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日本斷供光刻膠:韓國順利著陸,本土半導(dǎo)體制造呢?

2023/03/23
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對中國電子半導(dǎo)體發(fā)展的抑制還有什么漏洞?這是二月中下旬Digital Asia的熱門主題文章。該文直言,在光刻膠持續(xù)供應(yīng)的前提下,中國本土仍可推進晶圓制造與創(chuàng)新,最終在7nm及以下制程上取得突破。隨后,有關(guān)日本對中國斷供光刻膠的傳聞開始發(fā)酵。最終是否斷供仍未知,但包括容大感光在內(nèi)的本土光刻膠相關(guān)廠商,股價大漲,也算是一種焦慮的體現(xiàn)。

至于光刻膠的工作原理,首先將其涂抹在襯底上,在光照或輻射作用下溶解可溶部分后,光刻膠層形成與掩膜版上完全相同的圖形,再通過刻蝕在襯底上完成圖形轉(zhuǎn)移。根據(jù)應(yīng)用的不同,襯底可以為PCB、面板和集成電路板。

斷供陰影 三星布局

韓國在三年前也被日本斷供光刻膠等半導(dǎo)體材料,直到近期雙方握手言和,禁令被解除,而必須要提及的問題是:沒有光刻膠的日子里,三星晶圓代工業(yè)務(wù)如何推進?既然三星可以順利“上岸”,是否本土晶圓代工廠商們也可以?筆者在調(diào)研了后發(fā)現(xiàn),同樣是斷供,同樣是光刻膠,三星的路子,無法復(fù)制。

首先,所謂日本對韓國的禁令,形同虛設(shè)。

2019年7月,日本政府正式停止對韓國出口氟化聚酰亞胺、光刻膠與氟化氫等關(guān)鍵電子原材料,但相關(guān)日企獲得政府許可后,仍可向韓國供貨。這套操作就如同:關(guān)進密閉空間,但給你開一扇后門。于是來到8月,日本政府便批復(fù)向三星供應(yīng)至少9個月的光刻膠用量,以便于三星在7nm/5nm產(chǎn)能方面的布局。

此外,企業(yè)層面,三星“有難”,八方支援。日本光刻膠大廠Tokyo Ohka Kogyo(下稱TOK)與三星C&T(Construction & Trading)公司于2020年在韓國當(dāng)?shù)睾辖?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/EUV/">EUV光刻膠工廠。與此同時,JSR在比利時的合資公司也在為三星提供EUV光刻膠。美國化學(xué)品巨頭杜邦公司投資2800萬美元在韓國生產(chǎn)光刻膠。

最后,韓國本土也并非無任何光刻膠可用。據(jù) TOK 和 Fujifilm 數(shù)據(jù)顯示,2021年東京應(yīng)化、JSR、住友化學(xué)、富士膠片分別占據(jù)27%、13%、12%、8%的光刻膠市場份額,陶氏化學(xué)占據(jù)17%的市場份額,韓國東進占據(jù)11%的市場份額。

而早在2019年,東進的EUV光刻膠便已通過三星的可靠性驗證,成為首家進入三星芯片制造產(chǎn)線的韓國本土光刻膠廠商。目前暫無法了解其在晶圓代工產(chǎn)線的效果,但瀏覽東進官網(wǎng)后發(fā)現(xiàn),其并未公開光刻膠具體產(chǎn)品類別的信息,示意圖列舉的是ArF光刻膠,而非EUV。

簡單來說,光刻膠按照應(yīng)用場景可分為低端(PCB、顯示面板與LED)和高端(半導(dǎo)體)兩類。其中,高端按曝光波長來看,可分為深紫外光刻膠(KrF,適用于248nm波長光源;干/濕ArF,適用于193nm波長光源),以及極紫外EUV光刻膠(適用于13.5nm波長光源,可用于10nm以下的先進制程)。

天風(fēng)證券數(shù)據(jù)顯示,ArF光刻系統(tǒng)突破了此前65nm分辨率的瓶頸,在45nm到10nm之間的半導(dǎo)體制程工藝中,ArF光刻技術(shù)仍然得到了最廣泛的應(yīng)用。截止2021年,ArF光刻膠占比約42%,仍是市場需求的主流,KrF光刻膠占比約22%。

韓國模式,無法復(fù)制

回到本土廠商對光刻膠的布局,能否復(fù)制三星模式的問題,答案顯然是大寫的NO!

