深度剖析國內(nèi)主流VCSEL廠商在激光雷達(dá)上的應(yīng)用布局

據(jù) Yole 報(bào)告，預(yù)計(jì)到 2023 年 VCSEL 整體市場規(guī)模將增長至 35 億美元，復(fù)合年增長率高達(dá) 48％，VCSEL 出貨量將從 2017 年的 6.52 億顆增長至 2023 年的 33 億多顆。伴隨著 AI 技術(shù)逐步成熟，智能硬件的發(fā)展趨勢滲透到光電產(chǎn)業(yè)的許多方面，3D TOF VCSEL 的智能攝像頭模組嶄露頭角。

隨著 5G 技術(shù)逐步推行，光通信芯片及 TO 封裝二極管市場需求巨大。同時(shí)激光雷達(dá)（LiDAR）是智能駕駛不可或缺的眼睛，車規(guī)級(jí)高功率脈沖 VCSEL 是激光雷達(dá)的核心器件。除了消費(fèi)類 3D 傳感，VCSEL 在光通信和自動(dòng)駕駛領(lǐng)域的 LiDAR（激光雷達(dá)）方面也極具應(yīng)用前景。

圖源：基業(yè)常青經(jīng)濟(jì)研究院

01、什么是 VCSEL？

VCSEL 全稱（Vertical-cavity Surface-emitting Laser），是垂直腔面發(fā)射激光器，最初用于光通信領(lǐng)域，比如光模塊中，后來開始應(yīng)用于消費(fèi)電子領(lǐng)域的 3D 感測方面，比如人臉識(shí)別，2017 年蘋果將其用在 iPhone 人臉識(shí)別模組，VCSEL 也開始受到消費(fèi)電子領(lǐng)域的大規(guī)模關(guān)注。

圖源：瑞識(shí)科技 -VCSEL 是智能化信息世界的核心元器件

目前來看國外在 VCSEL 芯片方面還是較為領(lǐng)先，近些年國內(nèi)多家廠商發(fā)展迅速，并且開始逐漸小批量或者批量生產(chǎn)，多家 VCSEL 芯片也得到了資本的較多關(guān)注，比如新亮智能、縱慧芯光、睿熙科技等。

激光器是用來發(fā)射激光的裝置，而半導(dǎo)體激光器則是以半導(dǎo)體材料為工作物質(zhì)發(fā)射激光的器件，根據(jù)激光芯片的結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體激光器可分為邊發(fā)射激光器（EEL）和垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）。華芯半導(dǎo)體呂工介紹到相較于傳統(tǒng)的半導(dǎo)體激光器，VCSEL 有以下諸多優(yōu)點(diǎn)：1）有源層體積極小，從而可以獲得極低的工作閾值，如材料工藝發(fā)展可期待極低閾值甚至無閾值發(fā)光器件；2）波長和閾值對(duì)溫度變化相對(duì)不太敏感（當(dāng)然 VCSEL 本身也屬于半導(dǎo)體激光器的一種，也就逃脫不了溫度對(duì)其影響的宿命，其波長相對(duì)于溫度變化的溫漂系數(shù)大約為 0.06 nm/℃，相比于 F-P 激光器的 0.3 nm/℃來說已經(jīng)小很多了。）；3）腔長量級(jí)與波長相近，甚至更?。ò氩ㄩL量級(jí)），故縱模間隔較大，可實(shí)現(xiàn)單縱模出射；4）可得到較大的馳豫振蕩頻率，從而實(shí)現(xiàn)較高的調(diào)制頻率；5）出射圓形光斑，易于與光纖耦合；6）封裝簡易，且可以形成二維激光陣列；7）預(yù)期工作壽命達(dá) 10 萬小時(shí)及以上。

02、VCSEL 芯片的制作流程

VCSEL 的制造，不易

VCSEL 結(jié)構(gòu)一般由上、下布拉格反射鏡(DBR)和中間有源區(qū)三部分組成，其典型的外延結(jié)構(gòu)如圖 1 所示從下到上依次是襯底、N 型接觸層、N 型 DBR、量子阱有源區(qū)、P 型 DBR、P 型接觸層。

圖 1 氧化限制頂發(fā)射激光器剖面示意圖

其中有源區(qū)為器件最重要的組成部分，由于 VCSEL 腔長極短，需要腔內(nèi)有源介質(zhì)對(duì)激射模式提供較大的增益補(bǔ)償。

圖源：合一粒子

材料外延生長（晶圓）-->外延結(jié)構(gòu)的表征（X 射線衍射、反射譜、PL 譜、電化學(xué) C-V 特性等） -->芯片工藝制作（包括外延片開片清洗、SiNx 生長、多次光刻、ICP 刻蝕、氧化、金屬電極、剝離、減薄等） -->后段工藝（包括劃片解個(gè)、I-V 特性、I-P 特性、光譜等） -->最終完成從材料到芯片的全過程。

VCSEL 芯片的工藝分解

MOCVD，為金屬有機(jī)物化學(xué)氣相外延。通過外延工藝，按設(shè)計(jì)出的外延結(jié)構(gòu)將材料生長出來，形成符合要求的晶圓。

圖源：合一粒子

激光器就是利用半導(dǎo)體中的電子光躍遷引起光子受激發(fā)射而產(chǎn)生光振蕩器和光放大器的總稱，其產(chǎn)生激光同樣要滿足以下三個(gè)基本條件：

1）建立有源區(qū)內(nèi)載流子的反轉(zhuǎn)分布；

2）合適的諧振腔使受激輻射在其中得到多次反饋形成激光振蕩；

3）提供足夠強(qiáng)的電流注入使得光增益大于或者等于各種損耗之和，滿足一定的電流閾值條件。

三個(gè)基本條件對(duì)應(yīng)著 VCSEL 器件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)理念。VCSEL 的有源區(qū)使用應(yīng)變量子阱結(jié)構(gòu)，建立起實(shí)現(xiàn)內(nèi)部載流子反轉(zhuǎn)分布的基礎(chǔ)，同時(shí)設(shè)計(jì)合適的反射率的諧振腔使輻射出的光子形成相干振蕩，最后提供足夠強(qiáng)的注入電流使得光子能夠克服器件自身的各種損耗形成激射。

