改進(jìn)晶圓制造工藝,探索蝕刻終點(diǎn)的全光譜等離子監(jiān)測(cè)解決方案
滿足當(dāng)今技術(shù)創(chuàng)新的繁榮發(fā)展和復(fù)雜多變的產(chǎn)業(yè)環(huán)境,半導(dǎo)體代工廠需要定量、準(zhǔn)確和高速的過(guò)程測(cè)量。海洋光學(xué)(Ocean Insight)與等離子蝕刻技術(shù)的領(lǐng)先創(chuàng)新者合作,探索適用于檢測(cè)關(guān)鍵晶圓蝕刻終點(diǎn)的全光譜等離子監(jiān)測(cè)解決方案。