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晶圓檢測

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  • 如何測量晶圓表面金屬離子的濃度？
    學(xué)員問：在晶圓清洗后，我們?nèi)绾螠y量晶圓表面的金屬離子是否洗干凈？金屬離子濃度為什么要嚴格控制？金屬離子在電場作用下容易發(fā)生遷移。如Li?，Na?、K?等可遷移到柵氧化層，導(dǎo)致閾值電壓下降。
  • 無圖形晶圓的顆粒檢測原理
    無圖形晶圓的顆粒檢測原理
    學(xué)員問：在裸晶圓上，顆粒的檢測是如何實現(xiàn)的？比較經(jīng)典的顆粒檢測機臺有哪些？顆粒檢測用什么光源？激光。激光束掃描旋轉(zhuǎn)中的晶圓表面，在無顆粒的光滑表面上，激光束發(fā)生鏡面反射，當激光遇到顆粒時，部分入射光線會向各個方向散射。在暗場照明中，散射光可以直接檢測；在明場照明中，可以通過檢測鏡面反射光強度的變化來表示。
  • 蘇試宜特，芯片電路修改能力達到5nm制程
    蘇試宜特，芯片電路修改能力達到5nm制程
    集成電路作為現(xiàn)代電子設(shè)備的核心，其質(zhì)量和性能直接關(guān)系到電子產(chǎn)品的可靠性和穩(wěn)定性。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，離不開集成電路檢測行業(yè)的支持，第三方檢測機構(gòu)以其專業(yè)化服務(wù)、技術(shù)中立性等優(yōu)勢，逐漸成為產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的一環(huán)。 2024年6月5日-6月7日，在2024世界半導(dǎo)體大會暨南京國際半導(dǎo)體博覽會上，本土集成電路第三方檢測公司蘇試宜特展示了其眾多解決方案，包括加速客戶產(chǎn)品上市的失效分析整合服務(wù)、集成電
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  • 微崇半導(dǎo)體董事長黃崇基：半導(dǎo)體量檢測新方式探索——二諧波晶圓檢測
    微崇半導(dǎo)體董事長黃崇基：半導(dǎo)體量檢測新方式探索——二諧波晶圓檢測
    半導(dǎo)體質(zhì)量控制貫穿于半導(dǎo)體制造的全過程，保障著芯片性能與生產(chǎn)良率。隨著制程不斷先進，工藝環(huán)節(jié)也逐漸復(fù)雜，對質(zhì)量控制提出了更高的要求，對量測設(shè)備與檢測設(shè)備的需求量倍增。微崇半導(dǎo)體成立于2021年3月，立足于非線性光學(xué)晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，致力于研發(fā)先進的半導(dǎo)體檢測技術(shù)與半導(dǎo)體檢測設(shè)備。目前，微崇半導(dǎo)體在開發(fā)二諧波檢測技術(shù)方面積累了豐富的經(jīng)驗。
  • 微崇半導(dǎo)體CEO黃崇基：二諧波晶圓檢測新技術(shù)賦能半導(dǎo)體制造
    做半導(dǎo)體工藝的眼睛