Lift off工藝

• lift off工藝為什么常用蒸發(fā)的方式鍍膜？
  學(xué)員問：我觀察到晶圓廠中l(wèi)ift off工藝，鍍膜都是用的電子束蒸發(fā)的方式，很少有用磁控濺射的方式，為什么？

  TOM聊芯片智造

  1484

  08/13 09:43

  電子束 Lift off工藝
• 負(fù)膠的Undercut在lift-off工藝中的應(yīng)用
  ?光刻工藝中負(fù)膠因?yàn)檎扯绕螅驼z相反的曝光模式，被廣泛應(yīng)用，但是負(fù)膠精度沒有正膠好，容易顯影變形，價(jià)格也普遍相對(duì)較貴。

  芯片工藝技術(shù)

  3614

  08/12 12:00

  光刻技術(shù) Lift off工藝
• 什么是Lift off工藝？
  

  有朋友問：Lift off工藝是什么？Lift?off工藝是晶圓廠中的常見工藝，它是制作金屬互連、導(dǎo)線和其他結(jié)構(gòu)時(shí)的一種替代光刻和蝕刻過程的方法。見下圖：

  TOM聊芯片智造

  6716

  04/07 10:50

  晶圓工藝 Lift off工藝

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