ASML主流光刻機(jī)型號(hào)參數(shù)匯總

前一陣子，半導(dǎo)體行業(yè)的一個(gè)重大消息就是ASML向英特爾出貨了第一臺(tái) NA值為0.55的EUV光刻機(jī)。當(dāng)時(shí)這也多少在圈子里掀起一些波瀾，但我當(dāng)時(shí)忙于其它事情，一直沒有顧上去整理相關(guān)數(shù)據(jù)最近兩天在準(zhǔn)備發(fā)布公眾號(hào)新數(shù)據(jù)的時(shí)候，正考慮還能發(fā)啥，便想起了這個(gè)茬，于是便打開了ASML的官網(wǎng)...

事實(shí)上，ASML在最近一段時(shí)間里發(fā)布的新機(jī)器還不止這一款。在浸入式ArF光刻機(jī)領(lǐng)域，ASML也推出了產(chǎn)能更高（WPH 330）的1980Fi.所以我也一并收羅進(jìn)表格里順便說一下，對于最新的兩個(gè)型號(hào)的EUV光刻機(jī)，ASML沒有在官網(wǎng)上公布具體套刻精度數(shù)據(jù)，所以這個(gè)表格里我暫時(shí)只能先空白著了。希望大家理解。

不過按照其官網(wǎng)上的說法，最新型號(hào)的3800E設(shè)備的套刻精度（Overlay）相對之前的舊型號(hào)是有較大幅度提高的，而5000型號(hào)則沒有具體提及，我個(gè)人估計(jì)應(yīng)該和3800E差不多

以下表格數(shù)據(jù)全部來自ASML公司官網(wǎng)公布數(shù)據(jù)。如果又差異，因該是我個(gè)人手動(dòng)摘錄時(shí)的錯(cuò)誤，請大家原諒