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CINNO Research 產(chǎn)業(yè)資訊，AGC株式會(huì)社（舊名旭硝子，以下簡(jiǎn)稱為“AGC”）旗下子公司AGC電子株式會(huì)社，決定擴(kuò)大用于EUV曝光的光掩膜坯（Photo Mask Blanks，以下簡(jiǎn)稱為“EUV光掩膜坯”）產(chǎn)能。且宣布該計(jì)劃自2023年1月起開始生產(chǎn)，并將按計(jì)劃逐步擴(kuò)產(chǎn)，到2024年AGC集團(tuán)的EUV光掩模坯產(chǎn)能將達(dá)到現(xiàn)在的兩倍。
（圖片來源：AGC官網(wǎng)）
根據(jù)AGC官網(wǎng)顯示，近年來，EUV工藝不僅應(yīng)用于邏輯半導(dǎo)體的生產(chǎn)，也被應(yīng)用于DRAM等存儲(chǔ)半導(dǎo)體的生產(chǎn)。AGC預(yù)計(jì)EUV光掩膜坯的需求會(huì)出現(xiàn)增長(zhǎng)，同時(shí)用于新一代半導(dǎo)體的EUV光掩膜坯的出貨量也會(huì)增加，因此此次決定擴(kuò)大產(chǎn)能。
AGC于2003年開始著手研發(fā)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝（采用了EUV曝光技術(shù)的半導(dǎo)體工藝）的光掩膜坯。通過融合自身?yè)碛械牟ＡР牧?、玻璃加工、涂布（Coating）等技術(shù)，積極布局推進(jìn)技術(shù)研發(fā)，于2017年開始生產(chǎn)EUV光掩膜坯。AGC作為全球唯一一家可以橫跨“玻璃材料”到“涂布”的EUV光掩膜坯廠家，一直在根據(jù)市場(chǎng)需求、有計(jì)劃地實(shí)施必要投資。在2020年7月，AGC電子決定進(jìn)行廠房擴(kuò)建的大規(guī)模增強(qiáng)工事，并已經(jīng)于2022年1月開始生產(chǎn)。
在“AGC plus 2.0方針”的引領(lǐng)下，AGC集團(tuán)把電子業(yè)務(wù)定為戰(zhàn)略性事業(yè)之一。預(yù)計(jì)未來EUV光掩膜坯的需求會(huì)出現(xiàn)大幅度增長(zhǎng)，因此AGC在積極根據(jù)市場(chǎng)需求進(jìn)行設(shè)備投資，目標(biāo)是到2025年實(shí)現(xiàn)400多億日元（約22億元）的銷售額，持續(xù)為半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
關(guān)于EUV光掩膜坯
EUV光掩模坯是一種在低膨脹率玻璃基板的表面形成的多層薄膜。EUV Photomask（光掩模）是在EUV光掩模坯的表面形成的半導(dǎo)體芯片的原版線路，然后再將線路轉(zhuǎn)移到硅晶圓上，形成半導(dǎo)體芯片。隨著半導(dǎo)體線路的微縮化發(fā)展，針對(duì)EUV光掩模坯的以下要求水準(zhǔn)愈來愈高。
●將極小尺寸的缺陷降低至近乎為零。
●極其高的平整度。
EUV曝光設(shè)備的概觀圖。（圖片來源：AGC官網(wǎng)）
關(guān)于AGC電子株式會(huì)社
AGC電子株式會(huì)社總部位于日本福島縣郡山市，社長(zhǎng)佐藤弘昌，注冊(cè)資本金為300百萬(wàn)日元（約1650萬(wàn)元），員工人數(shù)約700名。主要業(yè)務(wù)內(nèi)容為：玻璃漿料（Glass Frit，Glass Paste），采光器（Light Pickup）等光學(xué)電子產(chǎn)品，以及用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的合成石英產(chǎn)品、用于EUV曝光的EUV光掩模坯。
