光柵式傳感器

光柵式傳感器是一種利用光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)非接觸式精密測(cè)量和位置檢測(cè)的傳感器，其常用于制造、航空航天、機(jī)械等領(lǐng)域。

1.光柵式傳感器工作原理

光柵式傳感器的基本工作原理是利用光柵將被測(cè)物體反射或透過的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為相交的光斑。通過計(jì)算這些光斑的形狀和大小，從而得到關(guān)于被測(cè)物體形態(tài)、位移、速度等信息的測(cè)量結(jié)果。

2.光柵式傳感器的組成部分

光柵式傳感器主要由兩部分組成：光柵部分和信號(hào)處理部分。光柵部分通常由光源、衍射光柵和接收器構(gòu)成，而信號(hào)處理部分則包括信號(hào)放大、濾波和數(shù)字化等處理電路。

3.光柵式傳感器的應(yīng)用

光柵式傳感器廣泛應(yīng)用于制造、航空航天、機(jī)械等領(lǐng)域的精密位置、角度、位移等測(cè)量和控制中。例如，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，可以利用光柵式傳感器來測(cè)量晶片的厚度和位置；在機(jī)械加工中，可以利用光柵式傳感器來檢測(cè)零件的位移和尺寸等信息。