至純科技：28nm濕法工藝設(shè)備完成認(rèn)證，明年進(jìn)軍14/7nm

與非網(wǎng)訊 近日，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商至純科技在互動(dòng)平臺(tái)表示，目前至純科技28nm節(jié)點(diǎn)全部濕法工藝設(shè)備已認(rèn)證完畢。

至純科技表示，國(guó)內(nèi)目前有三家在濕法工藝設(shè)備端提供中高階濕法制程設(shè)備，分別是至純科技、北方華創(chuàng)和盛美，國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商的市場(chǎng)占比在逐年上升中。

2020 年濕法設(shè)備出貨量超過(guò) 30 臺(tái)，新增訂單 5.3 億元，增長(zhǎng) 211.8%。

除了28nm工藝節(jié)點(diǎn)之外，上海證券報(bào)的報(bào)道中還指出，至純科技14nm及7nm工藝預(yù)計(jì)2022年可供客戶(hù)驗(yàn)證，客戶(hù)包括中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、華為、中國(guó)臺(tái)灣力晶等行業(yè)領(lǐng)先者。

資料顯示，至純科技成立于2000年，主營(yíng)業(yè)務(wù)為高純工藝系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售；半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售；光傳感應(yīng)用及相關(guān)光學(xué)元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。

公司坐落于上海紫竹這個(gè)國(guó)家級(jí)科學(xué)園區(qū)內(nèi)，注冊(cè)資本 2.08 億元，致力于為高端先進(jìn)制造業(yè)企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的解決方案。

系統(tǒng)解決方案涵蓋了提供整個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)。 至純提供的系統(tǒng)和專(zhuān)業(yè)服務(wù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物醫(yī)藥、光伏、光纖、TFT-LCD、LED 等領(lǐng)域。

財(cái)報(bào)顯示，至純科技2020年濕法設(shè)備出貨量超過(guò)30臺(tái)，新增訂單5.3億元，增長(zhǎng)211.8%。