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資騰科技在Semicon China 2024展示ESG創(chuàng)新力,推出優(yōu)化半導(dǎo)體制程產(chǎn)品

03/19 15:06
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佳世達(dá)集團(tuán)羅升企業(yè)旗下資騰科技(Standard Technology Corporation)參加Semicon China 2024展覽,展示多項(xiàng)協(xié)助優(yōu)化半導(dǎo)體制程的創(chuàng)新產(chǎn)品,如超潔凈金屬氣體過濾器、超高精度光阻涂布泵等。該展覽于3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉行,資騰科技的展位位于N3館3145號。

資騰科技總經(jīng)理陳國榮表示,因應(yīng)全球ESG、第三代半導(dǎo)體等趨勢需求,今年資騰科技將展示一系列針對半導(dǎo)體制造行業(yè)的創(chuàng)新產(chǎn)品,旨在提高制程效率、減少環(huán)境負(fù)荷,并支持產(chǎn)業(yè)的永續(xù)發(fā)展。以下是其中幾項(xiàng)亮點(diǎn)產(chǎn)品:

1.超潔凈金屬氣體過濾器:次世代奈米工廠必備,金屬燒結(jié)微米級不銹鋼(SUS 316L)短纖維制成薄層金屬膜過濾器,皺褶狀設(shè)計增加過濾面積。專為Load lock chamber排氣過濾而設(shè),縮短排氣時間,提高機(jī)臺5-8%的稼動率。

2.超高精度光阻涂布泵:適用于半導(dǎo)體黃光制程光阻涂布,以及其他需要精確控制藥液噴吐量的應(yīng)用場景。幾乎零藥液浪費(fèi),可與半導(dǎo)體設(shè)備(如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等)匹配使用。提供氣缸式和馬達(dá)式控制,穩(wěn)定性高且壽命長。資騰提供在地實(shí)時服務(wù)支持。

3.非接觸型渦漩式吸筆:資騰自主研發(fā),利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學(xué)組件,避免晶圓或是光學(xué)組件表面刮傷,提高晶圓傳送效率和穩(wěn)定性。具有客制化和價格優(yōu)勢,目前已有SiC與光學(xué)組件廠客戶銷售實(shí)績。

資騰科技充分考慮大陸市場特性和全球趨勢,針對ESG、第三代半導(dǎo)體、新建晶圓廠和設(shè)備國產(chǎn)化等領(lǐng)域提出不同的解決方案。通過強(qiáng)大的產(chǎn)業(yè)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)能力,與合作伙伴攜手,共同促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新未來。

 

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