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電子束量測檢測設備是芯片制造裝備中除光刻機之外技術難度最高的設備類別之一，深度參與光刻環(huán)節(jié)、對制程節(jié)點敏感并且對最終產線良率起到至關重要的作用。其最為核心的模塊為電子光學系統(tǒng)（Electron?Optical?System，簡稱EOS），決定設備的成像精度和質量，進而決定設備的性能。作為電子束量測檢測領域的先行者、領跑者，東方晶源始終堅持自主研發(fā)，不斷深化研發(fā)投入、加速技術創(chuàng)新步伐，致力于為客

與非網(wǎng)編輯

1416

08/21 07:17

半導體工藝電子束

lift off工藝為什么常用蒸發(fā)的方式鍍膜？

學員問：我觀察到晶圓廠中l(wèi)ift off工藝，鍍膜都是用的電子束蒸發(fā)的方式，很少有用磁控濺射的方式，為什么？

TOM聊芯片智造

1485

08/13 09:43

電子束 Lift off工藝

光刻技術，有了新選擇

光刻工藝是半導體器件制造工藝中的一個重要步驟，該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結構，然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉移到所在襯底上。

半導體產業(yè)縱橫

3784

08/08 10:50

光刻技術電子束

替代EUV光刻機，有戲嗎？

除了積極跟蹤EUV光刻機的開發(fā)進程，芯片廠商也在尋找能夠替代EUV光刻機的技術。被寄予厚望的不僅僅是電子束光刻技術。鎧俠力推NIL壓印工藝，聲稱有望在2025年實現(xiàn)5nm工藝；臺積電采用DUV光刻技術同樣實現(xiàn)了7nm工藝，并聲稱DUV光刻技術可以也可以實現(xiàn)5nm工藝。

中國電子報

2874

2022/09/30

EUV光刻機電子束

電子束焊接原理

電子槍中的陰極由于直接或間接加熱而發(fā)射電子，該電子在高壓靜電場的加速下再通過電磁場的聚焦就可以形成能量密度極高的電子束，用此電子束去轟擊工件，巨大的動能轉化為熱能，使焊接處工件熔化，形成熔池，從而實現(xiàn)對工件的焊接。

cestbona

1609

2021/04/26

電子束

電子束焊接

電子束焊接是一種高能量密度焊接方法，利用對產生的高速電子束進行聚焦，通過在工件上產生熱量來實現(xiàn)材料的熔接。這項技術在現(xiàn)代制造業(yè)中扮演著重要角色，具有獨特的優(yōu)勢和應用領域。