1.8萬(wàn)
今年以來，中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)入新的高度，高華科技、芯動(dòng)聯(lián)科、禾賽科技等多家傳感器企業(yè)成功上市，正揚(yáng)傳感、天箭慣性、明皜傳感、長(zhǎng)光辰芯、速騰聚創(chuàng)、圖達(dá)通……等多家傳感器企業(yè)吹響沖擊股市的號(hào)角。
傳感器專家網(wǎng)https://www.sensorexpert.com.cn專注于傳感器技術(shù)領(lǐng)域，致力于對(duì)全球前沿市場(chǎng)動(dòng)態(tài)、技術(shù)趨勢(shì)與產(chǎn)品選型進(jìn)行專業(yè)垂直的服務(wù)，是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的傳感器產(chǎn)品查詢與媒體信息服務(wù)平臺(tái)?；趥鞲衅鳟a(chǎn)品與技術(shù)，對(duì)廣大電子制造從業(yè)者與傳感器制造者提供精準(zhǔn)的匹配與對(duì)接。
MEMS芯片是智能傳感器的核心部件，隨著產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，今年來多條MEMS產(chǎn)線相繼落地/建成，這其中包括深圳首條MEMS中試線落地、濟(jì)南首條MEMS產(chǎn)線建成、拜安傳感國(guó)內(nèi)首條MEMS光纖傳感器芯片產(chǎn)線建成、美新半導(dǎo)體紹興MEMS產(chǎn)線下半年投產(chǎn)、奧松電子8英寸MEMS新產(chǎn)線動(dòng)工……等好消息。
當(dāng)然，在“優(yōu)勝劣汰”市場(chǎng)規(guī)律下，也有一些MEMS產(chǎn)線淡出，譬如東方微磁已破產(chǎn)注銷，其建設(shè)的國(guó)內(nèi)第一條MEMS磁傳感器芯片產(chǎn)線也被破產(chǎn)清算。
下文，我們來看看中國(guó)主要MEMS芯片產(chǎn)線最新情況，數(shù)據(jù)截止2023年8月份，其中更新MEMS產(chǎn)線資料在最前面，因時(shí)間倉(cāng)促，資料繁多，部分信息錯(cuò)漏請(qǐng)?jiān)趥鞲衅鲗＜揖W(wǎng)公眾號(hào)本內(nèi)容留言討論。
序號(hào)僅區(qū)分?jǐn)?shù)量，無(wú)任何排序意義
（2023建成）1、山東產(chǎn)研院硅基微納制造公共技術(shù)服務(wù)平臺(tái)（中試線）-4&6英寸
據(jù)濟(jì)南高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)信息披露，今年5月，由濟(jì)南高新技術(shù)創(chuàng)業(yè)服務(wù)中心服務(wù)的山東產(chǎn)研院傾力打造的產(chǎn)研院硅基微納制造公共技術(shù)服務(wù)平臺(tái)全線貫通，實(shí)現(xiàn)具備完整MEMS生產(chǎn)加工能力，其自主生產(chǎn)的首款產(chǎn)品正式下線并交付。
微納制造平臺(tái)建設(shè)總投資2億元，山東產(chǎn)研微納與智能制造研究院主導(dǎo)運(yùn)營(yíng)，是濟(jì)南市首條具備完整MEMS芯片生產(chǎn)加工能力的產(chǎn)線，定位于MEMS傳感器產(chǎn)品轉(zhuǎn)化和工程化驗(yàn)證。平臺(tái)總面積5500平方米，潔凈間面積約1800平方米，包括光刻區(qū)、刻蝕區(qū)、濕法區(qū)、高溫區(qū)、注入?yún)^(qū)、金屬化區(qū)、劃片區(qū)、封裝區(qū)、測(cè)試區(qū)等9大功能區(qū)，配置光刻、鍵合、擴(kuò)散、腐蝕、刻蝕、沉積、注入、封裝、測(cè)試等相關(guān)設(shè)備90余臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)MEMS芯片生產(chǎn)全過程。
據(jù)悉，山東產(chǎn)研院微納制造公共技術(shù)服務(wù)平臺(tái)設(shè)計(jì)產(chǎn)能為年產(chǎn)2萬(wàn)晶圓，MEMS晶圓尺寸為4&6英寸。
