多條產(chǎn)線(xiàn)建成投產(chǎn)！56條國(guó)產(chǎn)MEMS芯片產(chǎn)線(xiàn)最新盤(pán)點(diǎn)（全網(wǎng)最全）

今年以來(lái)，中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)入新的高度，高華科技、芯動(dòng)聯(lián)科、禾賽科技等多家傳感器企業(yè)成功上市，正揚(yáng)傳感、天箭慣性、明皜傳感、長(zhǎng)光辰芯、速騰聚創(chuàng)、圖達(dá)通……等多家傳感器企業(yè)吹響沖擊股市的號(hào)角。

傳感器專(zhuān)家網(wǎng)https://www.sensorexpert.com.cn專(zhuān)注于傳感器技術(shù)領(lǐng)域，致力于對(duì)全球前沿市場(chǎng)動(dòng)態(tài)、技術(shù)趨勢(shì)與產(chǎn)品選型進(jìn)行專(zhuān)業(yè)垂直的服務(wù)，是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的傳感器產(chǎn)品查詢(xún)與媒體信息服務(wù)平臺(tái)?；趥鞲衅鳟a(chǎn)品與技術(shù)，對(duì)廣大電子制造從業(yè)者與傳感器制造者提供精準(zhǔn)的匹配與對(duì)接。

MEMS芯片是智能傳感器的核心部件，隨著產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，今年來(lái)多條MEMS產(chǎn)線(xiàn)相繼落地/建成，這其中包括深圳首條MEMS中試線(xiàn)落地、濟(jì)南首條MEMS產(chǎn)線(xiàn)建成、拜安傳感國(guó)內(nèi)首條MEMS光纖傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)建成、美新半導(dǎo)體紹興MEMS產(chǎn)線(xiàn)下半年投產(chǎn)、奧松電子8英寸MEMS新產(chǎn)線(xiàn)動(dòng)工……等好消息。

當(dāng)然，在“優(yōu)勝劣汰”市場(chǎng)規(guī)律下，也有一些MEMS產(chǎn)線(xiàn)淡出，譬如東方微磁已破產(chǎn)注銷(xiāo)，其建設(shè)的國(guó)內(nèi)第一條MEMS磁傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)也被破產(chǎn)清算。

下文，我們來(lái)看看中國(guó)主要MEMS芯片產(chǎn)線(xiàn)最新情況，數(shù)據(jù)截止2023年8月份，其中更新MEMS產(chǎn)線(xiàn)資料在最前面，因時(shí)間倉(cāng)促，資料繁多，部分信息錯(cuò)漏請(qǐng)?jiān)趥鞲衅鲗?zhuān)家網(wǎng)公眾號(hào)本內(nèi)容留言討論。

序號(hào)僅區(qū)分?jǐn)?shù)量，無(wú)任何排序意義

（2023建成）1、山東產(chǎn)研院硅基微納制造公共技術(shù)服務(wù)平臺(tái)（中試線(xiàn)）-4&6英寸

微納制造平臺(tái)建設(shè)總投資2億元，山東產(chǎn)研微納與智能制造研究院主導(dǎo)運(yùn)營(yíng)，是濟(jì)南市首條具備完整MEMS芯片生產(chǎn)加工能力的產(chǎn)線(xiàn)，定位于MEMS傳感器產(chǎn)品轉(zhuǎn)化和工程化驗(yàn)證。平臺(tái)總面積5500平方米，潔凈間面積約1800平方米，包括光刻區(qū)、刻蝕區(qū)、濕法區(qū)、高溫區(qū)、注入?yún)^(qū)、金屬化區(qū)、劃片區(qū)、封裝區(qū)、測(cè)試區(qū)等9大功能區(qū)，配置光刻、鍵合、擴(kuò)散、腐蝕、刻蝕、沉積、注入、封裝、測(cè)試等相關(guān)設(shè)備90余臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)MEMS芯片生產(chǎn)全過(guò)程。

據(jù)悉，山東產(chǎn)研院微納制造公共技術(shù)服務(wù)平臺(tái)設(shè)計(jì)產(chǎn)能為年產(chǎn)2萬(wàn)晶圓，MEMS晶圓尺寸為4&6英寸。

該產(chǎn)線(xiàn)是國(guó)內(nèi)首條具備量產(chǎn)能力的MEMS光纖傳感器芯片生產(chǎn)線(xiàn)，年產(chǎn)能為1-1.5萬(wàn)片晶圓，未來(lái)將通過(guò)分期投建擴(kuò)產(chǎn)，最終產(chǎn)線(xiàn)將達(dá)到3萬(wàn)片/年的生產(chǎn)能力。

