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離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種,應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經(jīng)過(guò)加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等。2021年,中國(guó)電科離子注入機(jī)亮相第十三屆中國(guó)國(guó)際航空航天博覽會(huì)。
離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種,應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經(jīng)過(guò)加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等。2021年,中國(guó)電科離子注入機(jī)亮相第十三屆中國(guó)國(guó)際航空航天博覽會(huì)。收起
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