實(shí)際制造過程中使用金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）設(shè)備生長外延材料、生長外延結(jié)構(gòu)過程中，以 4 寸半絕緣砷化鎵作為外延襯底層，三甲基甲（TMGa）、三甲基鋁（TMAl）、三甲基銦（TMIn）作為Ⅲ族源，砷烷（AsH3）作為Ⅴ族源，硅烷（SiH4）作為 N 型摻雜源，四溴化碳（CBr4）作為 P 型摻雜源。

外延生長過程中需要精確控制各層材料的生長溫度、氣體流量、時(shí)間等條件，使得生長的外延層結(jié)構(gòu)和組分滿足設(shè)計(jì)要求。外延生長結(jié)束后，經(jīng)過一系列外延材料測試設(shè)備如光致熒光譜測試儀（PL）、X 射線衍射儀（XRD）、原子力顯微鏡（AFM）、擴(kuò)散濃度測試儀（ECV）等進(jìn)行測試，外延片如果滿足測試要求，那么就得到了合格的 VCSEL 外延片。

然后利用斷點(diǎn)監(jiān)控電感耦合等離子體刻蝕技術(shù)和精確濕法氧化控制技術(shù)等芯片制造技術(shù)，最后得到高速雙臺(tái)面同面電極結(jié)構(gòu) VCSEL 陣列芯片。隨后再進(jìn)行芯片解理、測試、分選、抽樣老化及可靠性測試

03、國內(nèi)主流 VCSEL 芯片廠商進(jìn)展如何？

長期以來，VCSEL 芯片被 Broadcom（Avago）、住友電工、Finisar 和 Lumentum 、ams 等國外少數(shù)國際廠商把控。但近幾年隨著 3D 感知技術(shù)及市場發(fā)展，多家國內(nèi) VCSEL 芯片廠商開始迅速成長，并開始小規(guī)模并規(guī)模量產(chǎn)，包括新亮智能、縱慧芯光、睿熙科技、檸檬光子、瑞識(shí)科技、華芯半導(dǎo)體、長光華芯等。

1. 新亮智能

新亮光子成立于 2006 年，是新亮智能集團(tuán)旗下的全資子公司，專業(yè)從事 VCSEL 芯片及其它光芯片的研發(fā)制造和銷售，公司致力于人工智能和物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域，為消費(fèi)類電子，工業(yè)應(yīng)用，車載 / 航空、光通信等領(lǐng)域提供核心的 VCSEL 芯片等光子器件。

2020 年 9 月，新亮光子發(fā)布了多結(jié)（Multijunction）VCSEL 芯片，單孔光功率高達(dá) 30mW；斜率效率（SE）2.2W/A；能夠在 -40 至+105°工作；發(fā)光面積更小，易于準(zhǔn)直。

3D TOF VCSEL 的智能攝像頭模組嶄露頭角

圖源：新亮光子

新亮光子提供 3D TOF VCSEL 滿足攝像頭模組生產(chǎn)商迫切需求 3D 或者單點(diǎn)測距的適配光源。
波長包括 850nm 和 940nm,標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品有功率 2W 和 4W，出光角度有 60°x45°，72°x58°，90°x70°，120°x85°，120°x90°；新亮光子 VCSEL 的特點(diǎn)是工作溫度范圍寬，可靠性高，調(diào)制頻率高，都可以達(dá)到 100MHz 或者以上；同時(shí)封裝 PD 和 VCSEL 一起，既可以檢測 diffuser 是否脫落，也可以作為控制 VCSEL 光功率恒定輸出的反饋信號(hào)。

圖源：新亮光子 Multijunction VCSEL 有助于車載激光雷達(dá)、人臉識(shí)別、機(jī)器視覺產(chǎn)品的更小型化。今年早些時(shí)候，新亮光子還推出了高性能、高可靠性的 940nm VCSEL 系列產(chǎn)品。

新亮光子擁有國際同步的 6 吋 VCSEL 芯片量產(chǎn)線，打造了以 VCSEL 為核心的光子芯片及 COB 模組的 IDM 模式，是全球較為知名的 VCSEL 產(chǎn)品及方案供應(yīng)商。

高功率脈沖 VCSEL 是激光雷達(dá)的核心器件

圖源：新亮光子

新亮光子推出了高轉(zhuǎn)換效率和高可靠性的 808nm，850nm，940nm VCSEL 系列產(chǎn)品：連續(xù)功率有 1W，2-3W，4-5W；光發(fā)散角度小至 20°、光電轉(zhuǎn)換效率高達(dá) 48%。溫度高達(dá) 90℃時(shí)，PCE 仍然高達(dá) 31%。

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圖源：新亮光子相較于邊發(fā)射激光（EEL），VCSEL 具有低臨界電流的潛力、發(fā)光光束具有圓形對(duì)稱特性與調(diào)制頻率高等優(yōu)勢。除了功耗低，體積小，易于集成外，該系列芯片還具有響應(yīng)快的優(yōu)點(diǎn)。

應(yīng)用于激光雷達(dá) LiDAR，主要為車載使用，探測距離較遠(yuǎn)，一般在 100m-200m 之間，脈沖功率在 200W-300W 左右。

圖源：新亮光子新亮光子采用 IDM 模式，大大縮短了產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)周期，降低元?dú)饧少彿N類，減少生產(chǎn)成本，因此產(chǎn)品和方案備受客戶的青睞。除了上述 CIOE 熱門需求產(chǎn)品，新亮光子提供 808nm，850nm，940nm 各種功率規(guī)格的準(zhǔn)連續(xù)（QCW），連續(xù)以及高峰值脈沖功率的單顆和陣列 VCSEL 光源。

2. 縱慧芯光

縱慧芯光成立于 2015 年，可提供高功率和高速 VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）解決方案，設(shè)計(jì)和制造 VCSEL（650nm 至 1000nm），應(yīng)用于高速光通信、生物醫(yī)學(xué)、工業(yè)、汽車和消費(fèi)類產(chǎn)品中的光學(xué)傳感中。

圖源：縱慧芯光面向消費(fèi)類應(yīng)用已推出的 VCSEL 產(chǎn)品公司聯(lián)合創(chuàng)始人兼亞太區(qū) CEO 陳曉遲談到，消費(fèi)電子領(lǐng)域是公司主攻的市場之一，包括手機(jī)、掃地機(jī)器人、人臉支付、智能門鎖等應(yīng)用場景。在 2019 年全球 ToF 傳感器市場中，縱慧芯光的 VCSEL 激光器占比達(dá)到 32.6%，位列全球第二。今天的縱慧已成為國內(nèi)多家手機(jī)品牌高端機(jī) VCSEL 的主要供應(yīng)商，比如華為 Mate30 Pro 前置和后置 ToF 供應(yīng)商?？v慧芯光從 2019 年下半年開始聚焦汽車激光雷達(dá)領(lǐng)域。