拜安半導(dǎo)體MEMS產(chǎn)線(xiàn)項(xiàng)目于2022年2月簽約，9月開(kāi)工，原計(jì)劃2022年底實(shí)現(xiàn)試運(yùn)營(yíng)，2024年全面投產(chǎn)，目前較原計(jì)劃提前半年投產(chǎn)。未來(lái)，該產(chǎn)線(xiàn)在滿(mǎn)足母公司拜安傳感的產(chǎn)品及研發(fā)需求后，將開(kāi)放富余產(chǎn)能，向其他企事業(yè)單位提供代工或委托研發(fā)服務(wù)。

拜安科技主營(yíng)產(chǎn)品是以光纖光柵傳感、分布式光纖傳感以及MEMS光纖傳感為主的智能光纖傳感器，2021年9月獲由軟銀中國(guó)資本領(lǐng)投的數(shù)億元 A 輪融資，2022年9月獲由深創(chuàng)投、中芯聚源等投資的數(shù)億元B輪融資。

（新建產(chǎn)能投產(chǎn)）3、美新半導(dǎo)體（IDM）-8英寸

美新半導(dǎo)體在無(wú)錫建有8英寸MEMS磁、慣性傳感器晶圓生產(chǎn)、封測(cè)產(chǎn)線(xiàn)。2022年12月25日，據(jù)《紹興日?qǐng)?bào)》報(bào)道，總投資約3.5億元，建筑面積約5.27萬(wàn)平方米的紹興集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)園（西園）項(xiàng)目計(jì)劃2023年6月竣工。位于園區(qū)內(nèi)的美新半導(dǎo)體項(xiàng)目即將投產(chǎn)，投產(chǎn)后將形成年產(chǎn)6億顆MEMS磁傳感器芯片和1.2億顆加速度傳感器的生產(chǎn)能力。

據(jù)越城發(fā)布公眾號(hào)消息，美新半導(dǎo)體（紹興）有限公司年產(chǎn)6億顆MEMS磁傳感器生產(chǎn)線(xiàn)及加速度傳感器工藝開(kāi)發(fā)實(shí)驗(yàn)線(xiàn)項(xiàng)目于2023年4月份竣工驗(yàn)收，目前正在調(diào)試設(shè)備和工藝，將于下半年正式投產(chǎn)。

4、臻芯微電子（IDM）-6英寸

臻芯微電子成立于2021年6月，其MEMS濾波器芯片產(chǎn)線(xiàn)已與2022年10月完成設(shè)備調(diào)試和全線(xiàn)投片通線(xiàn)，計(jì)劃于近期開(kāi)始試生產(chǎn)，整體達(dá)產(chǎn)后年銷(xiāo)售突破15億元。其MEMS濾波器芯片研發(fā)生產(chǎn)項(xiàng)目總投資14億元。其中一期投資8億元，建設(shè)一條高性能體聲波濾波器芯片制造和封裝線(xiàn)，具備年產(chǎn)9.6億顆體聲波（BAW）濾波器芯片能力；二期擴(kuò)產(chǎn)后濾波器年產(chǎn)量翻倍，并具備應(yīng)用于對(duì)應(yīng)規(guī)模的射頻模組封測(cè)能力。

據(jù)臻芯微電子披露，該MEMS濾波器芯片產(chǎn)線(xiàn)為6英寸晶圓線(xiàn)，一個(gè)6英寸晶圓可產(chǎn)出1~2萬(wàn)顆濾波器芯片，此外，該產(chǎn)線(xiàn)具備表聲波（SAW）濾波器生產(chǎn)能力，年產(chǎn)能達(dá)12億顆。

（預(yù)計(jì)2023投產(chǎn)）5、銳石創(chuàng)芯（IDM）

銳石創(chuàng)芯MEMS器件生產(chǎn)基地新建項(xiàng)目位于重慶，總占地面積120畝，總投資22億。其中一期投資約8億元，建設(shè)4條MEMS生產(chǎn)線(xiàn),建成后形成年產(chǎn)MEMS器件約10億顆(其中以6英寸鉭酸鋰作為襯底材料的MEMS器件8億顆、以6英寸鈮酸鋰作為襯底材料的MEMS器件2億顆)，項(xiàng)目核心廠(chǎng)房由晶圓廠(chǎng)和動(dòng)力站組成，建筑面積共2.65萬(wàn)平方米，主要生產(chǎn)射頻前端MEMS芯片。

2022年7月項(xiàng)目封頂，2022年12月項(xiàng)目首臺(tái)ASML光刻機(jī)入場(chǎng)，進(jìn)入設(shè)備調(diào)試和試生產(chǎn)階段，預(yù)計(jì)可能于2023年投產(chǎn)。

（2023建成）6、微納感知（IDM）-8英寸

據(jù)微納感知官網(wǎng)信息披露 ，2022年12月《MEMS傳感器項(xiàng)目》環(huán)評(píng)公示，擬投資1.1億元成立產(chǎn)線(xiàn)，以年研發(fā)8萬(wàn)只MEMS 氣體傳感器及4萬(wàn)只MEMS氣體流量傳感器，晶圓尺寸為8英寸, 年投片為6片。

