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芯片揭秘與2023年第十一屆半導(dǎo)體設(shè)備材料與核心部件展示會(huì)（CSEAC）聯(lián)名專訪十家新銳企業(yè)，精彩內(nèi)容請(qǐng)持續(xù)關(guān)注芯片揭秘·大咖談芯。
從實(shí)驗(yàn)儀器到工業(yè)設(shè)備需要幾步？
幻實(shí)（主播）本期節(jié)目我們邀請(qǐng)到了江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司的總經(jīng)理汪竹，請(qǐng)汪總先給我們講一講貴司的產(chǎn)品方向和提供的服務(wù)。
芯片揭秘主播 幻實(shí)（左）對(duì)話，江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司總經(jīng)理 汪竹（右）
汪竹（嘉賓） 我們算是半導(dǎo)體行業(yè)的新兵，前身是一家實(shí)驗(yàn)室儀器公司，后來(lái)被半導(dǎo)體的客戶引薦，轉(zhuǎn)而投身于半導(dǎo)體行業(yè)。約在2020年8月，我們從原公司剝離出一新公司，即現(xiàn)今之江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司。乘行業(yè)大勢(shì)，近年來(lái)我們?nèi)〉昧丝焖侔l(fā)展。
幻實(shí)（主播）你們具體提供什么產(chǎn)品呢？
汪竹（嘉賓）我們最早做的是桌面式的勻膠機(jī)、顯影機(jī)、烤膠機(jī)，這些都屬于實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，大多提供給大學(xué)以及科研院所，用于薄膜制備工藝。當(dāng)然，做光刻膠涂布方向的半導(dǎo)體客戶也需要這些設(shè)備。因此，我們逐漸被客戶往半導(dǎo)體行業(yè)引領(lǐng)，從最早的桌面式機(jī)臺(tái)，到后來(lái)的柜式機(jī)臺(tái)、自動(dòng)機(jī)臺(tái)，我們一步步進(jìn)入了這個(gè)行業(yè)并聚焦發(fā)展。
幻實(shí)（主播）您剛剛提到你們公司的路徑是先做科研設(shè)備，然后做產(chǎn)線設(shè)備，還是繼續(xù)以科研設(shè)備為主的模式呢？
汪竹（嘉賓） 應(yīng)該是從科研設(shè)備向工業(yè)設(shè)備發(fā)展的一個(gè)過(guò)程。這一過(guò)程是順其自然的，也是因?yàn)槲覀冇刑烊坏募夹g(shù)基因而乘勢(shì)而為的。
幻實(shí)（主播）那么這個(gè)發(fā)展過(guò)程已經(jīng)到什么程度了呢？有沒(méi)有做demo的客戶或者出貨的客戶？
汪竹（嘉賓）我們的客戶已經(jīng)有很多了，2015年我們就開(kāi)始接觸工業(yè)客戶并生產(chǎn)工業(yè)產(chǎn)品，不過(guò)當(dāng)時(shí)是以儀器公司——江蘇雷博科學(xué)儀器的名義來(lái)接單，但總覺(jué)得半導(dǎo)體行業(yè)比較熱、發(fā)展比較快，又一直在壓縮儀器的資源，因此就決定成立一家新公司，聚集半導(dǎo)體設(shè)備。2020年，公司拆分的時(shí)候才40個(gè)員工左右，而現(xiàn)在我們的員工人數(shù)已經(jīng)超過(guò)當(dāng)時(shí)的五倍不止了。
幻實(shí)（主播） 汪總太謙虛了，其實(shí)聽(tīng)下來(lái)，雷博微已經(jīng)沉淀了很多年，而且已經(jīng)擁有了一支比較健全的團(tuán)隊(duì)。您剛剛提到的業(yè)務(wù)方向，我聽(tīng)下來(lái)都跟膠有關(guān)，您能不能跟我們說(shuō)一說(shuō)這條細(xì)分賽道有沒(méi)有特殊的門檻或者邏輯？
汪竹（嘉賓） 我們最早做的儀器屬于薄膜制備類，即把膠涂在基片上，納米級(jí)或是微米級(jí)的一些膜厚涂層，現(xiàn)在我們做的半導(dǎo)體設(shè)備集中在黃光段，即光刻機(jī)的前端和后端，它需要在晶圓上涂上光刻膠，然后光刻、再顯影。目前，主要的產(chǎn)品集中在這個(gè)環(huán)節(jié)。近幾年，我們也開(kāi)發(fā)了一些新的產(chǎn)品方向，并且有幾款產(chǎn)品已經(jīng)做到了國(guó)產(chǎn)化的前列。
