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    • 01、全球半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)正向中國轉(zhuǎn)移
    • 02、三大原創(chuàng)核心技術(shù)賦能清洗設(shè)備
    • 03、尊重知識產(chǎn)權(quán),繼續(xù)擴(kuò)大開放
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盛美半導(dǎo)體王暉:半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)在尊重知識產(chǎn)權(quán)的基礎(chǔ)上,完成國際化

07/16 13:30
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張通社 zhangtongshe.com

“我覺得未來中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),特別是高科技的發(fā)展,一定需要在尊重知識產(chǎn)權(quán)的基礎(chǔ)上完成國際化?!睂τ?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E9%9B%86%E6%88%90%E7%94%B5%E8%B7%AF/">集成電路如何健康發(fā)展,盛美半導(dǎo)體董事長王暉坦言道。

盛美半導(dǎo)體成立于2005年,是國內(nèi)少數(shù)具有一定國際競爭力的半導(dǎo)體專用設(shè)備供應(yīng)商。成立以來,盛美半導(dǎo)體始終堅(jiān)持差異化競爭和創(chuàng)新的發(fā)展戰(zhàn)略,向全球集成電路制造、先進(jìn)封裝及其他客戶提供定制化的設(shè)備及工藝解決方案,其自主研發(fā)的SAPS、TEBO兆聲波清洗技術(shù)和Tahoe單片槽式組合清洗技術(shù)在全球范圍內(nèi)都是首創(chuàng)。

6月20日,在張通社和張江高科聯(lián)合舉辦的“聚焦國產(chǎn)新時(shí)代,賦能‘芯’質(zhì)生產(chǎn)力”2024長三角集成電路張江論壇上,王暉帶來了《尊重知識產(chǎn)權(quán),差異化競爭,讓創(chuàng)新回歸本色》的主題分享。他強(qiáng)調(diào),在快速發(fā)展的集成電路產(chǎn)業(yè)中,尊重知識產(chǎn)權(quán)是保障可持續(xù)創(chuàng)新和公平競爭的基石。

01、全球半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)正向中國轉(zhuǎn)移

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)會隨著芯片產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)線轉(zhuǎn)移。”王暉介紹道。

上世紀(jì)70至80年代,全球主要的芯片廠都位于美國,許多核心的半導(dǎo)體設(shè)備也都設(shè)立在美國;到了上世紀(jì)80至90年代,設(shè)備產(chǎn)業(yè)重心逐漸向日本轉(zhuǎn)移,彼時(shí),日本的芯片生產(chǎn)線開始崛起;90年代后期,設(shè)備產(chǎn)業(yè)重心又逐漸向中國臺灣、韓國等地區(qū)轉(zhuǎn)移。

隨著芯片在中國的興起,2014年至今,中國芯片生產(chǎn)規(guī)模迎來爆發(fā)式增長,中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)隨之快速發(fā)展。

“以ASML為例,我們可以清晰地看到其發(fā)展過程中幾個(gè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)都與產(chǎn)業(yè)鏈有關(guān)?!蓖鯐煴硎?,ASML從一家小公司成長為半導(dǎo)體設(shè)備巨頭,值得中國半導(dǎo)體企業(yè)學(xué)習(xí)。

1984年,ASML成立,推出第一個(gè)系統(tǒng)——PAS 2000步進(jìn)式光刻機(jī);1986年,推出PAS2500步進(jìn)式光刻機(jī);1995年成功推出PAS5500光刻機(jī);1995,成功研制雙工作臺、浸沒式TWINSCANXT、TWINSCANNXT系列,一舉奠定光刻機(jī)領(lǐng)域的霸主地位;2000年,收購美國光刻機(jī)巨頭硅谷集團(tuán),推出雙品圓臺技術(shù)。

2010年,ASML與臺積電開展EUV設(shè)備研究,推出第一臺極紫外(EUV)光刻工具原型;206年,收購了臺灣領(lǐng)先的電子束測量工具HMI;2020收購特殊玻璃制造商柏林格拉斯集團(tuán);2019年,收購Mapper的知識產(chǎn)權(quán)資產(chǎn);2017年,收購德國卡爾蔡司SMT股份有限公司,光刻機(jī)批量出貨。

“從ASML的歷程來看,其成功離不開對市場的跟蹤和對技術(shù)的執(zhí)著追求;此外,它注重全球式的供應(yīng)鏈,通過收購相關(guān)業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)銷售額增長,成為全球光刻機(jī)龍頭?!蓖鯐熣J(rèn)為,與ASML相對的還有AMAT和LAM,前者采取平臺化策略,多領(lǐng)域覆蓋,抓住三次產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移機(jī)會積極布局海外,通過外延并購豐富產(chǎn)品線,成為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的巨頭;后者以刻蝕設(shè)備起家,通過收購PECVD、清洗等設(shè)備制造商,成長為平臺型公司。

“中國半導(dǎo)體設(shè)備消耗量在2023年達(dá)到29%,2024年預(yù)計(jì)26%,2025年25%,2026年24%。若未來保持25-30%的設(shè)備需求,中國絕對可以培養(yǎng)自己的半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)?!蓖鯐煹恼Z氣堅(jiān)定。