該項(xiàng)目于2023年1月開(kāi)工建設(shè)，2023年4月完成建設(shè)，2023年4月開(kāi)始調(diào)試，2023年5月, 項(xiàng)目完成驗(yàn)收。

（2023建成）7、飛恩微電子（IDM）

2021年7月, 申報(bào)《MEMS壓力傳感器項(xiàng)目》, 規(guī)劃年產(chǎn)MEMS 壓力傳感器 500 萬(wàn)件, 具體為 FPT 系列微壓傳感器 400 萬(wàn)件/年和壓力開(kāi)關(guān)傳感器 100 萬(wàn)件/年。2021年8月, 項(xiàng)目開(kāi)工。2023年3月, MEMS壓力傳感器項(xiàng)目階段性驗(yàn)收。驗(yàn)收內(nèi)容為 1 條 FPT 系列微壓傳感器自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn), 生產(chǎn)規(guī)模 100 萬(wàn)件/年。

8、領(lǐng)航微系統(tǒng)（IDM）-8英寸

領(lǐng)航微系統(tǒng)擁有8英寸薄膜MEMS晶圓工藝線(xiàn)，其中薄膜MEMS傳感器與執(zhí)行器產(chǎn)能可達(dá)10000片/年，SOI硅基MEMS傳感器產(chǎn)能可達(dá)60000片/年，掌握功能薄膜生長(zhǎng)、MEMS設(shè)計(jì)、工藝、封測(cè)、信號(hào)處理等全鏈條技術(shù)，以及MEMS結(jié)構(gòu)-工藝-ASIC電路協(xié)同設(shè)計(jì)、MEMS機(jī)電性能協(xié)同測(cè)試與自動(dòng)化封裝等方面關(guān)鍵技術(shù)。

（2023擬建）9、大灣區(qū)MEMS中試線(xiàn)（中試線(xiàn)）-8英寸

2022年11月，在深圳光明區(qū)舉行的中國(guó)傳感器與應(yīng)用技術(shù)大會(huì)暨光明專(zhuān)項(xiàng)招商大會(huì)上，已敲定總投資額約15.33億元的大灣區(qū)MEMS中試線(xiàn)項(xiàng)目將落戶(hù)深圳光明區(qū)。

該項(xiàng)目規(guī)劃建設(shè)一條約產(chǎn)能3000片的8吋MEMS中試線(xiàn)，并具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風(fēng)、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺(tái)。同時(shí)，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金也將落地光明。

該項(xiàng)目也是深圳首條MEMS中試線(xiàn)，2023年8月最新消息，賽微電子旗下全資子公司賽萊克斯國(guó)際與深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)有限公司關(guān)聯(lián)主體等聯(lián)合，通過(guò)投資設(shè)立賽萊克斯深圳，在深圳投資建設(shè)MEMS項(xiàng)目，深圳大灣區(qū)MEMS中試線(xiàn)走向落地，并由賽微電子主導(dǎo)建設(shè)。相關(guān)信息參看《深圳首條MEMS中試線(xiàn)落地！》

（2023擬建）10、華芯智能（IDM）-6英寸

2023年1月，據(jù)天津?yàn)I海—中關(guān)村北塘灣數(shù)字經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)園消息，華芯智能擬選址園區(qū)，新增投資建設(shè)MEMS芯片生產(chǎn)基地并將總部同步落戶(hù)園區(qū)。該總部項(xiàng)目落地后，將建設(shè)世界一流的高性能6英寸MEMS產(chǎn)線(xiàn)、全自動(dòng)慣導(dǎo)模組生產(chǎn)基地，形成集組裝標(biāo)定、芯片封測(cè)、高性能MEMS晶圓制造于一體的IDM發(fā)展模式。

目前，華芯智能已在天津建有封裝模組廠(chǎng)，已于2021年投產(chǎn)，一期總面積為1050平方米，由芯片封裝區(qū)域、慣導(dǎo)組裝區(qū)域、產(chǎn)品標(biāo)定區(qū)域和辦公區(qū)域四大部分組成。一期工廠(chǎng)芯片封裝區(qū)域建設(shè)有千級(jí)的潔凈空間，引進(jìn)國(guó)際主流品牌的探針臺(tái)、自動(dòng)貼片機(jī)、金絲打線(xiàn)機(jī)和共晶爐等先進(jìn)設(shè)備，計(jì)劃年產(chǎn)25萬(wàn)顆高性能MEMS慣性傳感器。產(chǎn)品標(biāo)定車(chē)間擁有超過(guò)20套自研高精度標(biāo)定設(shè)備，隔振槽下挖2米深，采用混凝土澆筑而成，慣性導(dǎo)航模組年產(chǎn)能可達(dá)5萬(wàn)臺(tái)套。

