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成果簡介
飛秒激光雙光子聚合系統(tǒng)將飛秒激光雙光子聚合技術(shù)與逐點3D打印工作方式相結(jié)合,實現(xiàn)亞微米級空間分辨率的打印精度。該系統(tǒng)適合對于多種結(jié)構(gòu)器件進行增材制造,適用于高等院校及科研院所進行微納光學、集成光學、微機械、微流控以及生物兼容性器件等方向研究。
吉林大學超快激光精密加工團隊獲省部級科學技術(shù)一等獎3項,國家自然科學二等獎1項(2020年)。研究團隊依托集成光電子學國家重點實驗室,已完成《超快激光與材料相互作用多尺度理論與觀測》,《面向跨尺度飛秒激光加工的微區(qū)形態(tài)性能原位監(jiān)測與分析系統(tǒng)研制》《飛秒激光高速、大視場微納制造的新方法及其機理研究》等科技部或國家自然基金委重大研發(fā)項目。研究團隊擁有近20年飛秒激光加工技術(shù)累積,對軟材料SU8光刻膠,硬質(zhì)材料包括玻璃、藍寶石、石英、硅、金剛石、硫化鋅等有雄厚的加工技術(shù)積淀。
應用領(lǐng)域
微納光學、集成光學、微機械、微流控以及生物兼容性器件等方向研究。
知識產(chǎn)權(quán)情況
已申請發(fā)明專利8項,獲批3項。
成果圖片