中國芯片設(shè)備的“出關(guān)”之戰(zhàn)

3月底，萬業(yè)企業(yè)公告稱，大基金二期和上海裝備材料基金擬向旗下子公司鐠芯電子增資共3.9億元。這是大基金首次布局半導(dǎo)體零部件公司。

在芯片短缺和疫情持續(xù)的雙重作用下，發(fā)展芯片設(shè)備零部件行業(yè)成為一個(gè)戰(zhàn)略舉措。不僅是大基金看到了這一投資機(jī)遇，最近興起的民間資本也在下注，如專注于芯片投資的全德學(xué)。在芯片設(shè)備賽道逐漸變得擁擠的背景下，全德學(xué)溯流而上，注意到了方興未艾的設(shè)備零部件環(huán)節(jié)，并投資了國產(chǎn)精密零部件企業(yè)先鋒半導(dǎo)體。

如果你多思考一下，就會(huì)發(fā)現(xiàn)，設(shè)備零部件行業(yè)投資機(jī)遇的浮現(xiàn)，離不開一個(gè)大背景：

中國芯片設(shè)備行業(yè)的國產(chǎn)化。

如果說造芯片已經(jīng)足夠困難的話，開發(fā)芯片設(shè)備所面臨的問題只會(huì)更多。首先是晶圓工廠是否愿意用；然后是多久才能賺到錢，蓋晶圓工廠耗資多、驗(yàn)證周期漫長、回款和確認(rèn)收入節(jié)點(diǎn)遲，只有寥寥幾個(gè)廠采購，可能拖死一家設(shè)備廠商；最后是占有一定份額后，如何持續(xù)提升毛利率？能走到最后一步的已經(jīng)是剩下的強(qiáng)者，但他們要往上走還需要直面每個(gè)領(lǐng)域全球僅存的兩三個(gè)大boss。

幸運(yùn)的是，經(jīng)過二十年的發(fā)展，在國內(nèi)芯片制造業(yè)步履蹣跚、一路坎坷之際，本土芯片設(shè)備行業(yè)涌現(xiàn)出眾多頗具實(shí)力的參與者。

本文以三家公司為例，試圖梳理中國芯片設(shè)備行業(yè)三條不同的發(fā)展路徑：

1.北方華創(chuàng)～國企做大做強(qiáng)

2.中微公司～海歸創(chuàng)業(yè)開局

3.萬業(yè)企業(yè)～三駕馬車并進(jìn)

01、北方華創(chuàng)~國企做大做強(qiáng)

談及當(dāng)下國內(nèi)銷售額最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司北方華創(chuàng)，就得從它不斷整合的發(fā)展歷程說起。

北方華創(chuàng)是“老牌”國企，由七星華創(chuàng)與北方微電子合并而成，其前身七星華創(chuàng)可以追溯到新中國“一五”計(jì)劃時(shí)期。當(dāng)時(shí)，由周恩來總理親自批準(zhǔn)，在前蘇聯(lián)和東德援助下建設(shè)了“北京華北無線電聯(lián)合器材廠”，即718聯(lián)合廠，建成后對電子工業(yè)的建設(shè)、國防建設(shè)、通信工業(yè)的發(fā)展做出過卓越的貢獻(xiàn)，中國第一顆原子彈和人造衛(wèi)星的許多關(guān)鍵元件就出自這里。1960年代初，718聯(lián)合廠分拆為五個(gè)獨(dú)立的國營工廠。

2001年9月，北京電控在整合了五個(gè)國營工廠的優(yōu)質(zhì)資產(chǎn)和業(yè)務(wù)后成立七星華創(chuàng)，主營半導(dǎo)體裝備及精密電子元器件業(yè)務(wù)。

七星華創(chuàng)的誕生，是新世紀(jì)之初北京雄心勃勃發(fā)展芯片工業(yè)的一個(gè)縮影。當(dāng)時(shí)的北京，與正在建設(shè)中芯國際的上海遙相呼應(yīng)，也設(shè)立了北方微電子基地。

