供貨國產半導體設備龍頭！江蘇先鋒精科沖刺IPO，中微公司、中芯國際持股

作者?|??ZeR0
編輯?|??漠影

刻蝕設備配套零部件已批量應用在國際最先進5nm芯片生產線及下一代更先進生產線上。

芯東西6月9日報道，昨日，國內半導體設備精密零部件供應商江蘇先鋒精密科技股份有限公司（簡稱“先鋒精科”）科創(chuàng)板IPO獲受理。

先鋒精科成立于2008年3月，是國內半導體刻蝕和薄膜沉積設備細分領域關鍵零部件的精密制造專家，尤其在國際公認的技術難度僅次于光刻設備的刻蝕設備領域，是國內少數已量產供應7nm及以下國產刻蝕設備關鍵零部件的供應商。

作為國家高新技術企業(yè)，先鋒精科擁有江蘇省晶圓刻蝕設備關鍵零部件智能車間和大規(guī)模集成電路高端裝備精密零部件智能制造車間，同時也是江蘇省氣相沉積設備部件工程技術研究中心、江蘇省基于5nm芯片工藝刻蝕設備PM模塊工程研究中心。其法定代表人、控股股東、實際控制人為公司董事長兼總經理游利。此次IPO，先鋒精科擬募資7億元，用于靖江精密裝配零部件制造基地擴容升級、無錫先研設備模組生產與裝配基地、無錫先研精密制造技術研發(fā)中心及補充流動資金項目。

01.三年營收11億元，累計導入逾8500種新零部件開發(fā)

刻蝕設備、薄膜沉積設備是半導體晶圓前道生產的重要設備，其制造技術難度僅次于光刻設備。先鋒精科自設立時起即確立了專注刻蝕設備、薄膜沉積設備等半導體核心設備中的核心零部件的“雙核”產品路線，現已在精密機械制造技術、表面處理技術、焊接技術三大重點技術領域形成了豐富的工程技術能力，在高端器件領域形成了自主設計和開發(fā)技術，同時發(fā)展了定制化工裝開發(fā)及應用能力。

2020年、2021年、2022年，先鋒精科的營收分別為2.02億元、4.24億元、4.70億元，復合增長率為52.66%；凈利潤分別為-0.38億元、1.05億元、1.05億元；研發(fā)費用分別為0.13億元、0.22億元、0.31億元。

▲2020年~2022年先鋒精科的營收、凈利潤和研發(fā)費用（單位：億元，芯東西制圖）

該公司形成了關鍵工藝部件、工藝部件、結構部件三大類主要產品，重點應用于刻蝕設備和薄膜沉積設備等半導體核心設備中。在刻蝕領域，先鋒精科主要提供以反應腔室、內襯為主的系列核心配套件; 在薄膜沉積領域，先鋒精科主要提供加熱器、勻氣盤等核心零部件及配套產品。報告期內，其主營業(yè)務收入構成如下：

不同類別產品的區(qū)分如下：

報告期各期，先鋒精科與同行業(yè)可比公司的綜合毛利率對比如下：

其毛利率介于同行業(yè)可比公司之間，高于富創(chuàng)精密、京鼎精密、Ferrotec和超科林，低于珂瑪科技。主要原因是富創(chuàng)精密、京鼎精密及超科林主營產品中均包含半導體設備模組類產品，由于模組類產品外購零部件成本占比較大，因此毛利率較低。Ferrotec產品類型較多，與先鋒精科產品差異較大。珂瑪科技主營業(yè)務為陶瓷類半導體設備零部件，原材料成本比先鋒精科主營業(yè)務的金屬原材料成本低，因此毛利率較高。

截至2022年12月31日，先鋒精科共擁有608名員工，其中研發(fā)人員75名，占比12.34%。截至招股書簽署日，該公司已形成18項發(fā)明專利及54項實用新型專利。報告期內，先鋒精科累計導入逾8500種新零部件開發(fā)，逐年增加，在多種關鍵工藝零部件上實現國產化突破。

02.北方華創(chuàng)、中微公司、中芯國際為前三大客戶

零部件是半導體設備國產化的重要載體，先鋒精科憑借產品專精的特點在刻蝕和薄膜沉積設備的 關鍵零部件上實現了國產化的自主可控。?自設立時起，先鋒精科即與中國裝備龍頭企業(yè)北方華創(chuàng)和中微公司開展密切合作，作為核心零部件的重要供應商協助客戶諸多設備經歷了研發(fā)、定型、量產和迭代至先進制程的完整歷程。

