納米壓印光刻

• 光刻技術(shù)，有了新選擇
  

  光刻工藝是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個重要步驟，該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結(jié)構(gòu)，然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所在襯底上。

  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫

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  08/08 10:50

  光刻技術(shù) 電子束
• 佳能豬突猛進，納米壓印取得重要進展
  

  日本佳能公司10月13日宣布推出FPA-1200NZ2C納米壓印半導(dǎo)體制造設(shè)備，該設(shè)備執(zhí)行電路圖案轉(zhuǎn)移。佳能據(jù)介紹，佳能的納米壓印光刻（Nano-Imprint Lithography，NIL）技術(shù)可實現(xiàn)最小線寬14nm的圖案化，相當(dāng)于生產(chǎn)目前最先進的邏輯半導(dǎo)體所需的5nm節(jié)點。此外，隨著掩模技術(shù)的進一步改進，NIL有望實現(xiàn)最小線寬為10nm的電路圖案，相當(dāng)于2nm節(jié)點。NanoimprintLithography(NIL)，是一種新型的微納加工技術(shù)。該技術(shù)將設(shè)計并制作在模板上的微小圖形，通過壓印等技術(shù)轉(zhuǎn)移到涂有高分子材料的硅基板上。納米壓印的分辨率由所用印模板圖形的大小決定，物理上沒有光刻中的衍射限制，納米壓印技術(shù)可以實現(xiàn)納米級線寬的圖形。

  芯片工藝技術(shù)

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  2023/10/16

  納米壓印技術(shù) 納米壓印光刻

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