半導(dǎo)體設(shè)備里,除了人盡皆知的光刻機(jī),大家討論最多的設(shè)備恐怕就是測(cè)量與檢測(cè)設(shè)備了(Metrology and Inspection)這類(lèi)設(shè)備的技術(shù)門(mén)檻非常高,有些種類(lèi)甚至有小光刻機(jī)之稱(chēng),而且市場(chǎng)空間和利潤(rùn)都十分可觀,所以目前半導(dǎo)體行業(yè)的投資人對(duì)這個(gè)領(lǐng)域也非常感興趣正好,和我合作的“復(fù)創(chuàng)芯”計(jì)劃在7月份有一個(gè)相關(guān)的行業(yè)大會(huì)。
具體信息參考以下鏈接:
2024 中國(guó)檢測(cè)技術(shù)與半導(dǎo)體應(yīng)用大會(huì) ---暨半導(dǎo)體分析檢測(cè)儀器與設(shè)備發(fā)展論壇
所以,我也趁這個(gè)熱度,整理一下全球的相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商數(shù)據(jù)。這次先列一下目前收集到的線寬(CD)量測(cè)和套刻精度量(Overlay)測(cè)設(shè)備的供應(yīng)商數(shù)據(jù)在CD量測(cè)設(shè)備中,OCD是光學(xué)(Optical)量測(cè),CD-SEM是電子束量測(cè)以下收集到的公司中,有些公司的產(chǎn)品還處于研發(fā)階段;有些目前還沒(méi)有公開(kāi)的,我就暫時(shí)不放到表格里了
麻煩大家在參考的同時(shí),也幫忙確認(rèn)一下,看看有沒(méi)有問(wèn)題。謝謝了