2000年12月，北方微電子產(chǎn)業(yè)基地在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)正式啟動(dòng)。當(dāng)月，基于引進(jìn)的國外關(guān)鍵全新設(shè)備、先進(jìn)二手生產(chǎn)設(shè)備和國產(chǎn)精品設(shè)備，首批三條芯片產(chǎn)線開工建設(shè)，總投資超15億美元，投資方包括首鋼、京東方等關(guān)鍵市屬企業(yè)。

北方微電子基地對于七星華創(chuàng)的意義重大。那時(shí)，七星華創(chuàng)正處于市場開拓時(shí)期，國產(chǎn)設(shè)備研發(fā)出來沒工廠用是一個(gè)大問題。北方微電子基地同時(shí)引進(jìn)全新的外國設(shè)備和二手設(shè)備，七星華創(chuàng)正好可以趁此機(jī)會(huì)，在產(chǎn)線上做一個(gè)“對照實(shí)驗(yàn)”，找出自己的不足，然后加以彌補(bǔ)。

為支持北方微電子基地的工作，2001年10月，北京市從清華大學(xué)等機(jī)構(gòu)抽調(diào)出相當(dāng)?shù)难邪l(fā)力量，成立了設(shè)備工藝研究所，但是以公司法人運(yùn)行。

北方華創(chuàng)的現(xiàn)任董事長趙晉榮，就曾擔(dān)任設(shè)備工藝研究所總經(jīng)理。2001年，他作為總工程師和核心技術(shù)帶頭人，承接了“十五”國家863計(jì)劃集成電路制造裝備重大專項(xiàng)，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)進(jìn)行100nm高密度等離子刻蝕機(jī)研發(fā)項(xiàng)目，在關(guān)鍵技術(shù)受到國外嚴(yán)格禁運(yùn)和限制的情況下，于2005年實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)首臺(tái)集成電路8英寸100nm刻蝕機(jī)上線，使我國成為繼美、日后第三個(gè)能提供100nm刻蝕技術(shù)解決方案的國家。

就此，在北京市政府主導(dǎo)下，七星華創(chuàng)與北方微電子基地設(shè)備工藝研究所緊密綁定起來，雙方分工明確，前者負(fù)責(zé)產(chǎn)業(yè)化，后者負(fù)責(zé)研發(fā)，隨著互動(dòng)的加深，他們對于芯片設(shè)備行業(yè)的理解也就越來越深。

而且，雙方的人員交流密切。趙晉榮先在企業(yè)擔(dān)任總工程師和副廠長，后任設(shè)備工藝研究所總經(jīng)理，然后又返回企業(yè)。技術(shù)與管理人員往來頻繁，促進(jìn)了市場與技術(shù)的正循環(huán)。

在計(jì)劃經(jīng)濟(jì)時(shí)代，國營工廠與研究所之間的分裂，一直是一個(gè)老大難的體制問題，到了改革開放后依然是一個(gè)困擾。但是這個(gè)問題一旦解決，國有經(jīng)營體制照樣能在高技術(shù)工業(yè)發(fā)揮很大作用。

由于芯片設(shè)備回血實(shí)在太慢，七星華創(chuàng)開始基于在芯片設(shè)備奠定的技術(shù)基礎(chǔ)，向其他高技術(shù)領(lǐng)域降維打擊：

在面板領(lǐng)域，七星華創(chuàng)與半導(dǎo)體顯示龍頭京東方合作，這兩家的實(shí)際控制人都是北京電控，作為兄弟單位，京東方給了七星華創(chuàng)不少支持。2013年，兩家在LCD面板設(shè)備及配件等業(yè)務(wù)領(lǐng)域簽單約1.7億元。