（2023建成）2、拜安半導(dǎo)體（IDM&代工）-6英寸
今年7月20日，上海拜安半導(dǎo)體有限公司（以下簡(jiǎn)稱“拜安半導(dǎo)體”）投建的“6英寸MEMS光纖傳感器特色研發(fā)小試線”正式通線投產(chǎn)運(yùn)行。該項(xiàng)目由拜安科技和上海嘉定綜保區(qū)公司共同出資建設(shè)，總投資約1.5億元，致力于MEMS光纖傳感器芯片的制造和封裝測(cè)試及相關(guān)研發(fā)業(yè)務(wù)，為6英寸MEMS芯片工藝線。
該產(chǎn)線是國(guó)內(nèi)首條具備量產(chǎn)能力的MEMS光纖傳感器芯片生產(chǎn)線，年產(chǎn)能為1-1.5萬(wàn)片晶圓，未來將通過分期投建擴(kuò)產(chǎn)，最終產(chǎn)線將達(dá)到3萬(wàn)片/年的生產(chǎn)能力。
拜安半導(dǎo)體MEMS產(chǎn)線項(xiàng)目于2022年2月簽約，9月開工，原計(jì)劃2022年底實(shí)現(xiàn)試運(yùn)營(yíng)，2024年全面投產(chǎn)，目前較原計(jì)劃提前半年投產(chǎn)。未來，該產(chǎn)線在滿足母公司拜安傳感的產(chǎn)品及研發(fā)需求后，將開放富余產(chǎn)能，向其他企事業(yè)單位提供代工或委托研發(fā)服務(wù)。
拜安科技主營(yíng)產(chǎn)品是以光纖光柵傳感、分布式光纖傳感以及MEMS光纖傳感為主的智能光纖傳感器，2021年9月獲由軟銀中國(guó)資本領(lǐng)投的數(shù)億元 A 輪融資，2022年9月獲由深創(chuàng)投、中芯聚源等投資的數(shù)億元B輪融資。
（新建產(chǎn)能投產(chǎn)）3、美新半導(dǎo)體（IDM）-8英寸
美新半導(dǎo)體（MEMSIC）是全球領(lǐng)先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，于1999年成立, 目前總部位于中國(guó)天津，2007年在美國(guó)納斯達(dá)克上市，是全球MEMS第一股，中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)之一。
美新半導(dǎo)體在無(wú)錫建有8英寸MEMS磁、慣性傳感器晶圓生產(chǎn)、封測(cè)產(chǎn)線。2022年12月25日，據(jù)《紹興日?qǐng)?bào)》報(bào)道，總投資約3.5億元，建筑面積約5.27萬(wàn)平方米的紹興集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)園（西園）項(xiàng)目計(jì)劃2023年6月竣工。位于園區(qū)內(nèi)的美新半導(dǎo)體項(xiàng)目即將投產(chǎn)，投產(chǎn)后將形成年產(chǎn)6億顆MEMS磁傳感器芯片和1.2億顆加速度傳感器的生產(chǎn)能力。
據(jù)越城發(fā)布公眾號(hào)消息，美新半導(dǎo)體（紹興）有限公司年產(chǎn)6億顆MEMS磁傳感器生產(chǎn)線及加速度傳感器工藝開發(fā)實(shí)驗(yàn)線項(xiàng)目于2023年4月份竣工驗(yàn)收，目前正在調(diào)試設(shè)備和工藝，將于下半年正式投產(chǎn)。
4、臻芯微電子（IDM）-6英寸
臻芯微電子成立于2021年6月，其MEMS濾波器芯片產(chǎn)線已與2022年10月完成設(shè)備調(diào)試和全線投片通線，計(jì)劃于近期開始試生產(chǎn)，整體達(dá)產(chǎn)后年銷售突破15億元。其MEMS濾波器芯片研發(fā)生產(chǎn)項(xiàng)目總投資14億元。其中一期投資8億元，建設(shè)一條高性能體聲波濾波器芯片制造和封裝線，具備年產(chǎn)9.6億顆體聲波（BAW）濾波器芯片能力；二期擴(kuò)產(chǎn)后濾波器年產(chǎn)量翻倍，并具備應(yīng)用于對(duì)應(yīng)規(guī)模的射頻模組封測(cè)能力。
據(jù)臻芯微電子披露，該MEMS濾波器芯片產(chǎn)線為6英寸晶圓線，一個(gè)6英寸晶圓可產(chǎn)出1~2萬(wàn)顆濾波器芯片，此外，該產(chǎn)線具備表聲波（SAW）濾波器生產(chǎn)能力，年產(chǎn)能達(dá)12億顆。
