，需要超越設(shè)計(jì)規(guī)則的最低要求來(lái)優(yōu)化版圖。任何多重曝光版圖都有多種能通過(guò)多重曝光設(shè)計(jì)規(guī)則檢查 (DRC) 的著色配置。但是，選擇最佳著色方案可以提高制造良率和設(shè)計(jì)性能裕量。了解 Calibre Multi-Patterning 自動(dòng)著色解決方案及其內(nèi)置的分析功能如何大幅簡(jiǎn)化選擇最佳著色方案的工作，無(wú)論版圖如何復(fù)雜。
資源類型：pdf
資源大?。?/span>1.7MB
所屬分類：技術(shù)方案
Siemens Digital Industries Software簡(jiǎn)介
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