大尺寸米級(jí)勻膠機(jī)有何特征？
幻實(shí)（主播）芯片揭秘欄目有一個(gè)“國(guó)貨我們推”的環(huán)節(jié)，今天您有沒(méi)有什么產(chǎn)品想在我們平臺(tái)上對(duì)外宣傳呢？
汪竹（嘉賓）借這個(gè)機(jī)會(huì)，我想介紹一下公司的4個(gè)產(chǎn)品方向，涂膠顯影是我們的主業(yè)，也是沿著儀器公司往工業(yè)化產(chǎn)品這個(gè)技術(shù)路徑發(fā)展過(guò)來(lái)的。在這塊領(lǐng)域，我們也不斷地在技術(shù)前沿上尋求突破。目前，我們?cè)?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E5%85%88%E8%BF%9B%E5%B0%81%E8%A3%85/">先進(jìn)封裝、MEMS、LED等一些行業(yè)的設(shè)備已經(jīng)實(shí)現(xiàn)大批量出貨，去年我們?cè)谠擃I(lǐng)域的產(chǎn)值已經(jīng)過(guò)億，現(xiàn)在正在開(kāi)發(fā)前道制程的一些Track機(jī)臺(tái)，當(dāng)然，國(guó)內(nèi)也有兩家頭牌公司在開(kāi)始做。
幻實(shí)（主播）所以你們現(xiàn)在兩端都有介入。
汪竹（嘉賓） 是的，我們?cè)谕岸伺?。涂膜顯影及單片濕法類產(chǎn)品方向，目前占銷售額的百分之六七十左右。另外，我們也在發(fā)展過(guò)程中研發(fā)了一種特殊應(yīng)用的設(shè)備，我們把它歸類為大尺寸的米級(jí)勻膠機(jī)，它的旋涂基片比較特殊，直徑超過(guò)了一米，甚至現(xiàn)在已經(jīng)做到兩米以上的直徑。
我們?cè)谶@方面的技術(shù)研究進(jìn)行得比較早，因此，在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位。目前，市場(chǎng)雖還不是很大，主要集中在一些平板顯示掩膜板、大光柵等領(lǐng)域，但市場(chǎng)仍處于開(kāi)發(fā)過(guò)程中。
幻實(shí)（主播）您剛剛提到了大尺寸旋涂，它的難度高嗎？
汪竹（嘉賓）難度非常高，因?yàn)樗幕皇俏覀兤胀ǖ木A硅片，大部分都是比較厚的載板，或者是石英玻璃的基板，有的甚至厚度達(dá)到了一兩百毫米，重量最大已經(jīng)接近一噸。也正因如此，它的慣量就變得非常大，而基片在高速旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生風(fēng)噪和氣流影響，所以，不論是在氣流還是震動(dòng)的控制等方面都對(duì)技術(shù)上提出了非常嚴(yán)苛的要求。因此，我們未來(lái)還要一直走在技術(shù)突破的路上，爭(zhēng)取做到世界第一。
比較幸運(yùn)的是，在2020年國(guó)家科技部有一個(gè)重大變革技術(shù)攻關(guān)的項(xiàng)目，我們有幸成為項(xiàng)目成員之一，在此期間，我們大尺寸勻膠機(jī)研發(fā)得到了一些科研院所和大學(xué)的幫助。
幻實(shí)（主播）的確，那個(gè)時(shí)候國(guó)家任命的一些課題急需我們?nèi)ネ黄?，像大家都熟知的?2專項(xiàng)”就扶持了很多科創(chuàng)板公司。
汪竹（嘉賓）第三個(gè)產(chǎn)品方向是從2019年就開(kāi)始研發(fā)的先進(jìn)封裝領(lǐng)域的甲酸回流機(jī)，這也是在當(dāng)時(shí)先進(jìn)封裝領(lǐng)域非常關(guān)鍵的一臺(tái)沒(méi)有實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的設(shè)備。而通過(guò)兩年多時(shí)間的努力，我們已經(jīng)完全可以代替進(jìn)口產(chǎn)品。并且，這款產(chǎn)品也得到了很多先進(jìn)封裝領(lǐng)域，特別是chiplet先進(jìn)制程領(lǐng)域工藝人員的關(guān)注。