（預(yù)計(jì)2023投產(chǎn)）5、銳石創(chuàng)芯（IDM）
銳石創(chuàng)芯是一家專注于高性能的4G/5G射頻前端產(chǎn)品的研發(fā)及銷售的公司，主要應(yīng)用于智能手機(jī)、物聯(lián)網(wǎng)終端、平板電腦。
銳石創(chuàng)芯MEMS器件生產(chǎn)基地新建項(xiàng)目位于重慶，總占地面積120畝，總投資22億。其中一期投資約8億元，建設(shè)4條MEMS生產(chǎn)線,建成后形成年產(chǎn)MEMS器件約10億顆(其中以6英寸鉭酸鋰作為襯底材料的MEMS器件8億顆、以6英寸鈮酸鋰作為襯底材料的MEMS器件2億顆)，項(xiàng)目核心廠房由晶圓廠和動(dòng)力站組成，建筑面積共2.65萬(wàn)平方米，主要生產(chǎn)射頻前端MEMS芯片。
2022年7月項(xiàng)目封頂，2022年12月項(xiàng)目首臺(tái)ASML光刻機(jī)入場(chǎng)，進(jìn)入設(shè)備調(diào)試和試生產(chǎn)階段，預(yù)計(jì)可能于2023年投產(chǎn)。
（2023建成）6、微納感知（IDM）-8英寸
微納感知由中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)科技成果轉(zhuǎn)化而來，2015年成立，產(chǎn)品包括MEMS微熱板芯片、MEMS氣體流量芯片、MEMS氣體傳感器、MEMS氣體流量傳感器及模組等。
據(jù)微納感知官網(wǎng)信息披露 ，2022年12月《MEMS傳感器項(xiàng)目》環(huán)評(píng)公示，擬投資1.1億元成立產(chǎn)線，以年研發(fā)8萬(wàn)只MEMS 氣體傳感器及4萬(wàn)只MEMS氣體流量傳感器，晶圓尺寸為8英寸, 年投片為6片。
該項(xiàng)目于2023年1月開工建設(shè)，2023年4月完成建設(shè)，2023年4月開始調(diào)試，2023年5月, 項(xiàng)目完成驗(yàn)收。
（2023建成）7、飛恩微電子（IDM）
飛恩微電子成立于2011年，是一家MEMS傳感器芯片及系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商，公司以汽車電子、工業(yè)電子和消費(fèi)電子產(chǎn)品為核心業(yè)務(wù)，提供芯片（專用集成電路芯片、MEMS芯片）、MEMS傳感器、MEMS傳感器系統(tǒng)產(chǎn)品、測(cè)試設(shè)備等四大類產(chǎn)品，以及ODM/OEM服務(wù)。2022年，飛恩微電子研發(fā)出國(guó)內(nèi)首款車規(guī)級(jí)MEMS壓力傳感器芯片。
2021年7月, 申報(bào)《MEMS壓力傳感器項(xiàng)目》, 規(guī)劃年產(chǎn)MEMS 壓力傳感器 500 萬(wàn)件, 具體為 FPT 系列微壓傳感器 400 萬(wàn)件/年和壓力開關(guān)傳感器 100 萬(wàn)件/年。2021年8月, 項(xiàng)目開工。2023年3月, MEMS壓力傳感器項(xiàng)目階段性驗(yàn)收。驗(yàn)收內(nèi)容為 1 條 FPT 系列微壓傳感器自動(dòng)化生產(chǎn)線, 生產(chǎn)規(guī)模 100 萬(wàn)件/年。
8、領(lǐng)航微系統(tǒng)（IDM）-8英寸
合肥領(lǐng)航微系統(tǒng)集成有限公司是先進(jìn)功能薄膜MEMS傳感器與執(zhí)行器微系統(tǒng)IDM企業(yè)， 主營(yíng)業(yè)務(wù)范圍為MEMS微鏡，芯片揚(yáng)聲器以及超聲波傳感器與信號(hào)處理ASIC的研發(fā)與制造，同時(shí)可提供SOI硅基MEMS傳感器代工服務(wù)。
領(lǐng)航微系統(tǒng)擁有8英寸薄膜MEMS晶圓工藝線，其中薄膜MEMS傳感器與執(zhí)行器產(chǎn)能可達(dá)10000片/年，SOI硅基MEMS傳感器產(chǎn)能可達(dá)60000片/年，掌握功能薄膜生長(zhǎng)、MEMS設(shè)計(jì)、工藝、封測(cè)、信號(hào)處理等全鏈條技術(shù)，以及MEMS結(jié)構(gòu)-工藝-ASIC電路協(xié)同設(shè)計(jì)、MEMS機(jī)電性能協(xié)同測(cè)試與自動(dòng)化封裝等方面關(guān)鍵技術(shù)。