縱慧芯光消費(fèi)類 VCESL 產(chǎn)品的可靠性水平和量產(chǎn)保障能力體現(xiàn)在兩方面：

（1）世界級(jí)的產(chǎn)品可靠性。縱慧芯光的 2W、940 nm 單結(jié) VCSEL 產(chǎn)品，在 75℃下 PCE 為 40%，105℃時(shí)超過 30%，PCE 在較寬溫度范圍（-40 ~ 105℃）表現(xiàn)優(yōu)秀。

其中，這顆產(chǎn)品的加速老化測試結(jié)果超過 2600 小時(shí)，等效于全天 24 小時(shí)工作的條件下持續(xù)發(fā)光 24 年（也等效于每天 8 小時(shí)工作，壽命達(dá) 72 年），這已遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出客戶對(duì)壽命的要求，足以滿足車規(guī)級(jí)要求。

圖源：縱慧芯光單結(jié) 2W VCSEL 的可靠性表現(xiàn)非常優(yōu)秀

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（2）以量產(chǎn)為目標(biāo)。陳曉遲博士表示，“有了令人滿意的可靠性性能之后，我們關(guān)注的是如何大規(guī)模地生產(chǎn)這顆芯片，即芯片的可量產(chǎn)性?？v慧芯光雖然是一家初創(chuàng)公司，但一直秉承‘以量產(chǎn)為目標(biāo)’的理念，從項(xiàng)目立項(xiàng)開始，就嚴(yán)格按照新產(chǎn)品導(dǎo)入流程，保障每一階段的穩(wěn)健輸出，最終達(dá)到可量產(chǎn)的目標(biāo)?！?/p>

陳曉遲博士展示了縱慧芯光在過去一段時(shí)間積累的 2000 片 6 英寸外延晶圓波長的分布圖，可以看出波長的波動(dòng)范圍控制在± 5 nm 內(nèi)。此外，縱慧芯光在外延代工廠擁有每月超 1500 片的產(chǎn)能，在常州建有自有外延產(chǎn)線，外延產(chǎn)能每月超過 1000 片。

縱慧芯光的最新 2000 片 6 英寸外延晶圓波長分布圖

據(jù)悉，縱慧芯光已經(jīng)提前布局了下一代 VCSEL 產(chǎn)品：多結(jié) VCSEL，并可實(shí)現(xiàn)分區(qū)點(diǎn)亮。相比單結(jié) VCSEL，多結(jié) VCSEL 將多個(gè) PN 偏置結(jié)在垂直方向上串聯(lián)，能輸出更高的峰值功率，并提供更佳的信噪比，所需驅(qū)動(dòng)電流更小，有助于降低整個(gè)系統(tǒng)的功耗。在相同光功率需求下可減小芯片尺寸，因此相比單結(jié) VCSEL 優(yōu)勢明顯，從而成為未來汽車激光雷達(dá)光源的最佳選擇。

縱慧芯光為汽車激光雷達(dá)開發(fā)的第一代多結(jié) VCSEL 的性能表現(xiàn)，各項(xiàng)指標(biāo)均可滿足汽車激光雷達(dá)的要求：

（1）LIV 性能：在相同的電流下，三結(jié) VCSEL 可以實(shí)現(xiàn) 8.2 W 的光功率輸出，單結(jié) VCSEL 只有 3 W，同時(shí)三結(jié) VCSEL 在室溫下 PCE 高達(dá) 53.7%，達(dá)到全球領(lǐng)先水平。

（2）短脈沖下的溫度穩(wěn)定性：工作在 85℃時(shí)輸出光功率相比 25℃相差小于 10%，充分證明了三結(jié) VCSEL 的溫度穩(wěn)定性非常好，可滿足長距離激光雷達(dá)高溫環(huán)境下的工作要求。

（3）遠(yuǎn)場發(fā)散角：隨著驅(qū)動(dòng)電流的增加，多結(jié) VCSEL 發(fā)散角度變化較小，形狀從“甜甜圈”形狀慢慢變成單峰形狀。

（4）可靠性：1000 小時(shí)加速老化測試結(jié)果表明無任何衰減，等效于產(chǎn)品壽命超過 15 年。

（5）車規(guī)認(rèn)證：縱慧芯光 VCSEL 產(chǎn)品已通過 AEC-Q102 車規(guī)級(jí)認(rèn)證，能夠滿足車規(guī)要求。

圖源：縱慧芯光 LIV 特性對(duì)比：單結(jié) VCSEL vs. 三結(jié) VCSEL

目前，縱慧芯光主要為汽車激光雷達(dá)提供兩種 VCSEL 光源解決方案：（1）多顆 VCSEL 集成封裝在一起，從而提高最終的輸出功率；（2）分區(qū)點(diǎn)亮 VCSEL 方案，包括 850 nm 波段和 940 nm 波段、單結(jié)和多結(jié)技術(shù)。

3. 華芯半導(dǎo)體

華芯半導(dǎo)體科技有限公司位于泰州市姜堰區(qū)現(xiàn)代科技產(chǎn)業(yè)園，投資已超 5 億元，占地面積 90 余畝，建筑面積 50000 平米。

公司主要產(chǎn)品為高亮度 LED、藍(lán)綠光半導(dǎo)體激光管、垂直腔面發(fā)射（VCSEL）光子芯片、DFB 光子芯片、EML 光子芯片以及高亮度半導(dǎo)體激光芯片等。產(chǎn)品主要應(yīng)用于激光顯示、激光照明、激光電視、光纖通訊、數(shù)據(jù)中心、云計(jì)算、超算等領(lǐng)域。

圖源：華芯半導(dǎo)體商用 25G VCSEL 激光器制造流程

華芯半導(dǎo)體近期接受媒體采訪的時(shí)候表示，公司 2017 年 3 月宣布其自主開發(fā)的 25G VCSEL 芯片已通過客戶測試，一時(shí)間引起全行業(yè)高度關(guān)注。

圖源：華芯半導(dǎo)體官網(wǎng)

到目前為止，華芯半導(dǎo)體已經(jīng)為業(yè)界提供了包括 850nm 6G/10G/25G VCSEL 外延片和芯片， 940nm 5mW~4W VCSEL 芯片及外延片，藍(lán)光外延片和芯片等系列解決方案，完全滿足數(shù)據(jù)通信、3D 感測及測距、激光雷達(dá)等應(yīng)用的要求。