在光伏領(lǐng)域，本世紀(jì)初，七星華創(chuàng)進(jìn)入光伏設(shè)備行業(yè)，一躍成為國內(nèi)最大的單晶爐制造企業(yè)之一，是全球最大的單晶硅制造商隆基股份的主要設(shè)備提供商。2016、2017兩年時(shí)間內(nèi)，七星華創(chuàng)搶走了晶盛機(jī)電的單子，向隆基出售大量單晶爐設(shè)備，總計(jì)超過11.8億元。

憑借在面板和光伏領(lǐng)域積累的收入，2016年，七星華創(chuàng)完成與北方微電子的戰(zhàn)略重組，并成功引進(jìn)大基金等戰(zhàn)略投資者，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)與資本的融合。次年，合并后的企業(yè)更名為北方華創(chuàng)。

公司完成重整后，北方華創(chuàng)進(jìn)入了快速發(fā)展階段，整體毛利率維持 40%左右，穩(wěn)中有升。2018年后，北方華創(chuàng)實(shí)現(xiàn)了爆發(fā)式增長，主要體現(xiàn)在三個(gè)方面：

第一，半導(dǎo)體設(shè)備收入占比不斷提高，從2018年的60%提高至2020年的約70%。2020年，半導(dǎo)體設(shè)備收入達(dá)43.91億元，同比增長54.5%，在中國半導(dǎo)體設(shè)備廠商中位居首位。

第二，公司客戶多為國內(nèi)知名企業(yè)。包括中芯國際、三安光電、京東方都是北方華創(chuàng)半導(dǎo)體設(shè)備的主要客戶，采購刻蝕機(jī)、PVD沉積、清洗機(jī)等設(shè)備。

第三，產(chǎn)品線不斷拓展。2018年，北方華創(chuàng)完成對美國Akrion Systems LLC公司的收購，進(jìn)一步豐富高端集成電路設(shè)備產(chǎn)品線，拓展硅片清洗設(shè)備業(yè)務(wù)。2020年，又收購北廣科技射頻應(yīng)用技術(shù)資產(chǎn)，布局射頻領(lǐng)域。

02、中微公司～海歸創(chuàng)業(yè)開局

不同于北方華創(chuàng)的國企改革背景，中微的故事要從尹志堯講起。

1984年，尹志堯在加州大學(xué)洛杉磯分校取得物理化學(xué)博士學(xué)位，隨后進(jìn)入英特爾中心技術(shù)開發(fā)部，主要負(fù)責(zé)測試泛林半導(dǎo)體生產(chǎn)的介質(zhì)刻蝕機(jī)。他給泛林的產(chǎn)品提出了不少建議，兩年后加入泛林，主導(dǎo)研制了“彩虹號(hào)”氧化物刻蝕機(jī)，該機(jī)器成為泛林的一款拳頭產(chǎn)品，泛林也在九十年代初成為全球規(guī)模最大的刻蝕機(jī)公司。

1991年，尹志堯跳槽到應(yīng)用材料，這一待就是13年。他在這里擔(dān)任過等離子體刻蝕事業(yè)群總經(jīng)理等職務(wù)，是公司核心技術(shù)人員之一。到他退休時(shí)，應(yīng)用材料已經(jīng)取泛林而代之，在刻蝕機(jī)市場坐上了頭把交椅。

退休之后，尹志堯眼見國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場的大好機(jī)遇——芯片制造大規(guī)模向亞洲轉(zhuǎn)移，但作為生產(chǎn)基礎(chǔ)的設(shè)備制造仍然留在北美和歐洲，這與成熟半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)由成本驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)布局的趨勢相悖。機(jī)不可失，他決定和14位技術(shù)人員回到國內(nèi)這片處女地，創(chuàng)建一家半導(dǎo)體設(shè)備公司，這就是成立于2004年的中微公司。

然而，回國創(chuàng)業(yè)談何容易？更何況是領(lǐng)著一幫在國際龍頭公司承擔(dān)關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)的技術(shù)專家。