（2023在建）11、河南省智能傳感器MEMS中試平臺(tái)（中試線(xiàn)）-8英寸

據(jù)河南省公布的《2023年河南省重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目名單》最新消息顯示，《鄭州高新智能傳感器產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目（原MEMS中試平臺(tái)項(xiàng)目）》列入重點(diǎn)建設(shè)名單中，屬新一代信息技術(shù)在建重點(diǎn)項(xiàng)目，總建筑面積約6萬(wàn)平方米，主要建設(shè)河南省智能傳感器MEMS研發(fā)中試平臺(tái)所需物理空間，包括測(cè)試樓、主廠(chǎng)房、動(dòng)力中心、危廢品庫(kù)、硅烷站、氫氣站、化學(xué)品庫(kù)及配套用房、設(shè)施。

河南省智能傳感器MEMS中試平臺(tái)落戶(hù)鄭州高新區(qū)的中國(guó)（鄭州）智能傳感谷，于2022年8月動(dòng)工建設(shè)。

該項(xiàng)目圍繞智能傳感器的設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)和應(yīng)用等全產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)布局，建設(shè)產(chǎn)能3000-5000片/月的8吋MEMS中試平臺(tái)。

目前建設(shè)的為一期第一階段項(xiàng)目，批復(fù)投資70億元人民幣，將建設(shè)月加工2萬(wàn)片12英寸的晶圓制造量產(chǎn)線(xiàn)。項(xiàng)目于2022年12月開(kāi)工，計(jì)劃2024上半年通線(xiàn)，2025年年底滿(mǎn)產(chǎn)。

奧松半導(dǎo)體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目，于今年6月28日開(kāi)工建設(shè)，總投資35億元，用地約230畝，包含8英寸CMOS+MEMS特色傳感器芯片量產(chǎn)線(xiàn)、8英寸MEMS特色晶圓快速研發(fā)線(xiàn)、智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、車(chē)規(guī)級(jí)傳感器可靠性檢測(cè)中心、產(chǎn)學(xué)研科研中心及奧松半導(dǎo)體研發(fā)辦公大樓等建設(shè)項(xiàng)目，技術(shù)能力覆蓋CMOS+MEMS特色工藝，可全面開(kāi)展表面硅、體硅以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)和量產(chǎn)；具有MEMS壓阻、壓電、硅光、磁材料、MOX、微流控等相關(guān)工藝的研發(fā)和量產(chǎn)設(shè)備，大幅提升產(chǎn)品研發(fā)的成功率，可實(shí)現(xiàn)各類(lèi)MEMS半導(dǎo)體傳感器產(chǎn)品從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。

14、奧松電子（IDM&代工）-6英寸

2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線(xiàn)正式投入運(yùn)營(yíng)，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片。

奧松電子MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)一期工程為500納米MEMS半導(dǎo)體工藝制程，生產(chǎn)設(shè)備約占整個(gè)投資規(guī)模的70%。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程建成350納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)；總項(xiàng)目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達(dá)到4萬(wàn)片，

2021年8月，奧松電子官網(wǎng)宣布對(duì)外開(kāi)放MEMS芯片代工業(yè)務(wù)，包括設(shè)備共享、技術(shù)支持、企業(yè)孵化等服務(wù)。

（2023在建）15、蚌埠與214所MEMS項(xiàng)目（代工）-8英寸

2020年12月，蚌埠與214所簽約共同建設(shè)8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設(shè)項(xiàng)目，建設(shè)周期為2年、總投資10億元，建設(shè)目標(biāo)是打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)，建成后將擁有年產(chǎn)5萬(wàn)片的MEMS晶圓制造能力和每年4億顆MEMS芯片封測(cè)能力。預(yù)計(jì)2023年進(jìn)入試運(yùn)營(yíng)階段。

16、賽微電子 （代工）-8英寸

根據(jù)半導(dǎo)體市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Yole Development統(tǒng)計(jì)的2022年數(shù)據(jù)，Silex Microsystems AB 連續(xù)4年在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一。相關(guān)信息參看《最新全球MEMS晶圓廠(chǎng)排名出爐》

賽微電子目前國(guó)內(nèi)的MEMS產(chǎn)線(xiàn)位于北京，2021年6月北京8英寸MEMS產(chǎn)線(xiàn)（北京FAB3）一期建成生產(chǎn)，目前（2023年8月）已形成10000片/月產(chǎn)能，將在2024/2025年盡快實(shí)現(xiàn)3萬(wàn)片/月的總產(chǎn)能。

2023年，賽微電子先后宣布其MEMS濾波器芯片產(chǎn)線(xiàn)和MEMS微振鏡芯片產(chǎn)線(xiàn)正式量產(chǎn)，北京FAB3產(chǎn)線(xiàn)加速產(chǎn)能釋放。

目前賽微電子主要晶圓產(chǎn)線(xiàn)布局：

①已運(yùn)營(yíng)產(chǎn)線(xiàn)：瑞典FAB1&2-MEMS芯片-8英寸晶圓-產(chǎn)能7,000片/月；北京FAB3-MEMS芯片-8英寸晶圓-設(shè)計(jì)總產(chǎn)能3萬(wàn)片/月(已實(shí)現(xiàn)10,000片/月)；青島GaN產(chǎn)線(xiàn)-GaN外延晶圓-產(chǎn)能830片/月。