4. 睿熙科技

睿熙科技成立于 2017 年，專注于 VCSEL 芯片及衍生產(chǎn)品的研發(fā)及量產(chǎn)，2020 年 9 月，公司完成 2 億元人民幣 A+輪融資，將主要用于下一階段芯片的量產(chǎn)以及流片研發(fā)投入。據(jù)官網(wǎng)介紹，公司 VCSEL 芯片可以滿足消費(fèi)電子領(lǐng)域每月 10kk+供貨能力。公司對(duì)標(biāo) lumentum，定位高端芯片市場，目前產(chǎn)品覆蓋消費(fèi)電子、數(shù)據(jù)通信以及車載三大領(lǐng)域，產(chǎn)品線如今覆蓋各類場景應(yīng)用：
除了消費(fèi)電子領(lǐng)域，睿熙科技也在積極拓展數(shù)據(jù)通信領(lǐng)域和車載領(lǐng)域，據(jù)介紹，在數(shù)據(jù)通信領(lǐng)域，25G 數(shù)通產(chǎn)品現(xiàn)階段已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)階段，在車載領(lǐng)域，產(chǎn)品能量轉(zhuǎn)換效率可達(dá) 35%+，功率在 1000W。

圖源：睿熙科技睿熙科技車載領(lǐng)域與全球最大車載鏡頭供應(yīng)商深度合作，已完成用于車載激光雷達(dá) VCSEL 芯片的定制開發(fā)。芯片峰值輸出功率數(shù)百瓦，發(fā)光點(diǎn)約千個(gè)，支持逐行按序點(diǎn)亮?，F(xiàn)階段正在開發(fā)二代產(chǎn)品。

相對(duì)集成電路設(shè)計(jì)，一方面光芯片對(duì)工藝依賴程度高，同時(shí)上游代工標(biāo)準(zhǔn)化程度低，VCSEL 的多層外延結(jié)構(gòu)使得其對(duì)外延要求很高，工藝上 know-how 非常多，而光刻環(huán)節(jié)相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)化。初創(chuàng)公司在戰(zhàn)略制定方面常常在 Fabless 以及介于 Fabless 和 IDM 之間（部分環(huán)節(jié)代工+部分自建產(chǎn)線）選擇，需要權(quán)衡公司資金、技術(shù)、經(jīng)驗(yàn)等方面的儲(chǔ)備，比如縱慧芯光的“fab-lite”除了電路 IC 設(shè)計(jì)還自建核心外延產(chǎn)線。

5. 檸檬光子

檸檬光子成立于 2018 年，主攻高性能半導(dǎo)體激光芯片及其模組和光引擎，包括 VCSEL 垂直腔面發(fā)射激光器 、EEL 邊發(fā)射激光器等產(chǎn)品，可應(yīng)用于 3D 傳感、AR/VR、機(jī)器人、激光雷達(dá)、消費(fèi)電子、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)、數(shù)據(jù)中心等領(lǐng)域。

2020 年 4 月，檸檬光子推出了領(lǐng)先業(yè)界的高性能大功率 808 nm 和 850 nm VCSEL 芯片系列產(chǎn)品。據(jù)介紹，該系列產(chǎn)品具有高效率、高可靠性和優(yōu)異的高溫性能等特點(diǎn)，可應(yīng)用于三維傳感、激光雷達(dá)、泵浦、安防、醫(yī)療等紅外照明等領(lǐng)域。

檸檬光子推出的 808 nm 和 850 nm VCSEL 芯片具有如下特點(diǎn)：

種類范圍廣：輸出功率從幾毫瓦，幾百毫瓦，通用的 1W、2W，到高功率 4-10W（連續(xù)輸出）或更高（脈沖輸出） ；

在連續(xù)輸出(CW)模式下取得領(lǐng)先業(yè)界的電光轉(zhuǎn)換效率，PCE~48%（1 W 芯片），PCE~46% （8W 芯片）;

圖 1 功率和效率曲線

高溫下保持良好的性能，即使在熱沉溫度 120°C 的情況下，850 nmVCSEL 芯片的電光轉(zhuǎn)換效率也超過 25%；

圖 2PCE vs 溫度曲線

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除了提供不同功率選擇的標(biāo)準(zhǔn)化 VCSEL 激光芯片產(chǎn)品，檸檬光子也能根據(jù)客戶的需求，提供芯片及相應(yīng)模組的定制設(shè)計(jì)服務(wù)，例如客戶可定制發(fā)散角在 20 至 30 度之間的常規(guī) VCSEL，以及檸檬光子正在為客戶定制開發(fā)面向 dToF 應(yīng)用的高能量密度 VCSEL。

檸檬光子該系列 VCSEL 產(chǎn)品適于大規(guī)模量產(chǎn)，完全采用 6 英寸外延及流片，有極為精減的加工流程，并已在多家國內(nèi)外成熟的 6 英寸芯片代工廠得到驗(yàn)證。同時(shí)，該產(chǎn)品具有優(yōu)異的可靠性，已通過 50°C 熱沉溫度下 2000h 以上連續(xù)出光的加速老化壽命測試。

6. 威科賽樂

威科賽樂微電子股份有限公司成立于 2018 年 1 月，是由廣東先導(dǎo)集團(tuán)與重慶萬林投資公司共同出資打造，致力于半導(dǎo)體材料、晶圓、激光器芯片的研發(fā)、制造及銷售，一期投資 13 億元，總占地面積 75 畝。

據(jù)官網(wǎng)介紹，公司專注創(chuàng)新，通過資源整合、技術(shù)革新，實(shí)現(xiàn)了年產(chǎn) 250 萬片砷化鎵、磷化銦等襯底材料與年產(chǎn)高端激光器芯片 20 億顆的生產(chǎn)能力，投產(chǎn)后將徹底改變國內(nèi)應(yīng)用于智能手機(jī)、無人駕駛等領(lǐng)域的 3D 感測和激光雷達(dá)芯片嚴(yán)重依賴進(jìn)口的困局。

圖源：威科賽樂

2020 年 5 月，由威科賽樂公司生產(chǎn)的首顆擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的 3D 感測 VCSEL 芯片在萬州下線。目前公司芯片生產(chǎn)線已進(jìn)入工藝優(yōu)化階段，預(yù)計(jì)下半年進(jìn)行小批量投產(chǎn)。該芯片的下線，意味著威科賽樂從此成功擠入了全球?yàn)閿?shù)不多可以自主研發(fā)制造 3D 感測 VCSEL 芯片的企業(yè)陣營。

