大型科普:多曝工藝究竟是如何超過光刻機(jī)的極限分辨率?
這幾天隔壁有群友問了我一個(gè)非常專業(yè)的問題:多曝工藝是什么?它是如何跨過光刻機(jī)的極限分辨率實(shí)現(xiàn)更小制程的工藝?好問題,畢竟半導(dǎo)體工藝的問題專業(yè)是真的專業(yè),真不是普通人能理解的,網(wǎng)上很多理解都是錯(cuò)的。想要了解多曝工藝的問題,首先得了解這個(gè)知識(shí)點(diǎn)的前置知識(shí),因此今天內(nèi)容分三段,第一、光刻設(shè)備分辨率是怎么來的?第二、晶體管的特征尺寸以及等效工藝的命名方式?第三、多曝工藝是什么,一共有哪幾種多曝工藝???