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即揭開(kāi)一剝離工藝，是晶圓廠中的常見(jiàn)工藝，是制作金屬互連、導(dǎo)線和其他結(jié)構(gòu)時(shí)的一種替代光刻和蝕刻過(guò)程的方法。

即揭開(kāi)一剝離工藝，是晶圓廠中的常見(jiàn)工藝，是制作金屬互連、導(dǎo)線和其他結(jié)構(gòu)時(shí)的一種替代光刻和蝕刻過(guò)程的方法。收起

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