②交易中產(chǎn)線(xiàn)：德國(guó)FAB5-汽車(chē)芯片-8英寸晶圓-產(chǎn)能高于8,000片/月。（該交易已與2022年11月被德國(guó)政府禁止，相關(guān)信息參看：《6億收購(gòu)泡湯！中國(guó)最大MEMS代工廠(chǎng)被德國(guó)下禁令！》）

③籌劃/籌建中產(chǎn)線(xiàn)：FAB4(內(nèi)部商業(yè)討論中)；合肥FAB6-MEMS芯片-12英寸晶圓-設(shè)計(jì)總產(chǎn)能2萬(wàn)片/月；懷柔FAB7-MEMS芯片-6/8英寸晶圓-設(shè)計(jì)總產(chǎn)能3,000片/月；MEMS先進(jìn)封測(cè)P-FAB1-MEMS芯片-8英寸晶圓-設(shè)計(jì)總產(chǎn)能1萬(wàn)片/月；深圳大灣區(qū)MEMS中試線(xiàn)-8英寸晶圓-設(shè)計(jì)產(chǎn)能3000片/月。

2018年3月由中芯國(guó)際、紹興市政府、盛洋集團(tuán)共同出資設(shè)立中芯集成電路制造（紹興）有限公司。同年5月，總投資58.8億元的中芯集成電路制造（紹興）項(xiàng)目開(kāi)工奠基，該項(xiàng)目用地207.6畝，新建14.65萬(wàn)平米的廠(chǎng)房，建設(shè)一條集成電路8寸芯片制造生產(chǎn)線(xiàn)和一條模組封裝生產(chǎn)線(xiàn)。

中芯國(guó)際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風(fēng)、加速度計(jì)、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。根據(jù) Yole 發(fā)布的《2023 年 MEMS 產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀》報(bào)告，全球主要 MEMS 晶圓代工廠(chǎng)中，中芯集成排名全球第五。相關(guān)信息參看《最新全球MEMS晶圓廠(chǎng)排名出爐》。

據(jù)2023年上半年波高顯示，產(chǎn)能方面，中芯集成應(yīng)用于車(chē)載、工控領(lǐng)域核心芯片的 IGBT 產(chǎn)能達(dá)到 8 萬(wàn)片/月，其產(chǎn)能利用率超過(guò) 95%；SiC 新建產(chǎn)能 2000 片/月，產(chǎn)能利用率超過(guò) 90%。此外公司還擁有 MOSFET 產(chǎn)能 6.5 萬(wàn)片/月、MEMS 產(chǎn)能 1.1 萬(wàn)片/月、HVIC 產(chǎn)能 5000 片/月。相關(guān)信息參看《中國(guó)大陸最大規(guī)模MEMS代工廠(chǎng)，上半年?duì)I收25.2億元》

中芯集成已于今年5月10日在上交所科創(chuàng)板上市，募集金額達(dá)125億元，相關(guān)信息參看《國(guó)內(nèi)最大MEMS代工廠(chǎng)成功上市！》。

20、昊潤(rùn)科技 （IDM）

2011年歐洲經(jīng)濟(jì)危機(jī)期間，昊潤(rùn)科技收購(gòu)芬蘭VTI公司3D-MEMS 硅電容傳感器全套生產(chǎn)線(xiàn)，并引進(jìn)其核心技術(shù)。因此，昊潤(rùn)科技擁有自己的3D-MEMS技術(shù)和硅電容傳感器生產(chǎn)線(xiàn)，年生產(chǎn)規(guī)模1500萬(wàn)只。

21、青鳥(niǎo)元芯 （中試線(xiàn)）-4/6英寸

22、中電49所 （IDM&代工）-4英寸

中國(guó)電科49所是我國(guó)軍工集團(tuán)唯一專(zhuān)門(mén)從事電子敏感技術(shù)研究、敏感元器件與傳感器研發(fā)的專(zhuān)業(yè)研究所，國(guó)內(nèi)最大的傳感器產(chǎn)業(yè)研究開(kāi)發(fā)基地之一。建有4英寸MEMS微加工工藝線(xiàn)，自主研制出壓力、加速度、流量、濕度、氣體等MEMS敏感芯片，批量生產(chǎn)SOIMEMS壓力傳感器、薄膜鉑熱敏電阻器、高分子濕敏電容、可燃?xì)怏w傳感器等產(chǎn)品。

23、英特神斯科技 （代工）

24、浙江芯動(dòng)科技（代工）-6英寸

芯動(dòng)科技擁有先進(jìn)的6英寸MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線(xiàn)，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過(guò)程，生產(chǎn)壓力、加速度計(jì)、陀螺儀，光鏡和生物醫(yī)學(xué)等MEMS傳感器芯片產(chǎn)品。