7. 瑞識(shí)科技

瑞識(shí)科技是一家源自硅谷的高科技公司，由美國海歸博士團(tuán)隊(duì)創(chuàng)建。公司致力于半導(dǎo)體光學(xué)領(lǐng)域，為人工智能、身份識(shí)別、3D 視覺、輔助駕駛、安防監(jiān)控、特種照明、智慧物流、健康監(jiān)測等行業(yè)客戶提供行業(yè)領(lǐng)先的光源產(chǎn)品和具有競爭力的光學(xué)解決方案。

圖 3 瑞識(shí) SRay 工作原理

瑞識(shí)科技核心技術(shù)包括光芯片設(shè)計(jì)，光學(xué)透鏡集成，器件級(jí)集成封裝，數(shù)理建模，光電系統(tǒng)整合優(yōu)化等。公司的 VCSEL 外延及芯片設(shè)計(jì)已經(jīng)完成數(shù)百片 6 寸晶圓的量產(chǎn)驗(yàn)證。

公司產(chǎn)品涵蓋不同波長包括 850nm，940nm，光功率從幾毫瓦到數(shù)瓦的完整系列，可供 3D 結(jié)構(gòu)光，接近傳感、紅外泛光源以及 3D TOF 感應(yīng)等不同場景中的應(yīng)用。

瑞識(shí) SRay 通過整合了瑞識(shí)科技自主設(shè)計(jì)制造的 VCSEL 芯片以及準(zhǔn)直透鏡（Collimator）和衍射光學(xué)器件（DOE），在使用時(shí)主動(dòng)投射出由 2~3 萬個(gè)肉眼不可見、滿足 class 1 激光人眼安全標(biāo)準(zhǔn)的光點(diǎn)組成的紅外激光散斑，在被測物無任何感覺情況下，實(shí)現(xiàn)快速無感的表面深度信息解析，可廣泛適用于近距離人臉識(shí)別、手勢識(shí)別、活體檢測等智能應(yīng)用場景。

早先推出的專為 3D ToF 研發(fā)的發(fā)射光源——TRay VCSEL + Diffuser 產(chǎn)品系列，緊湊尺寸，兼具高精度、高可靠性、高光電轉(zhuǎn)換率和低功耗產(chǎn)品優(yōu)勢，全面適用于 ToF 現(xiàn)有技術(shù)路線中的 iToF 和 dToF 方案，工作距離最遠(yuǎn)可達(dá) 10m。

圖：瑞識(shí) TRay ToF 光源系列產(chǎn)品實(shí)拍圖

瑞識(shí) TRay 系列，通用視場角（FOV）有 60°*45° /72°*55°/90°*70° /110°*90° /20°*120° 等多種可選。作為 ToF 需求客戶的理想發(fā)射光源選擇，TRay 系列有以下六大產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 采用自主研發(fā) VCSEL 芯片，具備高性價(jià)比、高可靠性和一致表現(xiàn)；采用獨(dú)家高“芯占比”封裝技術(shù)，3.45*3.45*1.65mm/3.5*3.2*1.3mm 緊湊尺寸，比市面現(xiàn)有產(chǎn)品體積縮小了 60%以上；高方案兼容性：波段 850/940nm，適用于各類移動(dòng)產(chǎn)品集成；功率涵蓋 1W-5W，匹配主流 ToF 光源需求；高硬件兼容性（腳位 pin to pin）；高效率：高轉(zhuǎn)化率（PCE）達(dá) 42%，低功耗；高定制靈活性: 根據(jù)客戶需求，提供涵蓋芯片設(shè)計(jì)、視場角、光功率、PD 電流保護(hù)方案等在內(nèi)的全鏈定制服務(wù)。極致性價(jià)比：全鏈可控，最大限度降低成本。

8. 長光華芯

長光華芯主要致力于高功率半導(dǎo)體激光器芯片、高效率半導(dǎo)體激光雷達(dá) 3D 傳感芯片、高速光通信半導(dǎo)體激光芯片及相關(guān)光電器件和應(yīng)用系統(tǒng)的研發(fā)生產(chǎn)和銷售。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于工業(yè)激光器泵浦、激光先進(jìn)制造裝備、生物醫(yī)學(xué)及美容、高速光通信、機(jī)器視覺與傳感等。

目前，長光華芯的 VCSEL 已經(jīng)推出距離傳感器、結(jié)構(gòu)光（SL）、飛行時(shí)間（ToF）三大類產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的波長包含 808 nm、850 nm、940 nm。這些產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于距離傳感、人臉識(shí)別、手機(jī) 3D 傳感、機(jī)器人、汽車激光雷達(dá)、光通訊、原子鐘、安防照明等領(lǐng)域。

圖源：長光華芯官網(wǎng)

VCSEL- 5W TOF，VCSEL 均勻列陣芯片具有高功率、高效率、高可靠性等特點(diǎn)，并滿足客戶的定制化需求。適用于適用于飛行時(shí)間（TOF）3D 傳感方案，廣泛應(yīng)用于人臉識(shí)別、無人駕駛、智能安防、AR/VR 等領(lǐng)域。

除了上述企業(yè)，已經(jīng)量產(chǎn) VCSEL 芯片的廠商還有光迅科技、海特高新、仟目激光，此前就有報(bào)道稱，光迅科技的 25G VCSEL 芯片已通過部分客戶驗(yàn)證，逐步進(jìn)入量產(chǎn)階段，今年 6 月份表示，光迅科技表示，公司 25G VCSEL 芯片的良率在逐步提高，生產(chǎn)和研發(fā)過程自主可控。

9. 博升光電

博升光電成立于 2018 年 12 月，由世界著名科學(xué)家和企業(yè)家創(chuàng)辦，是技術(shù)領(lǐng)先的光電半導(dǎo)體科技企業(yè)， 致力于為消費(fèi)電子、智能物聯(lián)網(wǎng)、輔助 / 自動(dòng)駕駛、光通信、云計(jì)算等企業(yè)，提供下一代高性能 VCSEL 光芯片解決方案。公司目前產(chǎn)品主要包括：應(yīng)用于消費(fèi)電子、智能物聯(lián)網(wǎng) 3D 傳感的 940nm 結(jié)構(gòu)光 /iToF/dToF VCSEL 芯片，應(yīng)用于輔助 / 自動(dòng)駕駛的 940nm 激光雷達(dá) VCSEL 芯片，應(yīng)用于光通信、云計(jì)算 的 850nm10Gbps/20Gbps/25Gbps/50Gbps VCSEL 芯片。

