光柵位移傳感器(Grating Displacement Sensor),是測量線性或角度位移的一種高精度非接觸式測量儀器。它通過從光柵中讀取周期性結(jié)構(gòu)的光信號,來測量物體相對于傳感器的移動距離。
1.什么是光柵位移傳感器
光柵位移傳感器是一種機(jī)電一體化測量設(shè)備,利用光柵原理檢測目標(biāo)位移情況,具有非常高的分辨率,一般可達(dá)到微米級別,甚至更小。它可以直接安裝在需要進(jìn)行位移測量的部件上,且不需要與被測量對象直接接觸,因此具有很好的抗干擾能力,并適用于高精度位移量測、工業(yè)在線控制等領(lǐng)域。
2.光柵位移傳感器作用
光柵位移傳感器主要用于直線位移和角度位移的測量,可以廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、半導(dǎo)體生產(chǎn)、金屬加工、電子制造、醫(yī)療器械以及航空、航天等領(lǐng)域的高精度測量和自動化控制中。
3.光柵位移傳感器原理
具體來說,光柵位移傳感器采用了“光柵”原理,即利用光學(xué)柵片(如刻痕板、角斜光柵等),通過形成周期性的透明和不透明結(jié)構(gòu)使得被測物體的運(yùn)動產(chǎn)生相位變化,從而實(shí)現(xiàn)位移量的測量。在位移傳感器中,通常通過將一個光源聚焦到一條線上并投射到一個光柵上,測量出透過光柵的光的干涉信號,再通過檢測非正弦干涉信號的相對位置來計(jì)算出目標(biāo)位移的大小。