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7月6消息，據(jù)DigiTimes報(bào)道，荷蘭光刻機(jī)大廠ASML正在考慮發(fā)布其深紫外光刻 (DUV) 設(shè)備的特殊版本，以便使得該設(shè)備符合美國(guó)及荷蘭最新的出口規(guī)則，并且無(wú)需許可證即可運(yùn)送給中國(guó)客戶。
報(bào)道稱，該特別版DUV光刻機(jī)基于 Twinscan NXT: 1980Di 光刻系統(tǒng)改造，而NXT:?1980Di 是 10 年前推出的舊型號(hào)，不在限制范圍內(nèi)。
芯智訊在此前《荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備出口限制新規(guī)詳解》當(dāng)中有指出，荷蘭政府的對(duì)于DUV光刻機(jī)的限制要求是需要同時(shí)滿足最小可分辨特征尺寸小于或等于45nm和DCO值小于或等于1.50nm這兩個(gè)條件，因此，ASML的NXT1980系列（分辨率為38納米左右，但DCO值是小于等于1.6nm）依然可以不受荷蘭新規(guī)限制，不需要許可就能夠向中國(guó)出口。
ASML的聲明也表示，根據(jù)荷蘭新的出口管制條例規(guī)定，ASML TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)需要向荷蘭政府申請(qǐng)出口許可證才能出口。而目前有在售NXT1980系列則不受影響。
雖然去年10月美國(guó)出臺(tái)了對(duì)華半導(dǎo)體出口限制新規(guī)，限制了可以被用于先進(jìn)制程邏輯芯片及先進(jìn)存儲(chǔ)芯片的美系半導(dǎo)體設(shè)備的對(duì)華出口。但是，ASML是荷蘭設(shè)備廠商，并不受該規(guī)則影響。今年1月，ASML CEO彼得·溫克寧就曾公開(kāi)表示，可以不受限的向中國(guó)出口DUV光刻機(jī)。
或許正因?yàn)槿绱?，隨后美國(guó)方面又開(kāi)始向荷蘭施壓，要求荷蘭跟進(jìn)美國(guó)的新規(guī)。于是在今年7月1日，荷蘭正式出臺(tái)了聚焦于半導(dǎo)體設(shè)備的出口限制新規(guī)。
但是，荷蘭方面的新規(guī)也沒(méi)有限制ASML?NXT1980系列，也就是說(shuō)NXT1980系列本就符合美國(guó)及荷蘭的新規(guī)，那為何傳聞稱ASML還要考慮推出面向中國(guó)市場(chǎng)的“特供版”NXT 1980系列呢？
從DigiTimes的報(bào)道來(lái)看，還是糾結(jié)于NXT 1980系列有可能制造出先進(jìn)制程芯片。認(rèn)為ASML會(huì)推出更低分辨率版本的“特供版”NXT?1980系列，以避免相關(guān)問(wèn)題。
據(jù)芯智訊了解，NXT:1980Di?雖然分辨率在38nm左右，但是通過(guò)多重曝光，依然可以支持到7nm左右。據(jù)說(shuō)臺(tái)積電的第一代7nm工藝也是基于 NXT:1980Di 實(shí)現(xiàn)的。但是這樣做，步驟更為復(fù)雜，對(duì)技術(shù)要求高，成本也更高，良率可能也會(huì)有損失。實(shí)際上，目前國(guó)內(nèi)已有的NXT:1980Di 基本都是被用于45nm以下16nm以上的成熟制程的生產(chǎn)。
更何況，正如前面芯智訊所指出的，ASML現(xiàn)有的NXT 1980系列本就符合美國(guó)及荷蘭的新規(guī)，可以不需要許可即可出口到中國(guó)，為什么還需要多此一舉針對(duì)中國(guó)市場(chǎng)推出進(jìn)一步閹割的NXT 1980版本？完全沒(méi)必要。純粹是灣灣的媒體在搞事！
所以，在今傍晚時(shí)候，ASML官方也對(duì)于這則傳聞進(jìn)行了辟謠。ASML回應(yīng)稱：ASML都遵守所適用的法律條例，公司并沒(méi)有面向中國(guó)市場(chǎng)推出特別版的光刻機(jī)。
編輯：芯智訊-浪客劍
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