近日,上海優(yōu)睿譜半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(以下簡(jiǎn)稱“優(yōu)睿譜半導(dǎo)體”)完成新一輪數(shù)千萬元融資,本輪融資由君子蘭資本領(lǐng)投,境成資本、琢石投資、南通海鴻金粟等跟投。本輪融資將用于晶圓邊緣檢測(cè)設(shè)備SICE200、晶圓電阻率量測(cè)設(shè)備SICV200、晶圓位錯(cuò)及微管檢測(cè)設(shè)備SICD200、多種半導(dǎo)體材料膜厚測(cè)量設(shè)備Eos200DSR等多款設(shè)備的量產(chǎn),新布局產(chǎn)品的研發(fā)以及團(tuán)隊(duì)的擴(kuò)充。