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HDPCVD

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  • HDPCVD的原理
    HDPCVD的原理
    知識星球里的學員問:麻煩介紹下HDPCVD的具體用途,原理。 什么是HDPCVD? HDPCVD,全名High Density Plasma Chemical Vapor Deposition,即高密度等離子體化學氣相沉積。它產(chǎn)生的等離子體密度非常高,通常在1011至1012 ions/cm3的量級。相比之下,PECVD的等離子體密度就很低了,在間隔寬度小于0.5μm的情況下,用PECVD填充高的