第四個(gè)產(chǎn)品方向是我們今年剛剛引入的和勻膠顯影相配套的光刻機(jī)，大家可能聽(tīng)到光刻機(jī)就會(huì)覺(jué)得很高大上，但這是一款成熟技術(shù)的接觸接近式光刻機(jī)，在這塊國(guó)內(nèi)目前還是處于落后地位，像德國(guó)的蘇斯（SUSS）等一些知名廠商，他們?cè)诩夹g(shù)上仍然比我們先進(jìn)很多，市場(chǎng)占有更大。
幻實(shí)（主播） 您對(duì)公司的規(guī)劃到哪一步了？下一步的想法能不能給我們揭秘一下？
汪竹（嘉賓） 從公司的發(fā)展方向來(lái)講，一方面，是沿著單個(gè)工藝路線的產(chǎn)品不斷技術(shù)攀升，我們想從勻膠顯影的后端做到前端，實(shí)際上，東京電子（TEL）占據(jù)了全球涂膠顯影市場(chǎng)的90%，所以國(guó)內(nèi)的市場(chǎng)空間還大有可為；另一方面，橫向產(chǎn)品的不斷擴(kuò)展，我們研發(fā)了很多單片濕法設(shè)備。其他產(chǎn)品也是如此，包括回流機(jī)，是我們完全首套的國(guó)產(chǎn)化設(shè)備，所以，一些產(chǎn)品的發(fā)展路徑現(xiàn)在還無(wú)法下定論，我認(rèn)為要在過(guò)程中尋找合適的方向，同時(shí)，客戶引領(lǐng)也至關(guān)重要，并最終成為一家平臺(tái)化的半導(dǎo)體設(shè)備公司。
2020-2023年中國(guó)涂膠顯影設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模預(yù)測(cè)及增速（圖源：共研網(wǎng)）
半導(dǎo)體設(shè)備廠商如何應(yīng)對(duì)“百家爭(zhēng)鳴”？
幻實(shí)（主播） 您剛剛提到了光刻機(jī)這個(gè)詞，其實(shí)這個(gè)話題很多人都非常感興趣，這塊您能展開(kāi)再和我們聊一聊嗎？它是否可以解決我們目前先進(jìn)制程存在的一些問(wèn)題？
汪竹（嘉賓）這款光刻機(jī)其實(shí)是比較傳統(tǒng)的接觸接近式光刻機(jī)，我們現(xiàn)在卡脖子的是高端步進(jìn)式光刻機(jī)，兩者原理不同，但這款光刻機(jī)在微納方面的應(yīng)用面很廣，特別是在一些大學(xué)、科研院所，包括在一些低階制程里，也有很多的應(yīng)用。我們引入這臺(tái)光刻機(jī)，也是跨出一小步，來(lái)跟我們的勻膠顯影有個(gè)配套。另外，我們也期望將來(lái)向更高的、技術(shù)更先進(jìn)的光刻機(jī)方向邁進(jìn)，我們有這樣的規(guī)劃。
幻實(shí)（主播）所以，其實(shí)光刻機(jī)技術(shù)已經(jīng)成為通用的一門底層技術(shù)了，只是它運(yùn)用在不同的場(chǎng)景，大家對(duì)它的期待和要求就不一樣。
汪竹（嘉賓）是的，做芯片就跟照相一樣，把底片復(fù)制在涂膠的膠膜上，再?gòu)?fù)制到晶圓上。
幻實(shí)（主播） 最后還想請(qǐng)您給我們分享一下你們現(xiàn)處的賽道已經(jīng)發(fā)展到什么階段了？面對(duì)激烈的競(jìng)爭(zhēng)，它的未來(lái)走向可能會(huì)有怎樣的趨勢(shì)？
汪竹（嘉賓）這幾年，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商如雨后春筍般冒出來(lái)的，我們2015年開(kāi)始做工業(yè)設(shè)備，但公司的裂變是2020年8月份，換一種說(shuō)法就是公司的快速成長(zhǎng)是在2020年以后，我認(rèn)為目前有點(diǎn)類似于春秋戰(zhàn)國(guó)時(shí)期百家爭(zhēng)鳴的局勢(shì)，今后，供應(yīng)商之間的競(jìng)爭(zhēng)也會(huì)越來(lái)越激烈，但也會(huì)對(duì)國(guó)內(nèi)很多板塊起到填補(bǔ)空缺的作用，是一個(gè)加速國(guó)產(chǎn)化的態(tài)勢(shì)。
