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莫大康:12寸硅片月需產能將超過100萬片,目前幾乎全部依靠進口

2016/12/26
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硅片是生產集成電路的主要原材料。硅片尺寸越大則每片硅片上可以制造的芯片數量就越多,從而制造成本就越低。硅片尺寸的擴大和芯片線寬的減小是集成電路行業(yè)技術進步的兩條主線?,F在 12 寸硅片的出貨量占比超過 60%,是目前主流的硅片尺寸。

半導體硅片通常釆用查克洛斯法(CZ Method)將高純度的多晶硅錠拉成不同電阻率的硅單晶錠。硅片加工過程要經過晶體定向→外園滾磨→加工主、副參考面→切片→倒角→熱處理→研磨→化學腐蝕→拋光→清洗→檢測→包裝等工序。

根據硅純度的不同要求,可分為太陽能等級 99.9999%,6 個“9”純度,以及半導體等級 11 個“9”。本文只涉及半導體用的硅片。

硅晶園

半導體制造業(yè)中廣泛使用各種不同尺寸與規(guī)格的硅片,通常包括 4 英寸、5 英寸、6 英寸、8 英寸及 12 英寸,它們的基本規(guī)格如下表所示。

來源:半導體制程技術導論;2001 年肖宏 P102

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按 IC Insight 資料,2015 年底全球半導體安裝產能總計月產 1635.3 萬片(8 英寸計)。按地區(qū)分布,中國臺灣地區(qū)依月產 354.7 萬片,市占率達 21.7%,居全球首位;韓國依月產 335.7 萬片,市占率 20.5%,居第二;日本依月產 282.4 萬片,市占率 17.3%,居第三;北美依月產 232 萬片,市占率 14.2%,居第四;中國依月產 159.1 萬片,市占率 9.7%,居第五位;歐洲依月產 104.6 萬片,市占率 6.4%,居第六位;其它地區(qū)市占率 10.2%。

由于缺乏統(tǒng)一定義,硅片尺寸過渡的時間無法達成共識,其中有一種觀點認為累積硅片的出貨量超過 100 萬片時,表示該進入硅片尺寸時代。實際上如英特爾等總是領先其它業(yè)者,首先進入更大尺寸的硅片。

現據 SEMI 2006 年的說法,將全球硅片尺寸的過渡時間表列于如下:4 英寸硅片于 1986 年;6 英寸于 1992 年;8 英寸于 1997 年;12 英寸于 2005 年。但如果依英特爾的芯片生產線建設(見 intel’s all fab list),它的 3 英寸生產線是建于 1972 年的 FAB2 ;4 英寸生產線是建于 1973 年的 FAB4;6 英寸生產線是建于 1978 年的 FAB5;8 英寸生產線是建于 1992 年的 FAB15;第一條 12 英寸生產線建于 2002 年 FAB12( in Hillsboro),與 IBM 同步。

業(yè)界較為公認的說法,1980 年代是 4 英寸硅片占主流,1990 年代是 6 英寸占主流,2000 年代是 8 英寸占主流,到 2002 年時英特爾與 IBM 首先建 12 英寸生產線,到 2005 年己占 20%,到 2008 年占 30%,而那時 8 英寸己下降至 54%,6 英寸更下降至 11%。

多晶硅的原材料是高純度的石英,目前已知的全世界儲量中,中國量最多、品質最好,但是我國之前卻是將石英礦沙在高溫下還原成金屬硅后低價外銷,再高價進口多晶硅,并且石英還原成金屬硅的階段是高度污染的。好在近些年光伏產業(yè)帶動了國內多晶硅產業(yè)的發(fā)展,目前太陽能等級的多晶硅,我國的產量已經是全球第一。

截止 2014 年,全球 300mm 硅片實際出片量已占各種硅片出片量的 65%左右,平均約 450 萬片 / 月。2015 年第 1 至第 2 季度每月平均需求量約 500 萬片。

現在 300mm 半導體級的硅片,國內一個月需求量約 45-50 萬片,而目前國內的產量幾乎為零,這是產業(yè)鏈上最為緊缺的一環(huán),預計未來的 5 年內僅 300mm 硅片中國的需求量要超過月產 100 萬片以上。而從硅片的市場供應,全球日本生產的最多,日本信越和 SUMCO,這兩家的產能和實際供應量總和占全球 2/3 以上。300mm 半導體級的大硅片,不僅是產業(yè)鏈缺失的重要一環(huán),也是國家安全戰(zhàn)略發(fā)展的需要。

