北方華創(chuàng)財(cái)報(bào)顯示,2019 年?duì)I收突破 40 億,相較 2018 年成長(zhǎng) 22%,是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備上市公司中增幅最高的。2019 年實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn) 3.09 億元,較 2018 年專(zhuān)長(zhǎng) 32%。2019 年公司營(yíng)收逐季增長(zhǎng),第四季營(yíng)收高達(dá) 12 億元,占全年?duì)I收的 32.6%。
北方華創(chuàng)主要產(chǎn)品為電子工藝裝備和電子元器件,是國(guó)內(nèi)主流高端電子工藝裝備供應(yīng)商,也是重要的高精密、高可靠電子元器件生產(chǎn)基地。高端電子工藝裝備主要包括半導(dǎo)體裝備、真空裝備和鋰電裝備,廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體照明、功率器件、微機(jī)電系統(tǒng)、先進(jìn)封裝、光伏、新型顯示、真空電子、新材料、鋰離子電池等領(lǐng)域。
由于涉及所限,本文僅談?wù)劙雽?dǎo)體裝備的情況。
財(cái)報(bào)指出,國(guó)內(nèi)集成電路生產(chǎn)線新建及擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目投資較前幾年有較大幅度增加,先進(jìn)存儲(chǔ)器、新型傳感器件、功率器件、先進(jìn)封裝等產(chǎn)線投資尤為強(qiáng)勁,給國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備產(chǎn)業(yè)帶來(lái)千載難逢的發(fā)展機(jī)遇;光伏行業(yè)投資保持持續(xù)增長(zhǎng)的趨勢(shì),龍頭企業(yè)設(shè)備投資擴(kuò)產(chǎn)依然強(qiáng)勁;LED 芯片行業(yè)產(chǎn)線擴(kuò)產(chǎn)投資較前幾年有所放緩,但對(duì) Mini/Micro LED 技術(shù)升級(jí)改造的意愿強(qiáng)烈;新型顯示行業(yè)國(guó)產(chǎn) OLED 面板產(chǎn)線已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)階段,設(shè)備投資保持平穩(wěn)態(tài)勢(shì);隨著 5G 通訊興起,SiC、GaN 等第三代半導(dǎo)體器件開(kāi)始獲得廣泛應(yīng)用,對(duì)Ⅲ-Ⅴ族晶體設(shè)備及工藝設(shè)備的投資需求持續(xù)增強(qiáng)。而隨著公司持續(xù)高強(qiáng)度的技術(shù)研發(fā)投入,半導(dǎo)體工藝裝備產(chǎn)品日趨成熟,市場(chǎng)占有率在不斷提升,受到行業(yè)龍頭客戶(hù)的廣泛信賴(lài)。
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司是北方華創(chuàng)旗下專(zhuān)營(yíng)半導(dǎo)體設(shè)備的子公司,2019 年?duì)I收為 25.93 億元,較 2018 年增長(zhǎng) 30%,占公司總營(yíng)收的 64%;凈利潤(rùn)為 7771 萬(wàn)元,較 2018 年下滑 18%,占公司總利潤(rùn)的 21%;凈利潤(rùn)率僅僅 3%,較 2018 年下降 1.74 個(gè)百分點(diǎn)。
國(guó)內(nèi) FAB 建設(shè)情況
而 2020 年將是國(guó)產(chǎn)存儲(chǔ)芯片的關(guān)鍵一年。長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)的產(chǎn)品已經(jīng)在多個(gè)頭部企業(yè)通過(guò)驗(yàn)證,今年月產(chǎn)能將要實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能翻倍,有可望達(dá)到 5 萬(wàn)片;長(zhǎng)江存儲(chǔ)的 128 層 3D NAND 已經(jīng) 128 層 QLC 3D NAND 閃存(X2-6070)研發(fā)成功,并已在多家控制器廠商 SSD 等終端存儲(chǔ)產(chǎn)品上通過(guò)驗(yàn)證,產(chǎn)能今年也有望達(dá) 5 萬(wàn)片。存儲(chǔ)芯片產(chǎn)能擴(kuò)張驅(qū)動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入一輪小高潮。
邏輯制程獲得突破,設(shè)備開(kāi)支增加。中芯國(guó)際在 2019 年三季度實(shí)現(xiàn) 14 納米量產(chǎn),同時(shí) 12 納米已經(jīng)客戶(hù)導(dǎo)入;N+1 代工藝也要開(kāi)始風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)。按照規(guī)劃,今年將提升月產(chǎn)能至 1.5 萬(wàn)片,未來(lái)將建成月產(chǎn)能 7 萬(wàn)片先進(jìn)生產(chǎn)線。華虹集團(tuán) 14 納米工藝于 2020 年 1 月全線貫通,28 納米(28LP/28HK/28HKC+)均實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。先進(jìn)制程的突破,中芯國(guó)際和華虹集團(tuán)將在未來(lái)三到五年大幅擴(kuò)大資本支出。
