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計算光刻

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光刻工藝過程可以用光學和化學模型，借助數(shù)學公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級被投影透鏡收集并會聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個光學過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學反應，烘烤后導致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學過程。計算光刻就是使用計算機來模擬、仿真這些光學和化學過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導工藝參數(shù)的優(yōu)化。

光刻工藝過程可以用光學和化學模型，借助數(shù)學公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級被投影透鏡收集并會聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個光學過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學反應，烘烤后導致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學過程。計算光刻就是使用計算機來模擬、仿真這些光學和化學過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導工藝參數(shù)的優(yōu)化。收起

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