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4nm芯片再現(xiàn)功耗問(wèn)題,先進(jìn)制程芯片如何破解漏電“魔咒”

2022/04/22
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近日,多款采用4nm制程芯片的手機(jī),被用戶吐槽存在發(fā)熱量高和功耗高等方面的問(wèn)題。據(jù)了解,此次涉嫌功耗過(guò)熱的三款頂級(jí)手機(jī)芯片,分別是高通驍龍8 Gen 1、三星Exynos 2200、聯(lián)發(fā)科天璣9000,均為目前各廠商高端芯片的代表。同時(shí),天璣9000的生產(chǎn)商為臺(tái)積電,Exynos 2200和驍龍 8 Gen 1的生產(chǎn)商三星,為排名前兩位的芯片代工制造商。

去年年初,5nm芯片就因發(fā)熱問(wèn)題被頻頻吐槽,如今4nm芯片再度陷入同樣的困境:先進(jìn)工藝制程芯片存在漏電流問(wèn)題,導(dǎo)致發(fā)熱量過(guò)高,似乎已經(jīng)成為一種“魔咒”,是芯片制程工藝最大障礙之一。芯片的工藝制程仍在不斷延伸,未來(lái)如何有效破解漏電“魔咒”已經(jīng)成為整個(gè)芯片制造領(lǐng)域的努力方向。

短溝道效應(yīng)帶來(lái)的挑戰(zhàn)

一般情況下,根據(jù)登納徳縮放比例定律,隨著芯片尺寸的縮小,所需的電壓和電流也會(huì)下降,由于功耗會(huì)受電壓和電流的影響,當(dāng)制程工藝提升、電壓和電流隨之下降時(shí),其芯片產(chǎn)生的功耗也會(huì)降低。臺(tái)積電表示,與7nm工藝相比,同樣性能下5nm工藝的功耗降低30%,同樣的功耗下則性能提升了15%。

然而,隨著芯片制程進(jìn)入5nm,卻頻頻出現(xiàn)功耗過(guò)高的問(wèn)題。北京超弦存儲(chǔ)器研究院執(zhí)行副院長(zhǎng)、北京航空航天大學(xué)兼職博導(dǎo)趙超認(rèn)為,短溝道效應(yīng)是造成4nm、5nm等先進(jìn)工藝出現(xiàn)功耗問(wèn)題的主要原因之一,也成為了先進(jìn)制程發(fā)展中最大的阻礙。

半導(dǎo)體制造中,集成電路的尺寸隨著摩爾定律的發(fā)展而持續(xù)縮小,溝道長(zhǎng)度也相應(yīng)地縮短,這就導(dǎo)致了溝道管中的S和D(源和漏)的距離越來(lái)越短。因此柵極對(duì)溝道的控制能力變差,這就意味著柵極電壓夾斷溝道的難度變大,即產(chǎn)生短溝道效應(yīng),從而出現(xiàn)嚴(yán)重的電流泄露(漏電)現(xiàn)象,最終讓芯片的發(fā)熱和耗電失控。

“5nm、4nm芯片所采用的都是FinFET(鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管)結(jié)構(gòu)。FinFET結(jié)構(gòu)在芯片制程進(jìn)入28nm后,相比較于平面MOSFET器件結(jié)構(gòu),具有更強(qiáng)的柵極控制能力,F(xiàn)inFET結(jié)構(gòu)可通過(guò)增加?xùn)艠O與溝道的接觸面積,來(lái)增強(qiáng)對(duì)導(dǎo)電溝道的控制。溝道接觸面積的增長(zhǎng),可以從一定程度上緩解短溝道效應(yīng),從而將芯片制程繼續(xù)延伸。然而,隨著芯片制程逐漸延伸到5nm及5nm以下,采用FinFET結(jié)構(gòu)先進(jìn)制程的芯片,也出現(xiàn)了短溝道效益造成漏電現(xiàn)象。這也與FinFET本身的結(jié)構(gòu)有關(guān)。FinFET所采用的是三面柵的結(jié)構(gòu),并非四面環(huán)繞式的結(jié)構(gòu),其中一個(gè)方向沒有柵極的包裹。隨著芯片制程的不斷減小,F(xiàn)inFET三面柵的結(jié)構(gòu)對(duì)于漏電的控制能力也在逐漸減弱,造成芯片再次出現(xiàn)功耗問(wèn)題。”趙超表示。

如何破解漏電“魔咒”?