即使他們每個(gè)人在回國前都簽字畫押，保證不帶出來任何文件、數(shù)據(jù)和設(shè)計(jì)圖紙，不泄露任何商業(yè)機(jī)密，但中微公司成立后仍不免面對老東家來勢洶洶的專利訴訟。2007、2009年，應(yīng)用材料和泛林接連向中微公司發(fā)難，起訴其侵犯專利權(quán)，為自證清白，中微公司自己請律師徹查了公司和幾十位技術(shù)人員的電腦和多達(dá)600萬份文件，光是查閱文件資料就足足花了兩年半的時(shí)間。

“打鐵還得自身硬”，中微公司行事謹(jǐn)慎，在專利戰(zhàn)中屢獲勝績。在其第一款刻蝕機(jī)產(chǎn)品問世前，他們不僅研究了競爭對手3000多件專利避免踩雷，還將自家1000多件獨(dú)特設(shè)計(jì)申請了專利保護(hù)，筑起了深厚的護(hù)城河。

引來應(yīng)用材料專利侵權(quán)指控的導(dǎo)火索，正是中微公司成立僅三年后就造出的應(yīng)用于12英寸45-65nm制程高端芯片生產(chǎn)的“Primo”刻蝕機(jī)。中微公司一鳴驚人，產(chǎn)品迅速在國內(nèi)主要的12英寸產(chǎn)線開展試用，成為等離子刻蝕機(jī)市場的攪局者，要知道此前該市場全球僅有應(yīng)用材料、泛林、諾法和東京電子四名玩家。

在高難度、長周期的領(lǐng)域嶄露頭角，離不開大把大把的資金投入。中微公司備受資本青睞，到2008年上半年，已經(jīng)累計(jì)從高盛、高通、三星等大型國際財(cái)團(tuán)獲得了總額達(dá)2億美元的三輪融資。有巨額資金作背書，中微正式取得了芯片設(shè)備行業(yè)的入場券。

除刻蝕機(jī)外，中微公司在MOCVD設(shè)備領(lǐng)域也頗有建樹。MOCVD設(shè)備是一種氣相外延生長技術(shù)，主要用于氮化鎵基和砷化鎵基半導(dǎo)體材料外延生長，是LED芯片生產(chǎn)的核心設(shè)備。

2012年，中微公司研制出首臺(tái)MOCVD設(shè)備，正式進(jìn)軍MOCVD設(shè)備市場。到2017年，中微推出新一代MOCVD設(shè)備Prismo A7，憑借較高的性價(jià)比攻城略地，打破愛思強(qiáng)、維易科等國際巨頭壟斷的同時(shí)，市場占有率迅速提升。時(shí)值國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)在政策推動(dòng)下的繁榮發(fā)展階段，三安光電、華燦光電等國內(nèi)頭部企業(yè)大量采購中微MOCVD設(shè)備，伴隨著前者成長為全球前幾大LED廠商，中微MOCVD設(shè)備銷售額也水漲船高，占當(dāng)時(shí)全球新增MOCVD設(shè)備的60%以上，2018年第3季度就摘得全球市占率第一的桂冠。

然而好景不長，在LED廠商大幅擴(kuò)產(chǎn)疊加市場需求疲軟之下，LED出現(xiàn)了明顯的供過于求，產(chǎn)品價(jià)格大幅下降，2019年行業(yè)進(jìn)入調(diào)整期，LED熱開始退燒。LED行業(yè)發(fā)展放緩?fù)侠哿酥形⒐緲I(yè)績，2019年MOCVD設(shè)備收入及毛利率雙雙下降，公司亟需跟進(jìn)最新產(chǎn)業(yè)趨勢。