芯動(dòng)科技目前已投入1億多用于產(chǎn)線(xiàn)的建設(shè)，計(jì)劃聯(lián)合資本方在未來(lái)2-3年投入5億元人民幣繼續(xù)完善制造基地的相關(guān)設(shè)備設(shè)施。該基地目前建筑面積為3000平方米，是中國(guó)最先進(jìn)的MEMS器件加工平臺(tái)之一，具備芯片制造、封裝測(cè)試等一系列的能力。

25、原位芯片（IDM&代工）-6英寸

原位芯片專(zhuān)注于MEMS液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片和氮化硅薄膜窗格等產(chǎn)品，其自主研發(fā)的氮化硅薄膜窗口產(chǎn)品成功打破海外壟斷，液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片也是國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品首創(chuàng)。

26、華潤(rùn)微電子（IDM&代工）-6&8英寸

華潤(rùn)微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴(kuò)充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺(tái)從6英寸升級(jí)到8英寸，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術(shù)水平和競(jìng)爭(zhēng)能力。

27、上海先進(jìn)半導(dǎo)體（代工）-5、6、8英寸

先進(jìn)半導(dǎo)體由傳統(tǒng)模擬芯片代工廠(chǎng)轉(zhuǎn)型MEMS代工， 目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圓生產(chǎn)線(xiàn)，MEMS生產(chǎn)線(xiàn)可以代工的器件包括：三軸陀螺 儀、加速度計(jì)、生物MEMS芯片、光學(xué)MEMS、RFMEMS、微流體開(kāi)關(guān)、壓力傳感器等，可被廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、醫(yī)療電子以及汽車(chē)電子等領(lǐng)域。

目前，該MEMS生產(chǎn)平臺(tái)擁有世界最先進(jìn)的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設(shè)備，設(shè)計(jì)月產(chǎn)量可達(dá)3000片。

28、華虹宏力（代工）-8英寸

在8英寸制造平臺(tái)上，華虹實(shí)現(xiàn)MEMS器件與標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝及生產(chǎn)線(xiàn)的全兼容。已流片的產(chǎn)品包括磁力計(jì)、加速度計(jì)、壓力傳感器等。

2023年，華虹宏力在上交所科創(chuàng)板上市，相關(guān)信息參看《中國(guó)第二大晶圓廠(chǎng)A股上市！》。

29、海康微影 （IDM）-8英寸

2021年11月9日在投資平臺(tái)上，海康威視透露?？滴⒂耙呀?jīng)自建一條8寸MEMS生產(chǎn)線(xiàn)及封裝線(xiàn)，具備年產(chǎn)晶圓一萬(wàn)片，探測(cè)器百萬(wàn)顆的生產(chǎn)能力。

探測(cè)器產(chǎn)線(xiàn)潔凈面積達(dá)到800平方米、凈化級(jí)別高達(dá)10級(jí)的8英寸，擁有業(yè)界—流的集成電路設(shè)計(jì)、MEMS設(shè)計(jì)、MEMS/封裝制程開(kāi)發(fā)、應(yīng)用成品開(kāi)發(fā)及銷(xiāo)售服務(wù)團(tuán)隊(duì)。

30、愛(ài)司凱（IDM）-8英寸

31、西人馬（IDM）-8英寸

西人馬19年11月獲得朗潤(rùn)基金數(shù)千萬(wàn)A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，2021年3月獲B輪融資，發(fā)展迅速，西人馬已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)MEMS領(lǐng)域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達(dá)到幾十萬(wàn)顆。西人馬是中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)之一。

32、罕王微電子（IDM）-8英寸

罕王微電子2016年收購(gòu)美信旗下MEMS傳感器業(yè)務(wù)，2018年建成國(guó)內(nèi)首條8英寸純MEMS規(guī)模化量產(chǎn)線(xiàn)，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程，設(shè)計(jì)晶圓產(chǎn)能36萬(wàn)片/年。生產(chǎn)傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測(cè)量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應(yīng)力傳感器等。

33、美泰科技（IDM）-6英寸

6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝和封裝技術(shù)用于MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開(kāi)關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線(xiàn)月產(chǎn)能達(dá)到1萬(wàn)片。

34、多維科技（IDM&代工）-6&8英寸

多維科技的磁傳感器晶圓代工廠(chǎng)擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線(xiàn)，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開(kāi)發(fā)及晶圓制造服務(wù)（包括設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試），年產(chǎn)10億個(gè)TMR磁傳感器。

2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行升級(jí)，能夠進(jìn)一步強(qiáng)化“自研、自產(chǎn)、技術(shù)領(lǐng)先”的核心競(jìng)爭(zhēng)力。

35、啟泰傳感（IDM）

2019年8月該生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬(wàn)顆，至2021年一期工程順利完工投產(chǎn)，用地面積35畝，建設(shè)總用地面積2萬(wàn)多平米，傳感器芯片年生產(chǎn)能力可達(dá)600萬(wàn)顆，傳感器封裝200萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達(dá)10億元。

