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什么是Lift off工藝?

04/07 10:50
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Tom以后的文章,難度系數(shù)可能要提升一些了,不會(huì)再對(duì)具體的工藝進(jìn)行講解,而是針對(duì)工藝問題和工藝整合進(jìn)行解讀,基礎(chǔ)薄弱的朋友可以翻看一下之前的文章,惡補(bǔ)一下!

知識(shí)星球里有朋友問:Lift off工藝是什么?

Lift?off工藝是晶圓廠中的常見工藝,它是制作金屬互連、導(dǎo)線和其他結(jié)構(gòu)時(shí)的一種替代光刻和蝕刻過程的方法。見下圖:

上圖是一個(gè)典型的Lift off工藝,工藝步驟為:

1,準(zhǔn)備晶圓基板

2,做光刻圖形:在晶圓上涂覆一層光刻膠。接著進(jìn)行光刻過程,利用掩膜版曝光光刻膠,然后將未被曝光的部分的光刻膠通過顯影去除,留下所需圖案的光刻膠。

3,材料沉積:在整個(gè)晶圓表面包括光刻膠模板覆蓋區(qū)域和暴露區(qū)域沉積所需的薄膜材料,如金屬,非金屬等。

4,Lift-off:最后,將晶圓浸入溶劑中,溶劑會(huì)溶解光刻膠并lift-off掉覆蓋在其上的薄膜材料,只留下直接沉積在晶圓暴露區(qū)域的材料,形成期望的圖案。

5,得到想要的薄膜圖形。為什么可以去除光刻膠上的金屬層,卻無法去除直接鍍?cè)诰A表面的薄膜?

皮之不存,毛將焉附?下面的光刻膠被攻擊除去,其上的金屬層肯定也保持不住。但是直接鍍膜的結(jié)合力比光刻膠與基板的結(jié)合力要強(qiáng)的多,藥液是無法將直接鍍膜的部分也洗掉。

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