MOCVD設(shè)備

• 5nm已量產(chǎn)，3nm還會遠嗎？重要性比肩光刻機的刻蝕設(shè)備——中微公司
  

  晶圓制造設(shè)備從類別上講可以分為刻蝕、光刻、薄膜沉積、檢測、涂膠顯影等十多類，其合計投資總額通常占整個晶圓廠投資總額的 75%左右，其中刻蝕設(shè)備、光刻設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備是集成電路前道生產(chǎn)工藝中最重要的三類設(shè)備。 根據(jù)Gartner統(tǒng)計的數(shù)據(jù)，2013年至2023年，半導體前道設(shè)備中，干法刻蝕設(shè)備市場年均增速超過15%，化學薄膜設(shè)備市場年均增速超過14%，這兩類設(shè)備增速遠高于其他種類的設(shè)備。 圖|20

  王兵

  8869

  11/12 10:37

  與非研究院 CVD

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