（2023擬建）9、大灣區(qū)MEMS中試線（中試線）-8英寸
2022年11月，在深圳光明區(qū)舉行的中國(guó)傳感器與應(yīng)用技術(shù)大會(huì)暨光明專項(xiàng)招商大會(huì)上，已敲定總投資額約15.33億元的大灣區(qū)MEMS中試線項(xiàng)目將落戶深圳光明區(qū)。
該項(xiàng)目規(guī)劃建設(shè)一條約產(chǎn)能3000片的8吋MEMS中試線，并具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風(fēng)、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺(tái)。同時(shí)，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金也將落地光明。
該項(xiàng)目也是深圳首條MEMS中試線，2023年8月最新消息，賽微電子旗下全資子公司賽萊克斯國(guó)際與深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)有限公司關(guān)聯(lián)主體等聯(lián)合，通過投資設(shè)立賽萊克斯深圳，在深圳投資建設(shè)MEMS項(xiàng)目，深圳大灣區(qū)MEMS中試線走向落地，并由賽微電子主導(dǎo)建設(shè)。相關(guān)信息參看《深圳首條MEMS中試線落地！》
（2023擬建）10、華芯智能（IDM）-6英寸
華芯智能（珠海）科技有限公司于2019年12月成立，是一家全球領(lǐng)先的高性能MEMS慣性芯片及導(dǎo)航模組研發(fā)型企業(yè)，主要產(chǎn)品為高性能MEMS陀螺儀芯片、加速度計(jì)芯片、高性能慣性導(dǎo)航模組和組合導(dǎo)航模組。
2023年1月，據(jù)天津?yàn)I海—中關(guān)村北塘灣數(shù)字經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)園消息，華芯智能擬選址園區(qū)，新增投資建設(shè)MEMS芯片生產(chǎn)基地并將總部同步落戶園區(qū)。該總部項(xiàng)目落地后，將建設(shè)世界一流的高性能6英寸MEMS產(chǎn)線、全自動(dòng)慣導(dǎo)模組生產(chǎn)基地，形成集組裝標(biāo)定、芯片封測(cè)、高性能MEMS晶圓制造于一體的IDM發(fā)展模式。
目前，華芯智能已在天津建有封裝模組廠，已于2021年投產(chǎn)，一期總面積為1050平方米，由芯片封裝區(qū)域、慣導(dǎo)組裝區(qū)域、產(chǎn)品標(biāo)定區(qū)域和辦公區(qū)域四大部分組成。一期工廠芯片封裝區(qū)域建設(shè)有千級(jí)的潔凈空間，引進(jìn)國(guó)際主流品牌的探針臺(tái)、自動(dòng)貼片機(jī)、金絲打線機(jī)和共晶爐等先進(jìn)設(shè)備，計(jì)劃年產(chǎn)25萬(wàn)顆高性能MEMS慣性傳感器。產(chǎn)品標(biāo)定車間擁有超過20套自研高精度標(biāo)定設(shè)備，隔振槽下挖2米深，采用混凝土澆筑而成，慣性導(dǎo)航模組年產(chǎn)能可達(dá)5萬(wàn)臺(tái)套。
（2023在建）11、河南省智能傳感器MEMS中試平臺(tái)（中試線）-8英寸
據(jù)河南省公布的《2023年河南省重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目名單》最新消息顯示，《鄭州高新智能傳感器產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目（原MEMS中試平臺(tái)項(xiàng)目）》列入重點(diǎn)建設(shè)名單中，屬新一代信息技術(shù)在建重點(diǎn)項(xiàng)目，總建筑面積約6萬(wàn)平方米，主要建設(shè)河南省智能傳感器MEMS研發(fā)中試平臺(tái)所需物理空間，包括測(cè)試樓、主廠房、動(dòng)力中心、危廢品庫(kù)、硅烷站、氫氣站、化學(xué)品庫(kù)及配套用房、設(shè)施。
