芯友會 | 半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的限制因素是什么？【第9期】

國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)逐年呈現(xiàn)幾何式增長。長期依賴進(jìn)口材料、進(jìn)口設(shè)備的現(xiàn)狀逐漸被打破，本土廠商一直在努力探索，努力發(fā)展自身的技術(shù)能力，尋找發(fā)展機(jī)遇?，F(xiàn)如今，國與國之間的貿(mào)易發(fā)生了變化，帶來了挑戰(zhàn)，也為半導(dǎo)體原材料的國產(chǎn)替代帶來了機(jī)遇。

國產(chǎn)替代的現(xiàn)狀和未來，依然有許多問題需要思考。

本期話題：

Q1：目前中國的裝備業(yè)在國產(chǎn)替代方面有什么限制因素？

Q2：在未來，國產(chǎn)設(shè)備是否有過剩的可能性？

包智杰

南京宏泰總經(jīng)理

1、相比較整個半導(dǎo)體行業(yè)的設(shè)計、封裝、制造等因素，國內(nèi)各方面均比較落后，人才、品牌、技術(shù)等，都是很大的制約因素。

2、半導(dǎo)體領(lǐng)域，我們的市場國產(chǎn)化率才 5%~6%，越往高處走，設(shè)備國產(chǎn)化率越接近零。在這一方面，我們還有很長的路要走，不存在過剩的情況。

1、對于比較先進(jìn)的制程，客戶的首要任務(wù)還是自己的量產(chǎn)，技術(shù)能力要達(dá)標(biāo)，首先要先建 mini line，用直接復(fù)制的方式來保證技術(shù)實現(xiàn)，第二步才可能更多的考慮國產(chǎn)替代。

2、這幾年每年設(shè)備的全球容量在 500~600 億美元，中國 100 多億美元。大陸是 45 億人民幣，這里面差很多。我們要積極的思考，努力積累技術(shù)，跟客戶深度合作。

王娜

北方華創(chuàng)

戰(zhàn)略發(fā)展

副總裁

唐世弋

上海微電子

市場開發(fā)部

經(jīng)理

整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的設(shè)備一個典型特征，就是高技術(shù)和高投入，做大型設(shè)備前期資本的投入是巨大的，回收周期非常長。還有各種測試、迭代優(yōu)化。消耗的時間非常多。

我們現(xiàn)在國產(chǎn)化率還很低，所以還是有很大的市場空間。但這個空間肯定更多的來自于高端裝備，對于一些低端的，或者一些很容易實現(xiàn)的領(lǐng)域也許會產(chǎn)生過剩。

包智杰【 南京宏泰半導(dǎo)體科技有限公司 總經(jīng)理 】

Q1:目前中國的裝備業(yè)在國產(chǎn)替代方面有什么限制因素？

半導(dǎo)體設(shè)備是一個整體的系統(tǒng)，里面有硬件、有軟件、有機(jī)械，非常復(fù)雜。設(shè)備上產(chǎn)線后通常是 24 小時運行。會涉及到設(shè)備的可靠性、穩(wěn)定性、長期精度的一致性。

半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展，需要長時間積累和產(chǎn)品迭代，過程中要有很多試錯的機(jī)會，通過時間消化客戶反饋的問題并改進(jìn)。相比較整個半導(dǎo)體行業(yè)的設(shè)計、封裝、制造等因素，國內(nèi)比較落后，人才、品牌、技術(shù)都是很大的制約因素。?

雖然中國半導(dǎo)體最近七八年發(fā)展的相對比較快，但是以前落后的很多，給設(shè)備業(yè)就很難提供試錯機(jī)會，很難有機(jī)會給客戶去使用。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，包括國家層面支持，機(jī)會會越來越多，整個國產(chǎn)替代的進(jìn)程會加快。?

Q2:在未來，國產(chǎn)設(shè)備是否有過剩的可能性？

設(shè)備業(yè)應(yīng)該不太會過剩，特別是在半導(dǎo)體領(lǐng)域，我們的市場國產(chǎn)化率才 5%~6%，我們的測試設(shè)備也大概不到 8%，一年可能也就生產(chǎn)幾百臺。短期內(nèi)不太會有過剩的情況。

越往高的走，設(shè)備國產(chǎn)化率越接近零。我們還有很長的路要走，不存在過剩的情況。?

?

王娜【 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 戰(zhàn)略發(fā)展副總裁 】

Q1:目前中國的裝備業(yè)在國產(chǎn)替代方面有什么限制因素？

2018 年，國產(chǎn)半導(dǎo)體企業(yè)銷售額 109 億元，集成電路 45 億，自給率 5%左右。已經(jīng)有很大的進(jìn)步，發(fā)展速度會呈現(xiàn)指數(shù)型的增長。

光伏產(chǎn)業(yè)：2008 年左右光伏產(chǎn)業(yè)的進(jìn)口的設(shè)備也很多，經(jīng)過近幾年的發(fā)展，基本上都是國產(chǎn)設(shè)備。?