據(jù)二期項(xiàng)目正在進(jìn)行，預(yù)計(jì)完工后，傳感器芯片產(chǎn)能將達(dá)2000萬(wàn)顆，傳感器封裝1000萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達(dá)50億元。

36、高德紅外（IDM）

高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測(cè)器產(chǎn)線(xiàn)，據(jù)2021年8月消息，年底將有新產(chǎn)線(xiàn)投產(chǎn)，并提高3~4倍產(chǎn)能

37、士蘭微（IDM）-6&8英寸

自2010年開(kāi)始，士蘭微電子投入大量資金，通過(guò)對(duì)加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測(cè)生產(chǎn)線(xiàn)，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請(qǐng)相關(guān)發(fā)明專(zhuān)利百余項(xiàng)。

目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計(jì)、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數(shù)字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。

士蘭微是中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)之一，據(jù)其2022上半年度報(bào)告披露，2022 年上半年，公司 MEMS 傳感器產(chǎn)品的營(yíng)業(yè)收入達(dá)到 1.5 億元，較上年同期增加 7.8%。

38、德?tīng)柹?（IDM）

德?tīng)柹c南京市共同建立江蘇MEMS智能傳感器研究院，投資1.04億元建有基于德國(guó)CIS研究院技術(shù)的MEMS壓力傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)。

39、力盛芯 （IDM）-8英寸

力盛芯（洛陽(yáng)）電子科技公司是由臺(tái)灣LED產(chǎn)業(yè)之父石修投資建立的企業(yè)，主要生產(chǎn)微機(jī)電工藝傳感器、硅基微型聚光斗芯片和微機(jī)電工藝集成電路代工制造三大類(lèi)產(chǎn)品。2017年總投資9億元，約5萬(wàn)平方米的8英寸MEMS芯片廠(chǎng)正式投產(chǎn)。

40、睿創(chuàng)微納（IDM）-8英寸

睿創(chuàng)微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)由公司與代工廠(chǎng)共建，已量產(chǎn)，月產(chǎn)能1500片晶圓。

2020年7月，與煙臺(tái)開(kāi)發(fā)區(qū)簽署協(xié)議，建設(shè)一條8英寸MEMS工藝線(xiàn)和一條化合物半導(dǎo)體工藝線(xiàn)。其中，化合物半導(dǎo)體芯片工藝線(xiàn)面向半導(dǎo)體激光器、光電探測(cè)器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線(xiàn)面向高端光學(xué)MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。

41、沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院（中試線(xiàn)）-4英寸

研究中心建有4英寸中試線(xiàn)，主要用于MEMS傳感器研發(fā)生產(chǎn)使用。

42、國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心（中試線(xiàn)）-12英寸

該中試線(xiàn)以國(guó)產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測(cè)等先進(jìn)傳感器和晶圓級(jí)3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時(shí)為國(guó)產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺(tái)，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。

43、蘇州納米城（中試線(xiàn)）-6英寸

蘇州納米城6英寸MEMS中試線(xiàn)由蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區(qū)政府出資）建設(shè)，是江蘇省“十二五”重大科技平臺(tái)項(xiàng)目。

蘇州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線(xiàn)采用市場(chǎng)化、全開(kāi)放的運(yùn)作模式，主要開(kāi)展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測(cè)試、專(zhuān)利運(yùn)營(yíng)、設(shè)備租賃、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專(zhuān)業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品

44、諾思微系統(tǒng)（IDM）-6英寸

諾思微已投產(chǎn)一條6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)和一條4英寸工藝研發(fā)線(xiàn)。廠(chǎng)房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬(wàn)平方米。

2021年3月，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”的項(xiàng)目在諾思微系統(tǒng)啟動(dòng)，針對(duì)5G/6G無(wú)線(xiàn)通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對(duì)射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術(shù)要求，對(duì)實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國(guó)目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。

2021年8月完成4億元融資，預(yù)計(jì)在一年內(nèi)全面加速產(chǎn)能釋放，達(dá)年產(chǎn)20億顆濾波器芯片的產(chǎn)能規(guī)模。

45、武漢衍熙微器件（IDM）-8英寸

2018年，武漢衍熙微器件進(jìn)行項(xiàng)目擴(kuò)建，一期為租賃現(xiàn)有廠(chǎng)房5600平方米，建設(shè)3600平方米的無(wú)塵室車(chē)間；二期計(jì)劃建設(shè)約10000平方米的無(wú)塵室車(chē)間，用于擴(kuò)大生產(chǎn)。

46、蘇州固锝（IDM）-8英寸

2010年固锝收購(gòu)明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺(tái)技術(shù)及八英寸晶圓級(jí)封裝技術(shù)及產(chǎn)線(xiàn)和產(chǎn)品研發(fā)。

2011年成立明皜傳感，從事微機(jī)電傳感器芯片和器件的工藝開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊(cè)資本由 6443.64 萬(wàn)元人民幣增加至 7085.19 萬(wàn)元人民幣，增幅為 9.96%。