除北方華創(chuàng)和中微公司外，公司還與拓荊科技、華海清科、中芯國際、屹唐股份等其他行業(yè)頭部設備客戶和終端晶圓制造客戶建立了長期穩(wěn)定的戰(zhàn)略合作關系。

目前，其產品已經批量應用于國內頭部半導體設 備制造商，并成為該等客戶同類產品的重要供應商之一。例如，在中微公司批量生產的應用于7nm及以下制程芯片生產線的CCP刻蝕設備及其氮化鎵基LED MOCVD設備領域，先鋒精科是關鍵工藝部件——腔體、勻氣盤的核心供應商，在國內半導體刻蝕和薄膜沉積設備的核心金屬零部件領域占據重要地位。

先鋒精科向國內龍頭半導體設備企業(yè)提供的腔體為核心的刻蝕設備配套零部件，已批量應用在國際最先進5nm芯片生產線及下一代更先進生產線上；在中微公司占據全球市場領先地位的氮化鎵基LED MOCVD設備中，其關鍵工藝部件勻氣水冷盤為先鋒精科提供。

2020年-2022年，先鋒精科向前五大客戶的銷售收入合計分別為1.63億元、3.53億元、3.85億元，占同期營收的比例分別為80.74%、83.37%、81.90%，客戶集中度較高。比重保持穩(wěn)定，不存在向單個客戶的銷售比例超過總額的50%或嚴重依賴于少數客戶的情形。

先鋒精科產品獲得主要客戶高度認可，腔體、內襯、加熱器、勻氣盤等關鍵工藝部件是主要客戶刻蝕設備及薄膜沉積設備的重要供應商。報告期內，其重大產品銷售合同具體情況如下：

先鋒精科半導體設備零部件產品的原材料主要包括鋁、不銹鋼、鎳等金屬。報告期內，直接材料占其主營業(yè)務成本的比例分別為44.00%、47.04%、45.97%，占比較高。根據IPO文件，報告期內，先鋒精科原材料、定制件、外協供應商結構較為穩(wěn)定。

03.刻蝕設備龍頭中微公司是第九大股東

截至招股書簽署日，先鋒精科擁有靖江先捷、無錫先研和先鋒精密（新加坡）等3家全資子公司。國產刻蝕機龍頭企業(yè)中微公司、北京集成電路基金分別是先鋒精科的第九大、第十大股東。

除中微公司直接持有先鋒精科1.93%的股份、中芯國際通過中小企業(yè)發(fā)展基金間接持股0.91%、北方華創(chuàng)通過北京集成電路基金間接持股（比例小于0.01%）外，先鋒精科及其控股股東、實際控制人、董事、監(jiān)事、高級管理人員與其前五大客戶之間不存在持股及關聯關系情況。其實際控制人游利是公司董事長兼總經理。本次發(fā)行前，游利直接持有公司21.36%的股份，通過英瑞啟、優(yōu)正合伙、優(yōu)合合伙及與XU ZIMING之間的一致行動關系間接控制公司31.29%的股份，合計控制公司52.64%的股份表決權。其他持股5%以上的主要股東有優(yōu)立佳合伙、英瑞啟、優(yōu)正合伙、李歡和XU ZIMING。先鋒精科董事、監(jiān)事、高級管理人員及核心技術人員最近一年從先鋒精科及其關聯企業(yè)領取收入的情況如下：

04.結語：國產廠商已在多個領域實現了突破

中國半導體產業(yè)在裝備水平和數量上與發(fā)達國家仍存在較大差距。近年來，隨著美國對中國半導體行業(yè)的封鎖愈演愈烈，國產替代已成為行業(yè)內部亟待解決的需求，對應零部件廠商也積極加大研發(fā)力度，不斷提升研發(fā)水平和產能。

雖然目前仍然與國際龍頭企業(yè)有一定差距，但國產廠商已經在多個領域實現了突破，如先鋒精科、富創(chuàng)精密、珂瑪科技、江豐電子、新萊應材和晶盛機電等廠商已經實現相關零部件產品的量產，并且未來還將進一步拓寬品類、擴大產能、一方面提高成熟制程零部件的使用周期和良率，一方面向7nm及以下先進制程精進。隨著國家對產業(yè)鏈安全更加重視，這將促進內資半導體精密零部件制造企業(yè)的進一步發(fā)展。