正值此時(shí)，一方面，芯片產(chǎn)業(yè)鏈在中美貿(mào)易沖突中首當(dāng)其沖，面臨美國從設(shè)備到產(chǎn)品的全產(chǎn)業(yè)鏈的打壓，國產(chǎn)替代迫在眉睫；另一方面，愛思強(qiáng)、維易科等國際巨頭在行業(yè)調(diào)整期中放棄了受沖擊最強(qiáng)烈的氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場，集中精力投入高端設(shè)備。因此，2020年LED行業(yè)出清，中微公司趁勢進(jìn)一步鞏固市場地位，并顯著提升了議價(jià)能力，其經(jīng)營毛利率快速回升。

但中微公司的目標(biāo)不只是國產(chǎn)替代，曾經(jīng)滄海難為水，從國際龍頭企業(yè)歸來的技術(shù)專家總是不甘人后，他們對于市場的敏銳嗅覺和與之相匹配的創(chuàng)新能力，一直是獨(dú)樹一幟的。

MOCVD設(shè)備領(lǐng)域，中微Mini LED設(shè)備呼之欲出。2018年以來，新一代顯示技術(shù)Mini LED日漸成熟，比傳統(tǒng)液晶顯示器效果更佳，較OLED成本更低廉，或?qū)⒊蔀橄乱淮?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E6%B6%88%E8%B4%B9%E7%94%B5%E5%AD%90/">消費(fèi)電子顯示器的主流顯示技術(shù)，2021年蘋果和三星已先后應(yīng)用在其終端產(chǎn)品中。而2020年底中微公司就前瞻性地在南昌啟動(dòng)Mini LED設(shè)備生產(chǎn)基地建設(shè)，2021年年中推出相關(guān)設(shè)備產(chǎn)品，年底訂單就已超100腔。

刻蝕機(jī)領(lǐng)域，中微在國內(nèi)公司中更是一馬當(dāng)先，已經(jīng)作為臺(tái)積電五大等離子體刻蝕設(shè)備廠商之一，開始向其5nm晶圓產(chǎn)線供應(yīng)設(shè)備，是國內(nèi)唯一一家向臺(tái)積電供貨的半導(dǎo)體設(shè)備商，更是首屈一指的能與國際巨頭在先進(jìn)制程市場掰手腕的玩家。

03、萬業(yè)企業(yè)～三駕馬車并進(jìn)

不同于以上兩家公司，萬業(yè)企業(yè)在董事長朱旭東博士的帶領(lǐng)下，通過“外延式并購”，整合優(yōu)質(zhì)產(chǎn)業(yè)資源，形成了三駕馬車互融互通、齊頭并進(jìn)的發(fā)展模式。

朱旭東博士基于前瞻性眼光和獨(dú)到的創(chuàng)新思維，通過國內(nèi)外投資并購優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目，主導(dǎo)投資諸多并購項(xiàng)目，包括收購了瀾起科技、先進(jìn)半導(dǎo)體、瑞士S公司、Compart Systems等境內(nèi)外項(xiàng)目；推動(dòng)發(fā)起設(shè)立上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金，在推動(dòng)解決半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)鏈“卡脖子”難題方面發(fā)揮了重要作用，取得了良好的功能效益和經(jīng)濟(jì)效益。

萬業(yè)企業(yè)的三駕馬車,資料來源：公司公告、光大證券研究所整理 

第一駕馬車，布局凱世通，切入離子注入機(jī)。

離子注入機(jī)與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)和鍍膜機(jī)并稱芯片制造四大核心裝備，而低能大束流離子注入機(jī)更是半導(dǎo)體制造中最為核心設(shè)備之一，其開發(fā)難度僅次于光刻機(jī)。凱世通是國內(nèi)全領(lǐng)域離子注入機(jī)公司，產(chǎn)品覆蓋集成電路、光伏和AMOLED領(lǐng)域等。

凱世通承擔(dān)著國家02專項(xiàng)的先進(jìn)集成電路離子注入項(xiàng)目研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，且得到了上海市政府的大力支持。2011至2018年的七年間，凱世通取得了亮眼的成果：研制的光伏離子注入機(jī)和AMOLED離子注入機(jī)均為中國首臺(tái)套，并推出了國內(nèi)第一臺(tái)針對 FinFET 集成電路工藝的離子注入機(jī)。