博升光電擁有豐富的 VCSEL 光芯片技術(shù)積累和儲(chǔ)備、以及下一代核心專利技術(shù)—高對(duì)比度光柵（HCG）。HCG 從底層結(jié)構(gòu)上對(duì)現(xiàn)有 DBR 結(jié)構(gòu)的 VCSEL 帶來革命性的改進(jìn)，通過單層 HCG 光柵替換現(xiàn)有 100 多層的 DBR 反射鏡，大幅簡化了 VCSEL 外延結(jié)構(gòu)，縮短了外延生長時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。

dToF 是 3D 傳感產(chǎn)業(yè)最受關(guān)注的技術(shù)方向之一。博升光電很早就對(duì) dToF 技術(shù)進(jìn)行了研究，公司成立不久就已經(jīng)開始設(shè)計(jì) dToF VCSEL 芯片，目前已有支持 dToF 的分區(qū)點(diǎn)亮的 VCSEL 產(chǎn)品實(shí)物送樣。在國內(nèi)，博升光電是業(yè)界很早具備實(shí)物產(chǎn)品送樣能力的公司。目前支持 dToF 的 VCSEL 已經(jīng)有分區(qū)點(diǎn)亮、多 PN 結(jié)等不同種類的芯片產(chǎn)品，并且正在和合作伙伴進(jìn)行定制化開發(fā)以提升系統(tǒng)性能。

博升光電同樣關(guān)注激光雷達(dá)市場。車用 VCSEL 不僅用于車外的激光雷達(dá)，也有車內(nèi)應(yīng)用，比如 DMS（疲勞駕駛預(yù)警系統(tǒng)），根據(jù)不同場景應(yīng)用，VCSEL 芯片的性能指標(biāo)有很多不同。博升光電的核心競爭力在于芯片的高功率、窄光束的特質(zhì)，而且樂于與下游客戶密切合作做定制化開發(fā)。

10. 海威華芯

海特高新子公司海威華芯開發(fā)了砷化鎵 IPD、PPA15、VCSEL、氮化鎵 NPA25 等制程產(chǎn)品，在基站射頻氮化鎵、充電硅基氮化鎵、3D 感知 VCSEL 砷化鎵等核心產(chǎn)品進(jìn)入小批量量產(chǎn)階段。

海特高新今年 3 月份表示，公司 VCSEL 芯片廣泛應(yīng)用于人臉識(shí)別、測距、激光雷達(dá)、3D 感知等諸多領(lǐng)域，在消費(fèi)電子領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用， 2017 年 11 月成立于武漢的仟目激光，主要產(chǎn)品為 VCSEL、DFB、窄線寬激光器、工業(yè)大功率激光器等多種類型，在消費(fèi)電子、自動(dòng)駕駛、光纖通信以及工業(yè)切割等領(lǐng)域均有廣泛應(yīng)用。

公司 2019 年 12 年就成功量產(chǎn)了 6 寸晶圓 25G VCSEL 芯片，應(yīng)用于數(shù)據(jù)中心、消費(fèi)電子中?？梢灶A(yù)見，未來在 3D 傳感、5G 通信等多領(lǐng)域的需求推動(dòng)下，及各廠商的研發(fā)投入及經(jīng)驗(yàn)積累下，國內(nèi) VCSEL 芯片將會(huì)取得長足發(fā)展。

11. 乾照光電

乾照光電于 2018 年 11 月宣布擬出資 15.97 億元建設(shè) VCSEL、高端 LED 芯片等半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)項(xiàng)目，由公司全資子公司廈門乾照半導(dǎo)體科技有限公司負(fù)責(zé)承辦。

據(jù)了解，由于紅黃光 LED 和 VCSEL 同屬 GaAs 材料體系，憑借在砷化鎵光電器件領(lǐng)域的多年積累，乾照光電 2017 年開始對(duì) VCSEL 展開密集調(diào)研，次年正式投入 15.97 億用于投建 VCSEL、高端 LED 芯片等高端半導(dǎo)體項(xiàng)目，由全資子公司乾照半導(dǎo)體承辦，并成立合資子公司——乾照激光。在戰(zhàn)略投資 VCSEL 項(xiàng)目時(shí)，乾照光電充分信賴和依靠自身的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，選擇“企業(yè)孵化+科研院所合作”的產(chǎn)學(xué)研相結(jié)合的模式，將乾照光電的量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)與科研院所的理論底蘊(yùn)相結(jié)合。

截止目前，乾照已建成包括 3D 感測 VCSEL 外延生長、芯片流片、點(diǎn)測分選和可靠性驗(yàn)證等完整一站式 VCSEL 產(chǎn)線。

（1）針對(duì)結(jié)構(gòu)光客戶，目前乾照已配合數(shù)家結(jié)構(gòu)光客戶進(jìn)行隨機(jī)列陣定制，并已為部分客戶小批量供貨。得益于完整和高效的 VCSEL 產(chǎn)線，乾照激光產(chǎn)品迭代迅速，供貨有保障：常規(guī)的 VCSEL 隨機(jī)陣列，定制周期較短，包括方案評(píng)估、光刻圖形定制、芯片研發(fā)和生產(chǎn)等環(huán)節(jié)。已通過驗(yàn)證的客戶，重復(fù)訂單，從下單到出貨不到 3 周。

（2）針對(duì) TOF 方案客戶，目前公司內(nèi)部已開發(fā)的產(chǎn)品波長覆蓋 940nm 和 850nm，功率覆蓋單孔的 5mW 到高功率的 8W 均勻列陣。批量出貨產(chǎn)品的光電轉(zhuǎn)換效率可達(dá) 40~45%。

