重新定義晶圓光學(xué)字符識別（OCR）讀取技術(shù)

作者：JAI

工業(yè)級相機(jī)創(chuàng)新者JAI和機(jī)器視覺集成商Leader Vision共同開發(fā)靈活且緊湊的晶圓光學(xué)字符識別（OCR）解決方案，以應(yīng)對半導(dǎo)體晶圓檢測的艱巨挑戰(zhàn)。具體而言，兩家企業(yè)開發(fā)出一種用于讀取晶圓上字母數(shù)字代碼的OCR解決方案，從而能夠在整個制造過程中跟蹤每一塊晶圓，使得工程師可以監(jiān)測、隔離和糾正任何生產(chǎn)問題。

OCR挑戰(zhàn)

在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，通常使用激光在晶圓上標(biāo)注字母數(shù)字代碼以方便晶圓追蹤。從本質(zhì)上講，準(zhǔn)確地讀取代碼是一個難題，部分原因是由于晶圓的反射表面，同時也由于在制造過程中可能出現(xiàn)的物理損壞，導(dǎo)致某些代碼難以被讀取。

專門量身定制的OCR解決方案必需具備靈活性，在需要新的視覺檢測方案來應(yīng)對新的檢測任務(wù)（例如用于不斷發(fā)展的新型消費(fèi)電子產(chǎn)品的全新半導(dǎo)體晶圓設(shè)計(jì)）時，可以進(jìn)行調(diào)整以適應(yīng)代碼讀取以及一般檢測，而無需進(jìn)行任何重大的重新投資。

解決方案

機(jī)器視覺分銷商和系統(tǒng)設(shè)計(jì)商Leader Vision開發(fā)了尖端的嵌入式視覺OCR系統(tǒng)，可以滿足晶圓檢測要求的靈活性、緊湊占位面積、可靠性和準(zhǔn)確性標(biāo)準(zhǔn)。這款解決方案是Leader Vision與主要合作伙伴共同開發(fā)的，包括提供HALCON Deep OCR圖像處理軟件的MVTec Software GmbH公司，以及提供GOX-2402-PGE Bayer彩色面陣掃描相機(jī)的JAI公司。

從根本上說，這款視覺OCR系統(tǒng)集成了所有必要的功能和所需的接口，具有小占位面積，適合在通常受限的潔凈室環(huán)境和空間內(nèi)操作使用，同時提供了業(yè)界一流的速度和穩(wěn)定性，保證實(shí)施可靠準(zhǔn)確的代碼識別。實(shí)現(xiàn)優(yōu)良性能的關(guān)鍵因素，包括在客戶需要時針對未來系統(tǒng)靈活定制功能，例如光學(xué)字符驗(yàn)證（OCV）、讀取數(shù)據(jù)和條形碼，以及對齊多個對象等。

無縫整合任何晶圓制造設(shè)施

結(jié)構(gòu)簡單的輕便視覺系統(tǒng)易于集成，而且適應(yīng)性強(qiáng)，可以在半導(dǎo)體制造環(huán)境中提供巨大的優(yōu)勢。為了在整個半導(dǎo)體制造過程中可靠地識別、讀取和追蹤每一塊晶圓，半導(dǎo)體企業(yè)的檢測要求包括了可用性、穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性等等。Leader Vision解決方案可提供所有這些重要屬性，同時還能夠提供可靠的機(jī)器學(xué)習(xí)（ML）結(jié)果，以及緊湊的占位面積。

應(yīng)用靈活性

嵌入式視覺技術(shù)總體來說不適合于采用“一刀切”的方式，用同樣的系統(tǒng)去面向所有應(yīng)用，而是需要可定制特性以實(shí)現(xiàn)應(yīng)用的靈活性，一個范例即是Leader Vision半導(dǎo)體解決方案。檢測系統(tǒng)需要具有多功能性以適應(yīng)不同客戶千變?nèi)f化并且不斷演進(jìn)的需求。靈活且適應(yīng)性強(qiáng)的解決方案（包括源代碼）能夠使整個系統(tǒng)可以移植到不同客戶的生態(tài)系統(tǒng)中，使得客戶可以從自己設(shè)計(jì)和生產(chǎn)過程的高度靈活性中獲益。

焦點(diǎn)明確

高效半導(dǎo)體晶圓視覺檢測系統(tǒng)的核心是相機(jī)，通過結(jié)合所選擇的智能軟件以及處理器和顯示器，這些技術(shù)結(jié)合起來可為晶圓制造過程提供所需的自動檢測水平。

具體而言，相機(jī)速度是這項(xiàng)應(yīng)用的重要因素，最好能夠達(dá)到每秒讀取20至30個代碼。除了速度之外，相機(jī)還應(yīng)該穩(wěn)定可靠。分辨率也是一項(xiàng)關(guān)鍵因素。集成到Leader Vision解決方案中的GOX-2402-PGE相機(jī)達(dá)到了230萬像素性能，通過GigE Vision接口以高達(dá)50fps速度進(jìn)行Bayer格式彩色輸出，并且只有輕便的62g-。最后，GOX-2402-PGE相機(jī)還具有一個附加優(yōu)勢，就是性價(jià)比極具吸引力。

機(jī)器視覺發(fā)展趨勢

當(dāng)前的機(jī)器視覺發(fā)展趨勢包括3D檢測、嵌入式系統(tǒng)和視覺引導(dǎo)機(jī)器人。為了迎合這些趨勢，工程師需要具備執(zhí)行高端應(yīng)用所需的知識和專長。對于像Leader Vision這樣的企業(yè)來說，保持在尖端技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位是戰(zhàn)略重點(diǎn)，這樣便能夠通過集成和開發(fā)高端設(shè)備來支持客戶。