功率半導(dǎo)體產(chǎn)線今年迎來(lái)擴(kuò)張浪潮。華虹無(wú)錫 12 英寸今年將擴(kuò)產(chǎn),士蘭微廈門(mén) 12 英寸工廠今年將投產(chǎn),華潤(rùn)微重慶 12 英寸項(xiàng)目將啟動(dòng),芯恩 8 英寸將投產(chǎn),海芯、富芯項(xiàng)目已經(jīng)啟動(dòng),功率半導(dǎo)體生產(chǎn)線在未來(lái)五年內(nèi)將帶來(lái)超過(guò) 500 億元設(shè)備需求。
MEMS 產(chǎn)線方面,今年賽萊克斯將有望投產(chǎn),還有兩條新 8 英寸 MEMS 產(chǎn)線啟動(dòng),也將極大帶動(dòng)需求。
寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)線今年項(xiàng)目密集開(kāi)工,下半年和明后兩年將是設(shè)備的進(jìn)入高潮期。
還有先進(jìn)封裝產(chǎn)能的擴(kuò)產(chǎn)和啟動(dòng),都將為國(guó)產(chǎn)設(shè)備開(kāi)啟大門(mén)。
北方華創(chuàng)的半導(dǎo)體裝備涉及刻蝕機(jī)、PVD、CVD、清洗機(jī)、爐管五大類(lèi)別??涛g機(jī)、PVD 設(shè)備、單片退火設(shè)備、清洗設(shè)備、立式爐等在 65-28nm 工藝產(chǎn)線上已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)交貨;應(yīng)用于 14nm 先進(jìn)制程的等離子硅刻蝕機(jī)、Hardmask PVD、Al-Pad PVD、ALD、單片退火系統(tǒng)、LPCVD 已正式進(jìn)入集成電路主流代工廠。
具體來(lái)說(shuō),在刻蝕機(jī)領(lǐng)域,北方華創(chuàng)自主研發(fā)了國(guó)內(nèi)首臺(tái)應(yīng)用于 14nm 制程的等離子硅刻蝕機(jī),已經(jīng)交付客戶(hù)量產(chǎn)生產(chǎn)線;PVD 領(lǐng)域,在濺射源、等離子產(chǎn)生與控制等關(guān)鍵技術(shù)取得突破,其中 Hardmask PVD 設(shè)備應(yīng)用于 28nm 制程,已成為國(guó)內(nèi)主流芯片代工廠的 Baseline 設(shè)備,銅互連 PVD 也正在多家客戶(hù)生產(chǎn)線驗(yàn)證;CVD 領(lǐng)域,已完成 PECVD、APCVD、LPCVD、ALD 等設(shè)備的開(kāi)發(fā),產(chǎn)品線豐富,其中應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏制造的 PECVD 設(shè)備已實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代,臥式 LPCVD 也成功應(yīng)用于半導(dǎo)體級(jí)碳納米管生長(zhǎng);爐管領(lǐng)域,公司包括 HORIS/THEORIS 等系列氧化擴(kuò)散設(shè)備,以及退火設(shè)備。
作為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè),北方華創(chuàng)已經(jīng)有包括刻蝕機(jī)、PVD、CVD、外延設(shè)備、濕法清洗、爐管等在內(nèi)的 30 多種成熟設(shè)備在國(guó)內(nèi)集成電路生產(chǎn)線上量產(chǎn)使用。
半導(dǎo)體設(shè)備是實(shí)現(xiàn)集成電路技術(shù)進(jìn)步的關(guān)鍵。而且半導(dǎo)體設(shè)備是晶圓制造廠的最大投資項(xiàng),約占整體投資總額的 60-70%。芯思想研究院數(shù)據(jù)顯示,國(guó)內(nèi)在建的 15 個(gè) Fab 投資總計(jì)將超過(guò) 5000 億元,未來(lái) 5 年將會(huì)帶來(lái)超過(guò) 3000 億元設(shè)備需求。
北方華創(chuàng) IC 裝備有刻蝕機(jī)、PVD、ALD、爐管及清洗機(jī),占產(chǎn)線設(shè)備總投資的比例分別為 22%、5%、3%、5%和 5%,綜合來(lái)看公司 IC 裝備覆蓋產(chǎn)線設(shè)備投資額的 40%。如此算來(lái),國(guó)內(nèi)市場(chǎng)在未來(lái)五年釋放給北方華創(chuàng)的市場(chǎng)空間將高達(dá) 1200 億。
空間雖大,但也要北方華創(chuàng)靜下心來(lái),與國(guó)內(nèi)晶圓制造企業(yè)攜手開(kāi)發(fā),共創(chuàng)中國(guó)半導(dǎo)體的未來(lái)。