埃賽力達(dá)推出首款適用于340 nm-360 nm波長(zhǎng)范圍的低釋氣鏡頭

新上市的UV F-Theta鏡頭采用優(yōu)化的低釋氣不銹鋼設(shè)計(jì)，適用于UV紫外激光材料加工應(yīng)用。

以市場(chǎng)為導(dǎo)向的創(chuàng)新光電解決方案工業(yè)技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者——埃賽力達(dá)科技有限公司（Excelitas Technologies? Corp.）近期宣布推出適用于340 nm-360 nm波長(zhǎng)范圍的LINOS? UV F-Theta Ronar低釋氣鏡頭。作為市場(chǎng)上首款采用低釋氣和不銹鋼設(shè)計(jì)的可現(xiàn)貨供應(yīng)的UV F-Theta鏡頭，該新鏡頭比傳統(tǒng)產(chǎn)品具有更強(qiáng)的耐用性，可處理更高的UV脈沖能量和超短激光脈沖，適用于半導(dǎo)體、晶片加工和電子顯示行業(yè)中的激光材料加工應(yīng)用。

這款低釋氣UV鏡頭采用獨(dú)特的紫外線結(jié)構(gòu)，包括高級(jí)熔融石英透鏡材料和不銹鋼外殼，并結(jié)合高端寬帶透鏡涂層，以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的光學(xué)性能。此外，鏡頭的設(shè)計(jì)還優(yōu)化并最大限度地減少了背向反射，以避免損壞掃描鏡。鏡頭的封裝和防塵蓋材料也實(shí)現(xiàn)了低釋氣性能。

其主要產(chǎn)品特性包括：

• 低釋氣設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和裝配最大程度地減少了精密紫外線工藝中的污染，同時(shí)由于減少了鏡片中的污染物從而延長(zhǎng)了使用壽命。
• 可用于高端紫光激光應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造、平板顯示器和太陽(yáng)能電池制造。
• 針對(duì)340 nm-360 nm的UV波長(zhǎng)和高端寬帶涂層進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，適用于各種類型的激光器，包括盤式激光器、光纖激光器和DSSP激光器，以及晶圓切割、退火和太陽(yáng)能電池加工應(yīng)用。
• 能夠處理更高功率（高達(dá)100W）和短脈沖（≥500飛秒），從而可實(shí)現(xiàn)冷激光加工并最大限度地減少熱影響區(qū)（HAZ），提高激光加工精度。
• 先進(jìn)的生產(chǎn)工藝確保最少的釋氣和長(zhǎng)期的光學(xué)穩(wěn)定性。
• 優(yōu)化的背反射技術(shù)最大程度地減少了對(duì)掃描鏡的損壞并延長(zhǎng)了使用壽命。

"我們很高興推出波長(zhǎng)范圍為340 nm-360 nm的低釋氣UV F-Theta Ronar鏡頭，這是我們用于激光材料加工的LINOS F-Theta-Ronar鏡頭產(chǎn)品線的最新成員。¨埃賽力達(dá)應(yīng)用工程師Matthias Koppitz說道："除了鏡框材料具有出色的耐用性之外，我們還大大減少了輔助材料并改進(jìn)了潔凈裝配工藝，使得該鏡頭成為各種紫外激光應(yīng)用的理想選擇。¨

用于340 nm-360 nm波長(zhǎng)范圍的LINOS UV F-Theta Ronar低釋氣鏡頭可與適用于同樣波長(zhǎng)范圍的低釋氣1x-4x的LINOS UV擴(kuò)束鏡完美匹配。對(duì)于無需減少釋氣的應(yīng)用，該新品還可提供成本優(yōu)化的無色鋁制版本。