2 月 20 日韓國 Wonik IPS 公司拿下三星電子新款 Molding 設(shè)備(Quanta 5 代 /6 代)訂單。此設(shè)備將供應(yīng)至三星電子 Nand Flash 中國西安 2 工廠,使用于 3D Nand Flash 制程。
根據(jù)韓媒 Etnews 報道,雖 Wonik IPS 公司的供應(yīng)數(shù)量暫無具體資訊,但業(yè)界預(yù)測對公司業(yè)績貢獻(xiàn)巨大。
3D Nand Flash 是將電路進(jìn)行垂直疊加以提升容量的半導(dǎo)體。需要重復(fù) Oxide 和 Nitride 化學(xué)物質(zhì)的超薄重復(fù)疊加,此過程也稱之為 Molding。Molding 設(shè)備需要確保 Oxide 和 Nitride 的均一疊加,所以超過 100 層以上的 3D Nand 制程時 Molding 設(shè)備的性能就十分重要。
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圖:Wonik IPS 公司 Molding 設(shè)備 Quanta
Wonik IPS 公司拿下三星電子的 Molding 設(shè)備訂單并非是首次,2014 年時也曾供應(yīng)過西安 1 工廠的 Molding 設(shè)備。但 2017 年后雙方訂單漸少,被美國 Ram research 擠下。三星電子的 Molding 設(shè)備訂單基本全部被 Ram research 拿下。Wonik IPS 切齒腐心為重奪市場加強研發(fā)和設(shè)備性能,終于重回三星供應(yīng)鏈。
Wonik IPS 提升了設(shè)備內(nèi) Plasma 密度,增加了 Chamber 數(shù)量以提升產(chǎn)能。尤其在 100 層以上的高疊層 Nand Flash 設(shè)備上的平坦薄膜制造優(yōu)勢明顯。
半導(dǎo)體業(yè)界人士評論,雖 Ram research 也拿到訂單,但 Wonik IPS 重回三星供應(yīng)鏈的意義十分重大,Wonik IPS 的平坦化性能上具有領(lǐng)先優(yōu)勢。
除了三星西安 2 工廠 Molding 設(shè)備訂單外,Wonik IPS 還拿下了韓國華城 EUV 線集成半導(dǎo)體蒸鍍設(shè)備、平澤 2 工廠 10 納米 DRAM 制程設(shè)備等訂單。訂單總規(guī)模約為 7000 億韓幣(約合 41 億人民幣)。Wonik IPS 為應(yīng)對暴增的訂單,正在評估增設(shè)工廠。
設(shè)備業(yè)界人士認(rèn)為,得益于三星電子新線供應(yīng)訂單,Wonik IPS 今年營收或?qū)⑺⑿滦录o(jì)錄。