在太陽能離子注入機(jī)領(lǐng)域，凱世通2017年共銷售iPV-2000和iPV-3000共15臺(tái)，同期競爭對手美國Intevac僅銷售2臺(tái)，銷售情況全球領(lǐng)先。

在集成電路離子注入機(jī)領(lǐng)域，凱世通目前主要聚焦于占據(jù)80%市場份額的低能大束流離子注入機(jī)和高能離子注入機(jī)，產(chǎn)品在核心指標(biāo)上已達(dá)到或超過國外同類產(chǎn)品，能夠滿足國內(nèi)芯片行業(yè)實(shí)際應(yīng)用需求。

集成電路離子注入機(jī)在應(yīng)用上進(jìn)展迅速。今年2月，公司公告凱世通獲得大額批量訂單，擬出售多臺(tái)12英寸集成電路設(shè)備，包含低能大束流離子注入機(jī)、低能大束流超低溫離子注入機(jī)，總金額達(dá)6.58億元，離子注入機(jī)業(yè)務(wù)正式進(jìn)入放量期。

凱世通憑借自身強(qiáng)大的技術(shù)研發(fā)能力和不斷積累的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，依托團(tuán)隊(duì)多年的設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)，取得了客戶驗(yàn)證、批量生產(chǎn)、正式訂單的依次突破，以領(lǐng)先的產(chǎn)品優(yōu)勢，成為了國內(nèi)首家為12英寸主流芯片制造廠批量供應(yīng)半導(dǎo)體離子注入機(jī)的制造商，并率先應(yīng)用在28nm成熟制程產(chǎn)線，進(jìn)一步鞏固了凱世通在國內(nèi)離子注入行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的領(lǐng)先優(yōu)勢地位。

第二駕馬車，借鐠芯展開收購，布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件。

目前，國內(nèi)企業(yè)在7大種類的半導(dǎo)體設(shè)備方面都有布局，但往上游穿透到零部件層面，仍然有許多關(guān)鍵零部件受制于人。這些子行業(yè)往往市場規(guī)模不大，但技術(shù)門檻頗高，非多年技術(shù)積累不能入，國內(nèi)在這方面還有很多功課需要補(bǔ)，萬業(yè)就瞄準(zhǔn)了這一領(lǐng)域，努力解決“卡脖子”問題。

2020年底，萬業(yè)以旗下浙江鐠芯和鐠芯控股為主體，以3.98億美元收購Compart Systems Pte.Ltd公司100%股權(quán)，這是近年來該領(lǐng)域規(guī)模最大的中資跨境并購交易案。

這家企業(yè)是全球半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域的頭部企業(yè)，也是全球極少數(shù)可完成流量控制領(lǐng)域零組件精密加工全部環(huán)節(jié)的公司之一。收購后，相關(guān)產(chǎn)品成功打入國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司供應(yīng)鏈。

2021年，浙江鐠芯在海寧投資建設(shè)Compart制造基地和研發(fā)中心，總投資30億元，項(xiàng)目投產(chǎn)后，每年可實(shí)現(xiàn)營收約15億元。目前，半導(dǎo)體設(shè)備零部件領(lǐng)域整體國產(chǎn)化率僅為10%-30%，尤其在Compart相關(guān)的流量控制領(lǐng)域，之前的國產(chǎn)化率幾乎為零，這個(gè)項(xiàng)目落成后就可有效填補(bǔ)這個(gè)領(lǐng)域的空白。

值得關(guān)注的是，近期國家大基金擬出手對浙江鐠芯進(jìn)行增資3.5億元，這亦是大基金首次在半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)方面的布局，無疑是對該領(lǐng)域重視的體現(xiàn)。該筆增資完成后，有利于進(jìn)一步優(yōu)化浙江鐠芯的資金實(shí)力，整合各方優(yōu)勢資源，加快推動(dòng)Compart Systems產(chǎn)能提升，深化與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的產(chǎn)業(yè)協(xié)同，從而加速國產(chǎn)半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域的突破與發(fā)展。