幻實(shí)（主播）其實(shí)我認(rèn)為對(duì)于很多用戶來(lái)說(shuō)，要增加辨識(shí)能力是不容易的。因?yàn)楝F(xiàn)在很多企業(yè)在做類似的產(chǎn)品，很多人確實(shí)輕易無(wú)法區(qū)別出哪家更好，應(yīng)該找誰(shuí)合作。
汪竹（嘉賓）我個(gè)人認(rèn)為半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品和3C產(chǎn)品或自動(dòng)化產(chǎn)品可能不太一樣，它需要一個(gè)深耕的過(guò)程，一般剛?cè)胄械钠髽I(yè)都不大能準(zhǔn)確說(shuō)出對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)品工藝的理解。
幻實(shí)（主播）您說(shuō)的我非常認(rèn)同。
汪竹（嘉賓） 我們這家公司最早可以追溯到2011年，在當(dāng)時(shí)我們就開(kāi)始在做桌面式勻膠機(jī)了。所以我們對(duì)勻膠、顯影、熱板等一些工藝的理解有一個(gè)很長(zhǎng)的積累過(guò)程，之后才往工業(yè)化、自動(dòng)化方向發(fā)展。可以說(shuō)，我們是一家超過(guò)十年的原生成長(zhǎng)性的半導(dǎo)體設(shè)備商。
幻實(shí)（主播） 這部分其實(shí)才是大家看不見(jiàn)摸不著的，但它卻決定了產(chǎn)品性能是否會(huì)更好。
汪竹（嘉賓） 沒(méi)錯(cuò)，這也是半導(dǎo)體設(shè)備的一道隱形門檻。
幻實(shí)（主播） 好的，謝謝汪總跟我們分享了這么多，最后，您有沒(méi)有什么想在我們芯片揭秘欄目上對(duì)外呼吁的？
汪竹（嘉賓） 借此機(jī)會(huì)也想和大家分享一下公司的未來(lái)規(guī)劃，其實(shí)我們?cè)茸鰞x器的時(shí)候有點(diǎn)小富即安的感覺(jué)，但進(jìn)入了半導(dǎo)體快車道之后，我認(rèn)為我們需要擁抱資本，很幸運(yùn)，我們得到了很多投資人的青睞，去年已經(jīng)完成了A輪融資，2023年底或2024年初，我們計(jì)劃準(zhǔn)備開(kāi)始第二輪的融資，投入更高端的設(shè)備研發(fā)。
這一輪，我們希望引入一些產(chǎn)業(yè)基金，希望大的機(jī)構(gòu)能給我們帶來(lái)些許資源，半導(dǎo)體行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)非常激烈，我也希望投資人能幫到我們。
幻實(shí)（主播）關(guān)注我們節(jié)目的很多粉絲其實(shí)都是資方以及投資者，如果他們對(duì)汪總所在的雷博微感興趣，也歡迎跟芯片揭秘取得聯(lián)系。最后，也祝福雷博微發(fā)展越來(lái)越好，期待聽(tīng)到您更多的好消息。
涂膠顯影設(shè)備是光刻工序中與光刻機(jī)配套使用的涂膠、烘烤及顯影設(shè)備，包括涂膠機(jī)、噴膠機(jī)和顯影機(jī)。在早期的集成電路和較低端的半導(dǎo)體制造工藝中，此類設(shè)備往往單獨(dú)使用。隨著集成電路制造工藝自動(dòng)化程度及客戶對(duì)產(chǎn)能要求的不斷提升，在200mm（8英寸）及以上的大型生產(chǎn)線上，此類設(shè)備一般都與光刻設(shè)備聯(lián)機(jī)作業(yè)，組成配套的圓片處理與光刻生產(chǎn)線，與光刻機(jī)配合完成精細(xì)的光刻工藝流程。
根據(jù)VLSI Research數(shù)據(jù)，2019年全球集成電路制造前道晶圓加工領(lǐng)域用涂膠顯影設(shè)備市場(chǎng)主要被日本TEL所壟斷，占比超過(guò) 91%；全球前道涂膠顯影設(shè)備銷售額由2013年的14.07億美元增長(zhǎng)至2018年的23.26億美元，年均復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá) 10.58%。我們也期待在將來(lái)，有更多的半導(dǎo)體設(shè)備廠商加入賽道，助力打造“中國(guó)芯”。
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