MEMS技術(shù)

• MEMS的原理、分類、常見工藝及工具概述
  

  MEMS技術(shù)基于微型化的傳感器和執(zhí)行器，通過精密的機械結(jié)構(gòu)實現(xiàn)對物理信號的感知和控制。這些設(shè)備能夠檢測從壓力、溫度到加速度等各種物理參數(shù)，然后將這些信息轉(zhuǎn)換成電信號進行處理。MEMS設(shè)備的核心在于它們能夠在非常小的尺寸上實現(xiàn)復雜的功能，通常尺寸僅為幾微米到幾毫米。

  老虎說芯

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  05/14 14:41

  mems MEMS技術(shù)

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