02、三大原創(chuàng)核心技術(shù)賦能清洗設(shè)備

在半導(dǎo)體設(shè)備的七大領(lǐng)域中,清洗設(shè)備的細(xì)分領(lǐng)域曾被國際寡頭百分之百壟斷,但如今,盛美半導(dǎo)體成為國內(nèi)這一設(shè)備領(lǐng)域的龍頭企業(yè)。據(jù)了解,盛美半導(dǎo)體產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋前道濕法、后道濕法、大硅片濕法、電鍍、爐管、PECVD、Track和拋光等工藝環(huán)節(jié)。

“我們的核心技術(shù)有空間交變相移(SAPS)兆聲波清晰技術(shù)、解決兆聲波非穩(wěn)定氣穴震蕩引起的圖形破壞以及世界首創(chuàng)的Ultra C Tahoe技術(shù)?!蓖鯐熃榻B道。

以空間交變相移(SAPS)兆聲波清晰技術(shù)為例,在先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)里,隨著會影響產(chǎn)品量率的“致命缺陷”不斷縮小,硅片清洗也變得愈發(fā)具有挑戰(zhàn)性。傳統(tǒng)噴射清洗對晶圓表面噴涂速度接近于零,無法去除微小顆粒;利用兆聲波產(chǎn)生的氣穴可將微粒從晶圓表面移除??蓚鹘y(tǒng)兆聲波清洗又存在能量傳送不均勻,因此顆粒去除效率極低。盛美半導(dǎo)體的SAPS清洗技術(shù)擁有獨(dú)有的SAPS兆聲波設(shè)計(jì),能做到均勻傳送,從而具有極高的顆粒去除率。

芯片結(jié)構(gòu)正不斷提高深寬比,同時(shí)也不斷縮小,因而也變得更加脆弱,傳統(tǒng)清洗工藝會導(dǎo)致?lián)p傷和產(chǎn)量損失?!拔覀冄邪l(fā)了TEBO技術(shù),控制氣穴的震蕩,讓能量不要集聚到爆炸,做到兆聲波清洗無破壞。”王暉表示,這是盛美半導(dǎo)體全球首創(chuàng)的技術(shù)。

在Ultra C Tahoe技術(shù)上,可以綜合槽體清洗機(jī)與單片清洗機(jī)的工藝優(yōu)勢和成本優(yōu)勢,減少高溫硫酸使用量,降低硫酸成本80%以上,大幅減少芯片廠廢液處理量;整合槽式和單片清洗工藝,減少工藝步驟,提高工藝性能,縮短產(chǎn)品生產(chǎn)周期。

此外,盛美半導(dǎo)體還有超臨界CO2干燥技術(shù)、Ultra C be邊緣濕刻蝕設(shè)備以及三大新產(chǎn)品平臺。

“我們的戰(zhàn)略發(fā)展計(jì)劃是做到技術(shù)差異化、產(chǎn)品平臺化、客戶全球化。”王暉說道:“產(chǎn)品差異化的技術(shù)要面向全球,一半是國內(nèi)銷售,一半是國外銷售,所以我認(rèn)為盛美半導(dǎo)體未來的目標(biāo)要朝著200億以上的年產(chǎn)量努力?!?/p>

03、尊重知識產(chǎn)權(quán),繼續(xù)擴(kuò)大開放

“為什么國際上的內(nèi)卷沒有中國那么嚴(yán)重,核心的一點(diǎn)就是尊重知識產(chǎn)權(quán)。”在王暉看來,中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不缺市場,不缺資金,也不缺人才,但缺少對知識產(chǎn)權(quán)的有效保護(hù)。

在改革開放之前,中國沒有《專利法》,在半導(dǎo)體領(lǐng)域大家互相模仿,同質(zhì)化嚴(yán)重,難以做到商業(yè)化。“如果各個(gè)企業(yè)能夠尊重知識產(chǎn)權(quán),在這個(gè)基礎(chǔ)上良性內(nèi)卷,不在模仿這條路上廝殺。那么,中國一定能夠擁有更多可以進(jìn)入全球市場的高科技公司?!蓖鯐煾锌馈?/p>

王暉表示,保護(hù)知識產(chǎn)權(quán)需要著眼于集成電路產(chǎn)業(yè)立法和保護(hù),也要鼓勵創(chuàng)新,提前布局專利研發(fā)。同時(shí),浦東政府應(yīng)營造良好的營商環(huán)境,吸引全世界創(chuàng)新科技公司匯集上海,輻射全國乃至全球?!氨Wo(hù)知識產(chǎn)權(quán)是第一步,我們還應(yīng)該長期投入研發(fā),擴(kuò)大開放,實(shí)現(xiàn)‘再全球化’?!蓖鯐熣f道。

“盛美是在張江這塊科創(chuàng)熱土上成長起來的,我們希望能立足張江,回饋上海,面向全球乃至全世界?!蓖鯐熃榻B,盛美半導(dǎo)體上海新總部設(shè)在張江,建筑面積為1.2萬平方米,預(yù)計(jì)今年啟用;盛美半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與制造中心設(shè)在臨港新片區(qū),建筑面積為13.8萬平方米,將于今年竣工。

上海的定位是“世界影響力的科創(chuàng)中心”,在這片科創(chuàng)熱土上會出現(xiàn)更多的世界級公司。“全球化一定會到來,那時(shí),中國的技術(shù)公司一定要以你自己的核心IP,你自己的差異化技術(shù),向全球半導(dǎo)體行業(yè)貢獻(xiàn)力量?!蓖鯐煹脑掔H鏘有力。

文字|張文琪? ? ??編輯|呂穎穎

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