47、西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院（研發(fā)平臺(tái)）-8英寸

西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院MEMS加工平臺(tái)位于寧波市國(guó)家高新區(qū)智造港A區(qū)，擁有世界頂級(jí)SPTS深硅刻蝕機(jī)、SUSS MA/BA8 Gen4光刻機(jī)、SUSS XB8鍵合機(jī)、全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)、原子層沉積設(shè)備、兩臺(tái)電子束蒸鍍?cè)O(shè)備（金/銀/鋁等金屬、SiO2/Al2O3等介質(zhì)）、兩臺(tái)激光隱切設(shè)備（硅/玻璃）、濕法腐蝕與清洗系統(tǒng)、橢偏儀、臺(tái)階儀等MEMS工藝專(zhuān)業(yè)設(shè)備，設(shè)備兼容8/6/4/2英寸晶圓加工，面向全國(guó)提供MEMS芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、鍍膜、光刻、刻蝕、劃片、封測(cè)、應(yīng)用開(kāi)發(fā)等全方位技術(shù)服務(wù)。

48、蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（中試線(xiàn)）

49、淄博高新區(qū)6英寸中試線(xiàn)

該產(chǎn)線(xiàn)由清華大學(xué)、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國(guó)高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司共同完成。

是國(guó)內(nèi)首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺(tái)，超凈規(guī)模國(guó)內(nèi)一流；配備了國(guó)際一流設(shè)備的中試代工線(xiàn)，中試生產(chǎn)能力可達(dá)月產(chǎn)傳感器十萬(wàn)只，產(chǎn)品的測(cè)試環(huán)境也居國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。

50、兵器214所（中試線(xiàn)）

蚌埠兵器214所智能傳感器創(chuàng)新中心已建成國(guó)家級(jí)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)國(guó)家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室和6英寸MEMS智能傳感器研制生產(chǎn)工藝線(xiàn)，具有設(shè)計(jì)、制造、封裝、篩選測(cè)試及應(yīng)用的全產(chǎn)業(yè)鏈研制生產(chǎn)能力，擁有豐富的完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS技術(shù)，核心發(fā)明專(zhuān)利300余項(xiàng)，產(chǎn)品覆蓋高端慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS傳感器、流量傳感器以及氣體傳感器等，是國(guó)內(nèi)MEMS龍頭企業(yè)和工信部傳感器“一條龍”示范企業(yè)。

51、中科院微電子所（中試線(xiàn)）

52、中科院電子學(xué)研究所（研發(fā)平臺(tái)）

53、中科院上海微系統(tǒng)所（研發(fā)平臺(tái)）

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)所設(shè)有傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(北方基地)，現(xiàn)有的MEMS技術(shù)平臺(tái)由微系統(tǒng)加工平臺(tái)和微系統(tǒng)封裝平臺(tái)兩部分組成，分別位于上海微系統(tǒng)所漕河涇園區(qū)內(nèi)主樓的一層和二層凈化間內(nèi)。

整個(gè)平臺(tái)擁有100多臺(tái)套先進(jìn)的大中型設(shè)備，總價(jià)值達(dá)1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測(cè)試、微系統(tǒng)集成等成套工藝，為微系統(tǒng)研究提供有力的技術(shù)保障。

54、上海微技術(shù)工研院（中試線(xiàn)）

2017年，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“工研院”）構(gòu)建的國(guó)內(nèi)首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線(xiàn)正式投入運(yùn)營(yíng)，月產(chǎn)量將達(dá)到3000件。

該產(chǎn)線(xiàn)部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備。作為國(guó)內(nèi)第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線(xiàn)，SITRI的8英寸研發(fā)中試線(xiàn)不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率。

其他

（擱置）55、賽微電子 （代工）-12英寸

賽微電子合肥項(xiàng)目公司注冊(cè)資本擬設(shè)定為40億元，計(jì)劃賽微電子占股約36%(出資約14.4億元)、合肥高新區(qū)管委會(huì)聯(lián)合市區(qū)下屬?lài)?guó)資平臺(tái)占股約24%（出資約10億元）、項(xiàng)目核心團(tuán)隊(duì)持股約10%（出資約4億元）、其他社會(huì)資本占股合計(jì)約30%（出資約12億元）。

據(jù)2023年8月最新消息，該項(xiàng)目處于擱置狀態(tài)，啟動(dòng)日期未定。

（已破產(chǎn)清算）56、東方微磁 （IDM）

東方微磁的MEMS生產(chǎn)線(xiàn)2015年底全部調(diào)通，是國(guó)內(nèi)首條可滿(mǎn)足工業(yè)化生產(chǎn)的磁芯片生產(chǎn)線(xiàn)，保守產(chǎn)能為1000片/月，每年至少可生產(chǎn)月2億顆芯片，共有濺射鍍膜、光刻、真空、測(cè)試等設(shè)備進(jìn)60臺(tái)。