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是德科技（Keysight Technologies, Inc.）近日推出全新的 4881HV 高壓晶圓測(cè)試系統(tǒng)，進(jìn)一步擴(kuò)展了其半導(dǎo)體測(cè)試產(chǎn)品組合。該解決方案通過在一次性測(cè)試中高效完成高達(dá)3kV的高低壓參數(shù)測(cè)試，從而顯著提升了功率半導(dǎo)體制造商的生產(chǎn)效率。
是德科技推出適用于功率半導(dǎo)體的3kV高壓晶圓測(cè)試系統(tǒng)
傳統(tǒng)上，制造商一直采用分別針對(duì)高壓和低壓的測(cè)試設(shè)備來測(cè)量晶圓。然而，隨著多功能性、高性能的功率半導(dǎo)體以及碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）等新一代半導(dǎo)體器件的市場(chǎng)需求迅速增長(zhǎng)。因此，客戶亟需一種能夠以更準(zhǔn)確、更高效的方式測(cè)試其設(shè)備，并縮短產(chǎn)品上市時(shí)間的解決方案。
是德科技的解決方案通過使功率器件制造商能夠在生產(chǎn)過程中執(zhí)行PCM和 WAT操作，進(jìn)而有效應(yīng)對(duì)了這些挑戰(zhàn)。這一全新的測(cè)試系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢(shì)：
- 高壓性能滿足未來需求：高壓開關(guān)矩陣 (HV-SWM) 可支持高達(dá) 3kV 的要求，并且可擴(kuò)展至 29 個(gè)引腳，同時(shí)與精密的源測(cè)量單元 (SMU) 實(shí)現(xiàn)無縫集成。這一特性使得系統(tǒng)可在任何引腳上實(shí)現(xiàn)從低電流到亞皮安（pA）級(jí)分辨率，直至3kV高壓的靈活測(cè)試。此外，該系統(tǒng)還支持高壓電容測(cè)量和各種參數(shù)測(cè)試。
- 一次性測(cè)試提高生產(chǎn)效率：HV-SWM 允許使用單一的測(cè)試系統(tǒng)來替代傳統(tǒng)上需要分別配置的高壓和低壓測(cè)試系統(tǒng)。這種做法不僅提高了工作效率，還顯著減少了測(cè)試所需的場(chǎng)地占用和時(shí)間消耗。此外，該系統(tǒng)通過使用是德科技的 SPECS-FA 軟件與工廠自動(dòng)化環(huán)境實(shí)現(xiàn)無縫集成，從而提高整體生產(chǎn)流程的效率。
- 更高的安全性和可靠性：測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)置了保護(hù)電路和機(jī)器控制措施，確保操作人員和設(shè)備在測(cè)試過程中不會(huì)受到高壓浪涌的影響。同時(shí)，該系統(tǒng)還嚴(yán)格遵循包括SEMI S2標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的各項(xiàng)安全法規(guī)，確保使用過程中的安全性與可靠性。
是德科技晶圓測(cè)試解決方案業(yè)務(wù)副總裁兼總經(jīng)理 Shinji Terasawa 表示：“是德科技很高興能在長(zhǎng)期測(cè)試先進(jìn)半導(dǎo)體的基礎(chǔ)上，推出全新的功率半導(dǎo)體晶圓測(cè)試系統(tǒng)。我們的使命是通過提供前沿的解決方案，來預(yù)測(cè)并滿足半導(dǎo)體行業(yè)日新月異的需求，從而引領(lǐng)市場(chǎng)。這一最新創(chuàng)新成果彰顯了我們對(duì)行業(yè)的堅(jiān)定承諾?！?/p>
