前兩期的文章中我們介紹了ASML的G線,i線,EUV光刻機(jī)的型號,見文章:ASML的光刻機(jī)型號匯總(上);ASML的EUV光刻機(jī)型號匯總
今天我們來介紹一下,ASML的DUV光刻機(jī)的型號。
DUV是什么?
DUV(Deep Ultraviolet),深紫外光刻,是介于Vacuum UV(157nm,F(xiàn)2)與UV(365nm,i line)之間的光線,一般是指KrF(248nm),ArF(193nm)兩種波長。而浸沒式光刻機(jī)則以ArF為主,浸沒式光刻機(jī)晶圓與透鏡之間引入高折射率的液體(如水),大大提高了光刻分辨率和焦深。
ASML的DUV是TWINSCAN NXT,XT系列產(chǎn)品。
NXT系列產(chǎn)品有:1965Ci,1980Di,1980Fi,2000i,2050i,2100i,因時(shí)間有限,大家可以去自行搜集其相關(guān)機(jī)臺型號,參數(shù)。
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