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離子注入是指當真空中有一束離子束射向一塊固體材料時,離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面,這個現(xiàn)象叫做濺射;而當離子束射到固體材料時,從固體材料表面彈了回來,或者穿出固體材料而去,這些現(xiàn)象叫做散射;另外有一種現(xiàn)象是,離子束射到固體材料以后,受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來,并最終停留在固體材料中的這一現(xiàn)象叫作離子注入。
離子注入是指當真空中有一束離子束射向一塊固體材料時,離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面,這個現(xiàn)象叫做濺射;而當離子束射到固體材料時,從固體材料表面彈了回來,或者穿出固體材料而去,這些現(xiàn)象叫做散射;另外有一種現(xiàn)象是,離子束射到固體材料以后,受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來,并最終停留在固體材料中的這一現(xiàn)象叫作離子注入。收起
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