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離子注入

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離子注入是指當(dāng)真空中有一束離子束射向一塊固體材料時(shí),離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面,這個(gè)現(xiàn)象叫做濺射;而當(dāng)離子束射到固體材料時(shí),從固體材料表面彈了回來(lái),或者穿出固體材料而去,這些現(xiàn)象叫做散射;另外有一種現(xiàn)象是,離子束射到固體材料以后,受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來(lái),并最終停留在固體材料中的這一現(xiàn)象叫作離子注入。

離子注入是指當(dāng)真空中有一束離子束射向一塊固體材料時(shí),離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面,這個(gè)現(xiàn)象叫做濺射;而當(dāng)離子束射到固體材料時(shí),從固體材料表面彈了回來(lái),或者穿出固體材料而去,這些現(xiàn)象叫做散射;另外有一種現(xiàn)象是,離子束射到固體材料以后,受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來(lái),并最終停留在固體材料中的這一現(xiàn)象叫作離子注入。收起

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