在 2012 至 2013 年科技部的 02 專項中,已有大硅片方面項目的經費準備,但遲遲不能立項,原因就是雖然有國內研發(fā)機構曾經做過 12 寸大硅片,研發(fā)成功,但由于良率不高還不能量產。2014 年,科技部 02 專項的領導下定決心要攻克 12 英寸硅片難關。要求是不僅研發(fā)成功,更要量產成功。量產的概念不是幾千片,是每個月 10 萬片以上交付客戶,連續(xù) 6 個月交付客戶 10 萬片以上,才算完成項目。

全球硅晶園片 2016 年供應商排名如下:日本信越半導體第一位,占比 27%;日本勝高科技(SUMCO)占比 26%,居第二;環(huán)球晶園占比 17%,排第三;Siltronic 占比 13%,排第四;LG 占比 9%,排第五;SunEdison 占比 10%;其它 8%。

2016 全球硅晶片排名

由國家立項的 12 英寸硅片項目己經啟動,叫上海新昇半導體科技有限公司,成立于 2014 年 6 月,坐落于臨港重裝備區(qū)內,占地 150 畝,總投資 68 億元,一期總投資 23 億元。新昇半導體第一期目標致力于在我國研究、開發(fā)適用于 40-28nm 節(jié)點的 300mm 硅單晶生長、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測等硅片產業(yè)化成套量產工藝;建設 300 毫米半導體硅片的生產基地,實現 300 毫米半導體硅片的國產化,充分滿足我國極大規(guī)模集成電路產業(yè)對硅襯底基礎材料的迫切要求。新昇半導體一期投入后,預計月產能為 15 萬片 12 英寸和 5 萬片 8 英寸硅片,最終將形成 300mm 硅片 60 萬片 / 月的產能,年產值達到 60 億元。屆時新昇將與世界一流技術接軌,達到世界先進水平。

全球硅片出貨量與銷售額:2007 時為 8661MSI(百萬平方英寸),銷售額達 121 億美元;到 2010 年時為 9043MSI,銷售額為 97 億美元,以及 2015 年為 10434MSI,銷售額為 72 億美元,反映全球的硅片出貨量增長緩慢,而且銷售額逐年下降(價格下跌)。

450 毫米硅片

為了加速發(fā)展 450mm(18 英寸)晶園,全球五大半導體業(yè)者 IBM、英特爾、三星電子、臺積電和 GlobalFoundries 在 2011 年共同成立全球 450mm 聯(lián)盟,簡稱 G450C,并于美國紐約州 Albany 設立 450mm 晶園技術研發(fā)中心。

450mm 聯(lián)盟成立后,18 寸晶園世代的技術和機臺設備有不少方針已開始確立,是半導體產業(yè)邁入 18 寸晶園世代的重要里程碑,目的是推動 450mm 硅片技術的發(fā)展。

實際上在 2012 年,除 G450C 聯(lián)盟之外,還誕生了 EEMI450 聯(lián)盟 ( 歐洲 ) 和 Metro450 聯(lián)盟 ( 以 色列 ) ,共計三個聯(lián)盟來推動 450 毫米硅片的進展,目標是可互用研究結果,減少重復性實驗。

除此之外,半導體制造技術戰(zhàn)略聯(lián)盟 (SEMATECH) 和國際半導體設備與材料協(xié)會 (SEMI) 等也在推動全球產業(yè)鏈的合作研發(fā),因為硅片直徑的增大將牽動整個產業(yè)鏈發(fā)生很大的改變。

然而,450 毫米硅片的進程自開始就有不同的看法,其中最為關鍵是半導體設備供應商,如應用材料公司等缺乏積極性,理由是 450 毫米設備不是簡單地把腔體的直徑放大,而是要從根本上對于設備進行重新設計,因此面臨著經費與人力等問題,更多的擔心是未來的市場,能否有足夠的投資回報率。所以關于 450 毫米硅片的聲浪是此起彼伏,盡管英特爾、三星及臺積電等大廠信心滿滿,實際上是雷聲大雨點小。

自 2014 年開始 G450C 聯(lián)盟出現暫緩研發(fā) 450mm 硅片的跡象。盡管如臺積電等曾宣布將于 2018 至 2019 年期間會采用 450 毫米硅片,然而依目前半導體業(yè)的態(tài)勢觀察,現在還很難取得實質性的進展。

采用 450 毫米硅片,如同前幾次硅片增大直徑一樣,關鍵在于從經濟上看投入產出比高,產業(yè)鏈上廠商確實有利可圖,包括芯片制造商及設備供應商在內都能受益;另一個是需要有擴大產能的迫切性,所以產業(yè)鏈在等待未來市場再次高潮的到來。

不管如何,450 毫米硅片對于全球半導體業(yè)仍是一個懸而未決的課題。

來源:SEMI,數據僅為半導體,太陽能硅片未計入
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