來自美國方面的壓力,不排除日本對中國實行光刻膠斷供的可能性。效仿三星,走海外合資公司的捷徑無從談起。另一方面,本土也暫時還未出現(xiàn)韓國東進這樣大規(guī)模量產(chǎn)高端光刻膠的廠商。

從國內(nèi)市場看,國內(nèi)從事半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)主要有晶瑞股份、南大光電、上海新陽、北京科華、容大感光、博康等。國內(nèi)廠家多以i 線、g線光刻膠生產(chǎn)為主,應(yīng)用集成電路制程為350nm以上。

高端光刻膠領(lǐng)域,北京科華、博康已量產(chǎn)KrF光刻膠(可應(yīng)用于130nm集成電路制程);ArF方面目前還未實現(xiàn)量產(chǎn),來自南大光電的最新消息,該公司ArF光刻膠,已在下游客戶存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm技術(shù)節(jié)點上通過認(rèn)證,成為國內(nèi)通過客戶驗證的第一只國產(chǎn)ArF光刻膠;早前,瑞聯(lián)新材在投資者互動平臺表示,公司研發(fā)的光刻膠單體涉及ArF光刻膠及KrF光刻膠,其中部分ArF光刻膠單體產(chǎn)品已量產(chǎn)。極紫外EUV光刻膠方面,目前北京科華正在研發(fā),已通過02專項驗收。

光刻膠驗證時間長,規(guī)定嚴(yán)格,下游客戶認(rèn)證時間長,面板光刻膠驗證周期一般1-2年,半導(dǎo)體光刻膠驗證周期一般為2-3年,客戶粘度大,一般下游客戶考慮產(chǎn)品質(zhì)量等因素不易更換供應(yīng)商,導(dǎo)致國內(nèi)光刻膠進展緩慢。

所以,不出意外,這可能是一盤沒有太大勝算的棋局,但值得欣慰的是,手握棋子的弱勢方,并沒有就此認(rèn)命。工信部及研究機構(gòu)Cision的報告顯示,十三五期間,國內(nèi)光刻膠市場實現(xiàn)年均14.5%增長,五年平均復(fù)合增長率為12.12%。

專利方面,據(jù)智慧芽專利數(shù)據(jù)顯示,光刻膠第一大技術(shù)來源為日本,專利申請量占全球光刻膠專利總申請量的46%;美國則以25%的申請量位列第二;中國則以7%的申請量排在韓國之后。從趨勢上看,2020年中國光刻膠專利申請量為1.29萬項,日本光刻膠專利申請量下降至8982項。

寫在最后

5G芯片、光刻機、光刻膠……全產(chǎn)業(yè)鏈上下游查漏補缺,全面阻擊??陀^來說,對本土電子科技產(chǎn)業(yè)的沖擊不斷加深,而這何嘗不是提供了一種置之死地而后生的可能性?

 

富士電機

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富士電機(中國)有限公司投資總額36億日圓(約合2.8億人民幣),公司占地面積38200平方米,現(xiàn)有建筑面積12300平方米。公司從國內(nèi)外引進、聘用了一批多年從事專業(yè)設(shè)計、工藝和試驗的工程技術(shù)和管理人才,在國內(nèi)同行企業(yè)中占有人才和技術(shù)方面的優(yōu)勢。富士電機(中國)有限公司十分重視產(chǎn)品質(zhì)量,購置的生產(chǎn)設(shè)備都是當(dāng)代專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備中最為先進的一流設(shè)備,以確保加工制造的零部件的精度和質(zhì)量要求。在日常生產(chǎn)管理中嚴(yán)格貫徹ISO9001標(biāo)準(zhǔn),并于1999年6月順利通過法國船級社BVQI公司的ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證,于2002年8月獲得英國質(zhì)量與環(huán)境國際質(zhì)量認(rèn)證有限公司(QEC)頒發(fā)的ISO9001-2000質(zhì)量保證體系認(rèn)證證書,于2003年10月上海富士電機開關(guān)獲3C強制認(rèn)證,于2004年5月獲得(ZDHY)ISO9001-2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證書。富士電機(中國)有限公司關(guān)鍵崗位員工大部分都曾赴日本富士電機工廠進行培訓(xùn)實習(xí),富士電機也不斷派出各類專業(yè)人員來公司進行全面指導(dǎo),確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定和不斷提高。

富士電機(中國)有限公司投資總額36億日圓(約合2.8億人民幣),公司占地面積38200平方米,現(xiàn)有建筑面積12300平方米。公司從國內(nèi)外引進、聘用了一批多年從事專業(yè)設(shè)計、工藝和試驗的工程技術(shù)和管理人才,在國內(nèi)同行企業(yè)中占有人才和技術(shù)方面的優(yōu)勢。富士電機(中國)有限公司十分重視產(chǎn)品質(zhì)量,購置的生產(chǎn)設(shè)備都是當(dāng)代專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備中最為先進的一流設(shè)備,以確保加工制造的零部件的精度和質(zhì)量要求。在日常生產(chǎn)管理中嚴(yán)格貫徹ISO9001標(biāo)準(zhǔn),并于1999年6月順利通過法國船級社BVQI公司的ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證,于2002年8月獲得英國質(zhì)量與環(huán)境國際質(zhì)量認(rèn)證有限公司(QEC)頒發(fā)的ISO9001-2000質(zhì)量保證體系認(rèn)證證書,于2003年10月上海富士電機開關(guān)獲3C強制認(rèn)證,于2004年5月獲得(ZDHY)ISO9001-2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證書。富士電機(中國)有限公司關(guān)鍵崗位員工大部分都曾赴日本富士電機工廠進行培訓(xùn)實習(xí),富士電機也不斷派出各類專業(yè)人員來公司進行全面指導(dǎo),確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定和不斷提高。收起

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