CP測(cè)試系統(tǒng)的構(gòu)成

CP測(cè)試系統(tǒng)可以類比為一個(gè)精密的醫(yī)設(shè)備，用于檢查晶圓上的芯片是否健康，確保它們?cè)谧詈蠹庸こ沙善分胺弦?guī)格。這個(gè)測(cè)試系統(tǒng)主要由以下幾個(gè)核心部分組成：

測(cè)試機(jī)（ATE）：就像醫(yī)生的診斷儀器，通過(guò)一系列標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試程序來(lái)檢測(cè)芯片的各項(xiàng)性能指標(biāo)。它的主要組成包括：

測(cè)試機(jī)頭：好比醫(yī)生的聽(tīng)診器，與芯片直接接觸，執(zhí)行具體的測(cè)試任務(wù)。

測(cè)試程序：這一程序就像醫(yī)生的診斷步驟，由工作站從服務(wù)器下載后在本地執(zhí)行。

探針臺(tái)（Prober）：相當(dāng)于護(hù)士或助手，負(fù)責(zé)將晶圓定位準(zhǔn)確，以便測(cè)試機(jī)能進(jìn)行精確檢測(cè)。探針臺(tái)通過(guò)操作將探針卡上的探針準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)晶圓上的測(cè)試焊盤，確保信號(hào)順利傳遞。

探針卡（Probe Card）：可視為連接醫(yī)生（測(cè)試機(jī)）與病人（晶圓）的管道，它上面的探針接觸晶圓上的測(cè)試焊盤，把電信號(hào)傳遞至芯片。探針通常由優(yōu)質(zhì)導(dǎo)電材料制成，以確保信號(hào)傳輸的有效性。

針測(cè)接口板和針?biāo)哼@兩者結(jié)合形成一個(gè)完整的信號(hào)回路，讓電信號(hào)從ATE傳輸?shù)教结?，再到晶圓。就像醫(yī)生使用的導(dǎo)線和附屬設(shè)備，確保整個(gè)檢測(cè)過(guò)程的電信順暢。

晶圓卡盤（Chuck）：它固定晶圓位置，仿佛是給病人檢查時(shí)的躺椅，穩(wěn)固且精確地保持晶圓在正確的位置以利于測(cè)試機(jī)進(jìn)行有效診斷。

在這個(gè)系統(tǒng)中，所有部分都緊密地協(xié)作，就像一個(gè)完整的體檢過(guò)程，確保每顆芯片都通過(guò)嚴(yán)格的測(cè)試程序，為下游的生產(chǎn)工序提供高質(zhì)量的“健康”芯片。通過(guò)這樣的系統(tǒng)性測(cè)試，工廠能大幅度降低生產(chǎn)缺陷，保證產(chǎn)品質(zhì)量。

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