乾照光電均勻列陣產(chǎn)品

2019 年，乾照光電在高端化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域通過投資、孵化、內(nèi)部研發(fā)等多種方式并舉，積極拓展激光芯片、VCSEL 芯片、光通訊芯片等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)機(jī)會(huì)?，F(xiàn) VCSEL 芯片產(chǎn)品已經(jīng)實(shí)現(xiàn)小批量出貨，有望搶占 3D 感測的先機(jī)。此前乾照光電透露，公司目前的 VCSEL 芯片產(chǎn)品主要是根據(jù)客戶需求，按訂單生產(chǎn)，正在小批量出貨。
乾照光電可提供一站式的 VCSEL 測試和可靠性驗(yàn)證，包括加速老化、 冷熱沖擊、可焊性實(shí)驗(yàn)、恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)、靜電實(shí)驗(yàn)等。在一輪輪的產(chǎn)品出樣和迭代周期中，對(duì)于 VCSEL，乾照光電已具備量產(chǎn)的幾大必需能力：響應(yīng)及時(shí)、迭代迅速、制程穩(wěn)定、可靠性保障、大規(guī)模出貨。
在紅黃光 LED 外延片及芯片領(lǐng)域，乾照光電現(xiàn)有 MOCVD 共 42 個(gè)腔；在藍(lán)綠光 LED 外延片及芯片領(lǐng)域，公司擁有 MOCVD 共 155 個(gè)腔（折 K465I 機(jī)型）。目前均已導(dǎo)入 4 寸片生產(chǎn)工藝，產(chǎn)能在原有基礎(chǔ)上有所提升，且外延片良率均不低于 98%。

12. 三安集成電路

三安集成電路有限公司成立于 2014 年，是隸屬于上市公司三安光電的全資子公司。在光學(xué)通信和光子學(xué)領(lǐng)域，三安集成提供定制單片機(jī)和陣列、DFB 激光器、光電二極管、雪崩光電二極管(APDs)、監(jiān)控光電二極管(MPDs)等高速光學(xué)產(chǎn)品的晶圓制造。能力包括大功率可見和紅外 VCSELs，用于 3D 傳感的邊緣發(fā)射激光器，激光雷達(dá)和一些消費(fèi)應(yīng)用。

三安集成今年宣布推出針對(duì)應(yīng)用于數(shù)據(jù)中心 AOC、光模塊基于其 GaAs 技術(shù)平臺(tái)的高速 25G VCSEL 芯片組及陣列系列，可以結(jié)合三安集成的 25G 850nm PD 芯片，為客戶提供全套的低功耗、極具成本效益的 25G 收發(fā)組合芯片。

面向光通訊領(lǐng)域，三安集成供應(yīng) 10G-25G 850nm PD 芯片，1310/1550nm MPD、SPD、PD、APD 芯片，2.5G/10G/25G DFB 彩光芯片,10G/25G 850nm VCSEL 芯片等各類光芯片產(chǎn)品。其中，25G 850nm/1310nm PD 已實(shí)現(xiàn)大批量量產(chǎn)，25G 850nm VCSEL 和 25G 1310nm/CWDM DFB 也已經(jīng)可以小批量量產(chǎn)。下一步產(chǎn)品規(guī)劃，例如 25G PAM4、56G 850nm 短距產(chǎn)品正在持續(xù)推進(jìn)。

三安集成的優(yōu)勢是作為平臺(tái)型芯片供應(yīng)商，不同于光器件公司內(nèi)部直屬的光芯片部門，可以更全面地掌握行業(yè)需求走向和細(xì)分要求，更不會(huì)局限于某個(gè)特定方向，因此容易把握自身產(chǎn)品的演進(jìn)迭代。同時(shí)，還可以不自我設(shè)限地面向市場各類需求開放平臺(tái)，以品質(zhì)吸引客戶，同時(shí)發(fā)揮大批量制造和交付能力滿足客戶要求，規(guī)模效應(yīng)攤薄成本并為后續(xù)產(chǎn)品迭代積累經(jīng)驗(yàn)和資源。

13. 光迅科技

光迅科技成立于 2001 年，不過它的前身可以追溯到 1976 年，其前身是中國光通信的鼻祖—武漢郵電部固體器件研究所,公司是光通信領(lǐng)域具備光芯片、器件及模塊一體化能力龍頭。

光迅科技 25G VCSEL 芯片

公司采用雙線戰(zhàn)略：法國 Almae 公司研發(fā) 25G EML 芯片，國內(nèi)團(tuán)隊(duì)研發(fā) 25G DFB 芯片，目前公司的 25G PD 探測器已經(jīng)釋放量產(chǎn)；25G IPD 正在內(nèi)部驗(yàn)證改進(jìn)；激光器芯片方面，25G VCSEL 芯片進(jìn)展快一些，在客戶上已經(jīng)做了批量送樣驗(yàn)證；25G EML 芯片去年已經(jīng)給國內(nèi)國際客戶送樣，進(jìn)度有快有慢，內(nèi)部在解決量產(chǎn)的成品率問題，預(yù)計(jì)今年年底有階段性的成果；25G 商業(yè)級(jí)的 DFB 芯片已經(jīng)在客戶送樣；從公司 25G 多種型號(hào)的光芯片進(jìn)展來看，公司目前正在全力進(jìn)行 25G 多種型號(hào)芯片的研發(fā)、測試、送樣驗(yàn)證和量產(chǎn)準(zhǔn)備工作。

根據(jù)公開資料顯示，法國 Almae 主要從事通信用 InP 基高速激光器研發(fā)和生產(chǎn)，其產(chǎn)品速率涵蓋 10G 和 25G。隨后 Almae 接手了原 III-V 實(shí)驗(yàn)室剝離的設(shè)備和超過 2000 平米的潔凈室，用于進(jìn)行通信相關(guān)產(chǎn)品產(chǎn)能的擴(kuò)充。此外，2014 年公司通過定增募投光電子芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，在武漢本部建設(shè) 10G DML/APD、25G VCSEL 和 40G PIN 等光芯片產(chǎn)能。憑借兩次收購?fù)庋雍投ㄔ鰞?nèi)生，公司已具備高端無源光芯片和高端有源光芯片的生產(chǎn)能力，為公司面向高端高速模塊的產(chǎn)能提升和成本優(yōu)化打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

光迅科技在技術(shù)發(fā)展戰(zhàn)略中，聚焦高速光模塊的生產(chǎn)以及光電芯片的自主研發(fā)，研發(fā)投入長期處于國內(nèi)同行企業(yè)中領(lǐng)先，承擔(dān)國家光電子芯片和器件國產(chǎn)化替代的戰(zhàn)略任務(wù)；2017 年 1 月光迅科技牽頭成立光谷信息光電子創(chuàng)新中心，其目標(biāo)旨在于解決 25G 速率以及以下光電子芯片技術(shù)，2020 年實(shí)現(xiàn)國內(nèi)廠家在核心光電子芯片和器件的市場占有率不低于 30%的目標(biāo)，到 2025 年實(shí)現(xiàn)核心光電子芯片和器件自主可控。

