加入星計(jì)劃,您可以享受以下權(quán)益:

  • 創(chuàng)作內(nèi)容快速變現(xiàn)
  • 行業(yè)影響力擴(kuò)散
  • 作品版權(quán)保護(hù)
  • 300W+ 專業(yè)用戶
  • 1.5W+ 優(yōu)質(zhì)創(chuàng)作者
  • 5000+ 長期合作伙伴
立即加入
  • 正文
  • 推薦器件
  • 相關(guān)推薦
  • 電子產(chǎn)業(yè)圖譜
申請入駐 產(chǎn)業(yè)圖譜

AMEYA360分析蔡司用于亞10納米級應(yīng)用的離子束顯微鏡

2023/07/15
1289
閱讀需 2 分鐘
加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點(diǎn)資訊討論

蔡司用于亞10納米級應(yīng)用的離子束顯微鏡ORION NanoFab,集 3 種聚焦離子束于一身的顯微鏡,可以實(shí)現(xiàn)亞 10 nm 結(jié)構(gòu)的超高精度加工快速、精準(zhǔn)的亞 10 納米結(jié)構(gòu)加工。借助 ORION NanoFab 顯微鏡可在鎵、氖及氦離子束之間實(shí)現(xiàn)無縫切換。

產(chǎn)品特點(diǎn):

快速亞 10 nm 結(jié)構(gòu)加工

使用氖和氦離子束加工有超高精度要求的精細(xì)亞 10 納米結(jié)構(gòu)。無論是使用濺射、氣體輔助切割、氣體輔助沉積或是光刻技術(shù)刻蝕材料,在亞 10nm 加工應(yīng)用中 ORION NanoFab 均表現(xiàn)不凡。

集三種離子束顯微技術(shù)于一體

使用鎵聚焦離子束刻蝕大塊材料。利用精準(zhǔn)的氖離子束快速完成微加工,利用氦離子束加工精細(xì)的亞 10 納米級結(jié)構(gòu)。利用氦和氖離子還可以防止傳統(tǒng) FIB 鎵粒子注入引起的基體材料性質(zhì)變化。

高分辨率成像

借助 0.5 納米成像分辨率,它可在同一臺加工儀器中實(shí)現(xiàn)樣品的高分辨率成像。與使用場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)成像相比,其可獲得 5 至 10 倍的景深并和更豐富的圖像細(xì)節(jié)

ORION NanoFab 集鎵、氖、氦三種離子束于一身,是能實(shí)現(xiàn)從微米到納米微加工的先進(jìn)成像加工系統(tǒng)。

文章來源:http://www.ameya360.com/hangye/109413.html,如有侵權(quán)請聯(lián)系刪除!

推薦器件

更多器件
器件型號 數(shù)量 器件廠商 器件描述 數(shù)據(jù)手冊 ECAD模型 風(fēng)險(xiǎn)等級 參考價(jià)格 更多信息
TLE4998P4 1 Infineon Technologies AG Hall Effect Sensor, 50mT Min, 200mT Max, 0.30-0.60V, BICMOS, Plastic/Epoxy, Rectangular, 4 Pin, Through Hole Mount, GREEN PACKAGE-4
暫無數(shù)據(jù) 查看
OPB606A 1 TT Electronics OPTEK Technology Diffuse Photoelectric Sensor, 2.79mm Min, 2.79mm Max, 0.50mA, 1-Channel, Rectangular, Through Hole Mount, ROHS COMPLIANT PACKAGE-2
$1.69 查看
AD590MF 1 General Electric Solid State Sensor/Transducer, 2 Pin, Ceramic
$91.96 查看

相關(guān)推薦

電子產(chǎn)業(yè)圖譜