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CINNO Research產(chǎn)業(yè)資訊，日本JSR收購了次世代EUV光刻膠初創(chuàng)企業(yè)美國inpria。通過此次收購， JSR擴大了EUV 光刻膠布局。隨著半導(dǎo)體精細制程需求而增長的EUV光刻膠市場上，JSR的地位有望進一 步加強。
根據(jù)韓媒etnews 報道，JSR宣布收購 inpria 79%的股份。JSR在2017年獲得了inpria 21%的股份，通過 此次追加投資完成了inpria 的100%股份持有。收購工作將于10月底結(jié)束。inpria的市值為5.14億美 元。
inpria是開發(fā)半導(dǎo)體曝光制程中使用的PR的初創(chuàng)公司。可以畫出超精細電路pattern的EUV需要與傳統(tǒng)制程不一樣的專用光刻膠。因其技術(shù)難度高，一直被日本 JSR、TOK、信越等獨家生產(chǎn)。
inpria開發(fā)出了比現(xiàn)有的有機物基礎(chǔ)EUV 光刻膠光吸收率更高的無機物基礎(chǔ)光刻膠，因此在業(yè)界備受關(guān) 注。三星電子、SK 海力士、TSMC等企業(yè)均對inpria進行過投資。
通過此次收購，JSR在EUV光刻膠市場上的影響力將進一步加強。隨著JSR將產(chǎn)品領(lǐng)域從有機物光刻膠擴 大到無機物光刻膠，可以應(yīng)對新一代EUV 光刻膠市場。JSR表示:“，JSR聯(lián)手inpria將穩(wěn)固和加強了作為 業(yè)界最尖端曝光制程領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者和合作伙伴的地位。收購決定與 JSR對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長期戰(zhàn)略和經(jīng)營方針 一致。”