LED 產(chǎn)業(yè)：2010 年，LED 領(lǐng)域的集成電路刻蝕機(jī)完全沒有國產(chǎn)！PECVD、MOCVD，還有 sputter 或者當(dāng)時用蒸鍍的方式做電極的設(shè)備都沒有國產(chǎn)。我們在進(jìn)入 LED 設(shè)備領(lǐng)域之前，國外廠商價格很高，我們進(jìn)去之后，他們立降 20%。?

幾年的時間，我國在 LED 產(chǎn)業(yè)已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)化替代。雖然 LED 芯片跟光伏電池的制程都比較短，但歷程是一樣的，下一個就是集成電路，周期會更長一些。

光伏和 LED 能夠快速實現(xiàn)國產(chǎn)化是因為技術(shù)要求沒有那么高，另外競爭激烈，對成本的卡控非常嚴(yán)格，這一點在集成電路的體現(xiàn)沒有那么明顯。

集成電路：先進(jìn)的制程甚至要 2000 道工藝。我們 qualify 了 1~2 道，影響不大，客戶的評估積極性不高。北方華創(chuàng)的刻蝕機(jī)、PVD、爐管、清洗機(jī)，評估的周期都不會太短。從 PRS 工藝調(diào)試完成，到 STR 小批量的驗證，這個制程在前道那還得等整個流程全都結(jié)束，到 CP 已經(jīng)很久了，接下來還有 MSTR 進(jìn)行量產(chǎn)性的驗證，所以周期很長，對于 FAB 來說，沒有那么大的積極性。

一直支持國產(chǎn)設(shè)備的 user 都是好樣的。

對于比較先進(jìn)的制程，客戶的首要任務(wù)還是自己的量產(chǎn)，技術(shù)能力要達(dá)標(biāo)，要先建 mini line，用直接復(fù)制的方式來保證技術(shù)實現(xiàn)，第二步才可能更多的考慮國產(chǎn)替代。

新設(shè)備通常在量產(chǎn)性需要長期的積累，這方面也會制約客戶對國產(chǎn)設(shè)備的采購。

Q2:在未來，國產(chǎn)設(shè)備是否有過剩的可能性？

不論是設(shè)備商，還是芯片生產(chǎn)產(chǎn)能，哪一個都不會過剩，尤其是設(shè)備商的空間會更大。?

芯片生產(chǎn)：5G、AI 主要的需求還在中國大陸，貿(mào)易戰(zhàn)和疫情都有很大的刺激作用。即便現(xiàn)在生產(chǎn)線的建設(shè)遍地開花，我們也會發(fā)現(xiàn)即使他們?nèi)汲晒α?，但好像依然沒有滿足國內(nèi)的需求。

設(shè)備：5%~6%的國產(chǎn)化率依然讓人觸目驚心。美國半導(dǎo)體設(shè)備材料行業(yè)協(xié)會給出數(shù)據(jù)，這幾年每年設(shè)備的全球容量都大概在 500~600 億美元，中國 100 多億美元。大陸是 45 億人民幣，這里面差很多。離過剩還很遠(yuǎn)，我們要積極的思考，尋找到那些被卡的地方，努力積累技術(shù)，跟客戶深度合作。我覺得前景非常美好。

唐世弋【上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司 市場開發(fā)部經(jīng)理?】

Q1:目前中國的裝備業(yè)在國產(chǎn)替代方面有什么限制因素？

整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的設(shè)備一個典型特征，就是高技術(shù)和高投入，做大型設(shè)備前期資本的投入是巨大的，回收周期非常長。一臺設(shè)備從開始研發(fā)到成品，最快要三年，到了客戶那邊，還有各種測試，還要迭代優(yōu)化。消耗的時間非常多。

ASML 是一個長期進(jìn)行高投入的公司，現(xiàn)在在半導(dǎo)體業(yè)排名前 10，每年的研發(fā)費用是營收的 15%左右。1997 年 ASML 加入一個 EUV 組織，多年積累的技術(shù)使它快速提升。這樣使得后來的 ASML 能夠一直在半導(dǎo)體光刻機(jī)的前道芯片的行業(yè)保持著壟斷地位。

我們現(xiàn)也正在努力的把我們的設(shè)備到產(chǎn)線上去推廣，也確實遇到了工藝適應(yīng)性、可靠性等問題。后面還會有一些迭代。主要在于長期持續(xù)的投入，正視我們跟國際的差距。?

Q2:在未來，國產(chǎn)設(shè)備是否有過剩的可能性？

我們現(xiàn)在國產(chǎn)化率還很低，所以還是有很大的市場空間。但這個空間肯定更多的來自于高端裝備，對于一些低端的，或者一些很容易實現(xiàn)的領(lǐng)域也許會產(chǎn)生過剩，像我們現(xiàn)在的 FAB 廠建線，或者比如光伏或者 LED 建線也會有這種情況?？赡苣承└叨诵酒€不能滿足需求，但是如果重復(fù)建設(shè)一些低附加值的產(chǎn)線，肯定還是會過剩。?

所以很難用過?；蛘卟贿^剩簡單的衡量，還是要看某一個領(lǐng)域具體的情況。但我覺得高端領(lǐng)域一定是缺的。?