未來(lái)芯片制程仍將繼續(xù)向3nm甚至2nm延伸,人們也在積極考慮如何解決漏電流所導(dǎo)致的功耗與發(fā)熱問(wèn)題,包括更換新材料、采用新架構(gòu)——GAA(環(huán)繞式柵極)結(jié)構(gòu)等,以期打破長(zhǎng)久以來(lái)存在的漏電“魔咒”。

在材料方面,趙超介紹,采用具有高介電常數(shù)的柵介質(zhì)材料替代原本的二氧化硅材料,可有效解決短溝道效應(yīng)造成柵極漏電的問(wèn)題。而二氧化鉿屬于高介電常數(shù)的材料,以二氧化鉿來(lái)替代二氧化硅作為柵介質(zhì)材料,可有效提高介電常數(shù),減少漏電情況,并有效增加電容荷電的能力。

同時(shí),隨著芯片制程的延伸,采用四面環(huán)柵結(jié)構(gòu)的GAA技術(shù)逐漸受到更多地關(guān)注。復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院副院長(zhǎng)周鵬表示,相較于三面圍柵的FinFET結(jié)構(gòu),GAA技術(shù)的四面環(huán)柵結(jié)構(gòu)可以更好地抑制漏電流的形成以及增大驅(qū)動(dòng)電流,進(jìn)而更有利于實(shí)現(xiàn)性能和功耗之間的有效平衡。因此,GAA技術(shù)在5nm之后更小的制程中,更受到業(yè)界的普遍認(rèn)可和青睞。

然而,無(wú)論是新材料,還是GAA技術(shù),都難以在短時(shí)間內(nèi)解決問(wèn)題。有研究人員發(fā)現(xiàn),若想在碳納米管晶體管中使用二氧化鉿來(lái)替代二氧化硅成為柵極電介質(zhì)材料,二氧化鉿同樣難以在所需的薄層中形成高介電常數(shù)的電介質(zhì)。

GAA結(jié)構(gòu)的量產(chǎn)實(shí)現(xiàn)同樣困難重重。據(jù)了解,近期三星采用GAA結(jié)構(gòu)打造的3nm芯片,良率僅在10%~20%之間。而臺(tái)積電在其第一代3nm制程中仍將保持采用FinFET工藝。

“在半導(dǎo)體領(lǐng)域當(dāng)中,任何一種技術(shù)的轉(zhuǎn)換或更迭,往往需要經(jīng)歷多年的試錯(cuò)和改進(jìn),GAA結(jié)構(gòu)雖然在5nm以下的制程中,具有較為明顯的優(yōu)勢(shì),但其最終能否實(shí)現(xiàn)預(yù)期的高性能和低功耗,還取決于其制程中所面臨的技術(shù)難題能否被一一攻克。”周鵬說(shuō)。

4nm并非噱頭

對(duì)于此次4nm芯片出現(xiàn)功耗問(wèn)題,也有消費(fèi)者質(zhì)疑,4nm是否只是一個(gè)商業(yè)噱頭?4nm與5nm技術(shù)實(shí)則并無(wú)太大差異,否則為何高功耗、高發(fā)熱的問(wèn)題依然如故?

一般而言,對(duì)于芯片工藝的名稱數(shù)字,是以0.7倍為節(jié)奏演進(jìn)的,例如,14nm工藝之后,完整的工藝迭代應(yīng)當(dāng)是10nm(14nm x0.7≈10nm),10nm之后是7nm,7nm之后是5nm。若按此規(guī)則演進(jìn),5nm后究竟應(yīng)該是4nm還是3nm,在四舍五入規(guī)則下似乎并不明確。但在代工廠的約定俗成下,5nm的完整工藝迭代應(yīng)為3nm。因此,4nm應(yīng)當(dāng)屬于5nm和3nm的過(guò)渡工藝,其角色定位與此前推出的8nm(10nm和7nm的過(guò)渡工藝)、6nm(7nm和5nm的過(guò)渡工藝)類似。在各代工廠3nm工藝紛紛延后的情況下,4nm出現(xiàn)的價(jià)值似乎在于填補(bǔ)這一時(shí)間內(nèi)的市場(chǎng)空白。

然而,這并不意味著4nm工藝等同于5nm。4nm工藝雖然不屬于5nm工藝的“完整迭代”,但也是“同代演進(jìn)”。臺(tái)積電曾承諾,其最新4nm工藝,比5nm的性能提升11%,能效提高22%。

對(duì)此有專家解釋,造成4nm工藝芯片出現(xiàn)功耗問(wèn)題的因素有很多,難以一概而論。架構(gòu)、器件等都是會(huì)影響芯片最終性能的因素。同樣被稱為4nm工藝芯片,臺(tái)積電和三星的芯片工藝細(xì)節(jié)也大為不同。隨著摩爾定律的不斷演進(jìn),芯片尺寸的縮小幅度已經(jīng)非常有限,這已經(jīng)不能成為衡量芯片工藝制程演進(jìn)的唯一標(biāo)準(zhǔn)。

作者丨沈叢

編輯丨連曉東

美編丨馬利亞 

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