離子注入

• 離子注入：硅基集成電路制造中的關(guān)鍵工藝之一
  

  在現(xiàn)代半導體制造過程中，控制半導體材料的電學特性至關(guān)重要。通過摻雜工藝向半導體中引入雜質(zhì)原子，能夠改變材料的導電性，形成如晶體管等基礎(chǔ)元件的關(guān)鍵區(qū)域。傳統(tǒng)的摻雜方法有擴散法和離子注入法，而自20世紀70年代以來，離子注入技術(shù)因其高精度、可控性和工藝溫度相對較低，逐漸成為主流的雜質(zhì)摻雜方式。

  老虎說芯

  1901

  10/10 15:10

  離子注入
• 晶圓Fab廠離子注入工程師常見面試問題
  

  國內(nèi)某知名Fab工程師工作5年的李工分享了離子注入工藝崗位的面試問題：這些問題分成幾個主要類別：理論知識、工藝理解與優(yōu)化、設(shè)備操作與維護、故障排查與解決、項目管理與協(xié)作，以及前沿技術(shù)與趨勢。以下是按照這些類別整理的50個問題。

  老虎說芯

  1272

  08/15 10:40

  fabless 離子注入
• SiC離子注入設(shè)備的廠家有哪些？
  學員問：我想咨詢一下國內(nèi)做SiC離子注入設(shè)備的廠家有哪些？如下圖，目前下圖是國內(nèi)已知的稍大的離子注入設(shè)備供應(yīng)商，相對國外的AMAT,Axcelis相比，實力會差很多。主要體現(xiàn)在：

  TOM聊芯片智造

  1571

  08/05 10:45

  SiC 離子注入機
• 離子注入后不退火行不行？
  離子注入后都會退火，退火的作用是什么？不退火行不行？離子注入對硅片造成哪些影響？離子注入時，高能的雜質(zhì)離子加速撞擊硅片表面，將其動能轉(zhuǎn)化為熱能和位移能，引起硅原子的遷移和重排，破壞了硅的晶格結(jié)構(gòu)，會產(chǎn)生位錯、空位等缺陷。

  TOM聊芯片智造

  2124

  06/19 12:00

  硅片 離子注入

正在努力加載...