14. 太平洋（聊城）光電科技

太平洋（聊城）光電科技有限公司成立于 2016 年，是一家光通訊元器件制造商，主要產(chǎn)品有光模塊、VCSEL 芯片及 AOC 光纜等，應(yīng)用于大數(shù)據(jù)、云計(jì)算中心服務(wù)器間數(shù)據(jù)交互。目前已具備年產(chǎn) 1800 萬對(duì) VCSEL 面射型激光發(fā)射器芯片的能力，產(chǎn)品目前主要應(yīng)用于大數(shù)據(jù)、云計(jì)算中心服務(wù)器間數(shù)據(jù)交互、4G、5G 網(wǎng)絡(luò)。

光通信芯片方面，公司產(chǎn)品包括 5G、10G、25G VCSEL 芯片；3D 傳感方面，公司產(chǎn)品包括 850nm 及 940nm，2mW-2W 的 VCSEL 芯片。

25G 面射型激光器芯片示意圖

太平洋（聊城）光電模塊負(fù)責(zé)人楊文卿告訴記者，在云計(jì)算以及數(shù)據(jù)中心的產(chǎn)品應(yīng)用上，已完成 10G、25G、40G、100G 等低中高速率光收發(fā)模塊的研發(fā)并投入市場。

15. 源國科技

深圳源國光子通信有限公司成立于 2017 年，主要從事 10G、25G 乃至 56G 的 VCSEL 芯片開發(fā)和生產(chǎn)。旗下?lián)碛小癡CSEL 芯片”、適用于光纖連接的“MPO 模塊”，廣泛應(yīng)用于大型數(shù)據(jù)中心、超級(jí)計(jì)算機(jī)內(nèi)的連接。

據(jù)公開信息，公司已開始批量生產(chǎn) 850nm 和 940nm VCSEL 芯片，應(yīng)用于消費(fèi)電子領(lǐng)域。

VCSEL 芯片方面，25G 產(chǎn)品經(jīng)過去年送樣及檢測，已開始了批量出貨，截止目前，VCSEL 芯片出貨量最大的還是以 10G 產(chǎn)品為主，同時(shí)在傳感及手機(jī)領(lǐng)域，源國科技 VCSEL 產(chǎn)品也開始了客戶送樣階段，期待未來能在更多領(lǐng)域得到拓展。

長波 VCSEL，仍有瓶頸

華芯半導(dǎo)體呂工介紹到通過對(duì)光纖損耗原因進(jìn)行分析，人們發(fā)現(xiàn)光纖材料中的水汽（OH-）對(duì)光纖損耗影響很大。研究人員對(duì)生產(chǎn)光纖的工藝進(jìn)行了改進(jìn)，降低了水汽吸收的影響，而后發(fā)現(xiàn)光纖有三個(gè)低損耗窗口，分別是短波長 0.85 μm、長波長 1.31 μm 和 1.55 μm。

當(dāng)前 850 nm 波段的 VCSEL 商用已經(jīng)非常成熟，長波波段具有低色散和低損耗的特點(diǎn)，因此具有重要的應(yīng)用。但在長波長范圍內(nèi)，垂直腔面發(fā)射激光器的研究進(jìn)展較為緩慢，主要有以下原因：

1)很難將具有高反射率、低電阻、低熱阻的 DBR 與能在長波長范圍提供高增益的有源層集成在一起；

2)長波長波段，P 型材料的電阻較大，造成發(fā)熱嚴(yán)重，因此整體器件的電阻幾乎全部來自于 P 型 DBR。因此長波長 VCSEL，合理的 P-DBR 設(shè)計(jì)對(duì)于減小器件的串聯(lián)電阻，降低制作難度，延長器件使用壽命至關(guān)重要[1]。

未來趨勢，可期

呂工說到隨著 VCSEL 在消費(fèi)電子、智能手機(jī)的應(yīng)用成熟，越來越多的客戶根據(jù)應(yīng)用端需求對(duì) VCSEL 提出了更高的要求，如更高的可靠性、更低的成本、更高的功率密度。上述需求在遠(yuǎn)距離 3D 傳感應(yīng)用中的呼聲更為強(qiáng)烈，比如智能手機(jī)后置 3D 攝像頭和汽車激光雷達(dá)。業(yè)界對(duì)此有較為統(tǒng)一的認(rèn)知——VCESL 從單結(jié)向多結(jié)發(fā)展。

未來 VCSEL 激光器的發(fā)展根據(jù)其應(yīng)用領(lǐng)域，將有以下趨勢：

針對(duì)光通信用的 VCSEL 激光器：

1） 更高調(diào)制帶寬和傳輸速率；

2） 更低的功耗；

3） 更高的傳輸通道密度和多電平調(diào)制技術(shù)；

4） 更寬的工作溫度范圍；

5） 覆蓋波段范圍更廣。

針對(duì)感測類應(yīng)用的 VCSEL 激光器:

1） 高的光電轉(zhuǎn)換效率（PCE）；

2） 更高的點(diǎn)陣密度；

3） 高能量、低時(shí)延；

4） 覆蓋波段范圍更廣；

5） 更寬的工作溫度范圍。

本次 2020 第二屆激光雷達(dá)大會(huì)大會(huì) ams、lumentum、縱慧芯光、威科賽樂等主流 VCSEL 廠商會(huì)現(xiàn)場參與展示交流，敬請(qǐng)期待！

如需獲取完整版報(bào)告點(diǎn)擊關(guān)注上方藍(lán)字“智車行家”后回復(fù)“VCSEL”領(lǐng)取

2020 激光雷達(dá)大會(huì)活動(dòng)預(yù)告：

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大會(huì)背景

智車行家攜手易貿(mào)信息科技將于 12 月 15-16 日在上海召開 2020（第二屆）激光雷達(dá)前瞻技術(shù)展示交流會(huì)，與 30 余位行業(yè)專家共同圍繞著市場趨勢、技術(shù)發(fā)展、車規(guī)級(jí)制造、傳感器融合、車路協(xié)同應(yīng)用等熱點(diǎn)話題展開討論，分析最先進(jìn)的激光雷達(dá)技術(shù)（包括光學(xué)器件，光源，接收器和處理單元等），力圖打造一個(gè)集信息共享、經(jīng)驗(yàn)交流、技術(shù)支持以及產(chǎn)品展示的綜合性合作平臺(tái)。