第三駕馬車，攜手寧波芯恩成立嘉芯半導(dǎo)體。

2021年4月29日，萬業(yè)企業(yè)聯(lián)合張汝京的芯恩半導(dǎo)體設(shè)立子公司嘉芯半導(dǎo)體，作為第一大股東持股80%，該項(xiàng)目總投資達(dá)20億元?？梢灶A(yù)見的是，功率器件、MEMS、電源管理芯片等特色工藝應(yīng)用的快速增長推動(dòng)了8英寸晶圓需求爆發(fā)，因此嘉芯將先后布局8寸設(shè)備與12寸設(shè)備市場，有望為當(dāng)下主流成熟制程提供高性能的產(chǎn)品，涵蓋刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備、快速熱處理及退火、薄膜沉積、清洗機(jī)等領(lǐng)域的多種產(chǎn)品。

自去年成立后，嘉芯已快速實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入，預(yù)計(jì)未來達(dá)產(chǎn)后可形成一年供應(yīng)2450臺(tái)/套集成電路新設(shè)備和50臺(tái)/套再制造裝備。同時(shí)，疊加其原有的凱世通離子注入機(jī)業(yè)務(wù)，萬業(yè)企業(yè)打造的“1+N”全領(lǐng)域前道設(shè)備平臺(tái)化效應(yīng)進(jìn)一步凸顯。

三駕馬車齊頭并進(jìn)，萬業(yè)企業(yè)幾乎可以覆蓋芯片設(shè)備中除了光刻環(huán)節(jié)以外的所有核心設(shè)備。

04、尾聲

在中國歷史上，對于位居蜀地的政權(quán)來說，出關(guān)中、定中原、大一統(tǒng)，是比登天還難的夢想。從古至今，除了劉邦，再?zèng)]有一個(gè)歷史人物能夠達(dá)成這一成就。

中國芯片設(shè)備的成長史，就是一部“出關(guān)中”的歷史，很幸運(yùn)，但也有歷史的必然性。

總結(jié)起來，無非是天時(shí)、地利、人和三條經(jīng)驗(yàn)。

所謂天時(shí)，2018年中美貿(mào)易摩擦加劇以來，美國從半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)行制裁，能夠輕易拿捏中國國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈的命門，這深深刺痛了整個(gè)行業(yè)乃至終端應(yīng)用公司，國產(chǎn)替代的愿望從未如此迫切，隨之而來的是資本的涌入，具備技術(shù)實(shí)力的優(yōu)質(zhì)公司、優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目成為競相爭投的搶手貨，芯片設(shè)備業(yè)也在熱潮涌動(dòng)中快速發(fā)展。

所謂地利，上世紀(jì)末以來，芯片生產(chǎn)大規(guī)模向東亞地區(qū)轉(zhuǎn)移，誕生了臺(tái)積電和三星兩大代工巨頭，芯片制造對生產(chǎn)設(shè)備的旺盛需求，正是尹志堯?qū)ふ业奈滞?，也是國產(chǎn)設(shè)備公司得以立足與壯大的基礎(chǔ)。

所謂人和，尖端技術(shù)的研發(fā)從來離不開富于創(chuàng)新精神和奮斗精神的參與者，無論他們是以本土科研人才基地為基本盤；還是從海外歸來，深耕行業(yè)多年；抑或是慧眼獨(dú)具，深諳“中國智造”之關(guān)鍵。重視技術(shù)、推崇技術(shù)、鉆研技術(shù)的人才始終是公司的核心競爭力。

天時(shí)地利人和齊備，行業(yè)發(fā)展提速，縱使前方仍有千道萬道技術(shù)難關(guān)阻隔，突出重圍直下中原指日可待。

作者：吳詩凡、易俊江

編輯：楊健楷