河南省智能傳感器MEMS中試平臺(tái)落戶鄭州高新區(qū)的中國(guó)（鄭州）智能傳感谷，于2022年8月動(dòng)工建設(shè)。
該項(xiàng)目圍繞智能傳感器的設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)和應(yīng)用等全產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)布局，建設(shè)產(chǎn)能3000-5000片/月的8吋MEMS中試平臺(tái)。
（2023在建）12、廣州增芯科技（代工）-12英寸
2022年12月14日，廣州增芯科技舉行盛大的開工儀式，增芯科技有限公司12英寸先進(jìn)MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目為最新動(dòng)工建設(shè)的12英寸晶圓項(xiàng)目。增芯科技為廣州灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司重點(diǎn)項(xiàng)目之一。
目前建設(shè)的為一期第一階段項(xiàng)目，批復(fù)投資70億元人民幣，將建設(shè)月加工2萬(wàn)片12英寸的晶圓制造量產(chǎn)線。項(xiàng)目于2022年12月開工，計(jì)劃2024上半年通線，2025年年底滿產(chǎn)。
此前，據(jù)《廣州市2022年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計(jì)劃》顯示，廣州增芯項(xiàng)目總投資達(dá)到370億元，將打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測(cè)與應(yīng)用為一體的MEMS制造平臺(tái)。項(xiàng)目一期第一階段達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能2萬(wàn)片/月；一期第二階段達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能擴(kuò)至6萬(wàn)片/月。
（2023在建）13、奧松半導(dǎo)體（IDM）-8英寸
奧松半導(dǎo)體（重慶）有限公司是廣州奧松電子股份有限公司全資子公司，其主導(dǎo)的8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目落戶重慶西部科學(xué)城。
奧松半導(dǎo)體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目，于今年6月28日開工建設(shè)，總投資35億元，用地約230畝，包含8英寸CMOS+MEMS特色傳感器芯片量產(chǎn)線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發(fā)線、智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、車規(guī)級(jí)傳感器可靠性檢測(cè)中心、產(chǎn)學(xué)研科研中心及奧松半導(dǎo)體研發(fā)辦公大樓等建設(shè)項(xiàng)目，技術(shù)能力覆蓋CMOS+MEMS特色工藝，可全面開展表面硅、體硅以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)和量產(chǎn)；具有MEMS壓阻、壓電、硅光、磁材料、MOX、微流控等相關(guān)工藝的研發(fā)和量產(chǎn)設(shè)備，大幅提升產(chǎn)品研發(fā)的成功率，可實(shí)現(xiàn)各類MEMS半導(dǎo)體傳感器產(chǎn)品從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。
14、奧松電子（IDM&代工）-6英寸
奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)，是國(guó)內(nèi)率先應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術(shù)企業(yè)，也是廣東省MEMS領(lǐng)域集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試、終端應(yīng)用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡(jiǎn)稱IDM）企業(yè)。
2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營(yíng)，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片。
奧松電子MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導(dǎo)體工藝制程，生產(chǎn)設(shè)備約占整個(gè)投資規(guī)模的70%。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程建成350納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；總項(xiàng)目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達(dá)到4萬(wàn)片，
2021年8月，奧松電子官網(wǎng)宣布對(duì)外開放MEMS芯片代工業(yè)務(wù)，包括設(shè)備共享、技術(shù)支持、企業(yè)孵化等服務(wù)。
（2023在建）15、蚌埠與214所MEMS項(xiàng)目（代工）-8英寸
2020年12月，蚌埠與214所簽約共同建設(shè)8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設(shè)項(xiàng)目，建設(shè)周期為2年、總投資10億元，建設(shè)目標(biāo)是打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)，建成后將擁有年產(chǎn)5萬(wàn)片的MEMS晶圓制造能力和每年4億顆MEMS芯片封測(cè)能力。預(yù)計(jì)2023年進(jìn)入試運(yùn)營(yíng)階段。
16、賽微電子 （代工）-8英寸
以全球MEMS產(chǎn)線計(jì)算，賽微電子是全球及中國(guó)最大純MEMS代工廠，2015年在深交所創(chuàng)業(yè)板上市，重點(diǎn)發(fā)展MEMS工藝開發(fā)與晶圓制造業(yè)務(wù)，2016年全資收購(gòu)瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開關(guān)、硅麥克風(fēng)等多種MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造的服務(wù)。
根據(jù)半導(dǎo)體市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Yole Development統(tǒng)計(jì)的2022年數(shù)據(jù)，Silex Microsystems AB 連續(xù)4年在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一。相關(guān)信息參看《最新全球MEMS晶圓廠排名出爐》
賽微電子目前國(guó)內(nèi)的MEMS產(chǎn)線位于北京，2021年6月北京8英寸MEMS產(chǎn)線（北京FAB3）一期建成生產(chǎn)，目前（2023年8月）已形成10000片/月產(chǎn)能，將在2024/2025年盡快實(shí)現(xiàn)3萬(wàn)片/月的總產(chǎn)能。
2023年，賽微電子先后宣布其MEMS濾波器芯片產(chǎn)線和MEMS微振鏡芯片產(chǎn)線正式量產(chǎn)，北京FAB3產(chǎn)線加速產(chǎn)能釋放。
目前賽微電子主要晶圓產(chǎn)線布局：
①已運(yùn)營(yíng)產(chǎn)線：瑞典FAB1&2-MEMS芯片-8英寸晶圓-產(chǎn)能7,000片/月；北京FAB3-MEMS芯片-8英寸晶圓-設(shè)計(jì)總產(chǎn)能3萬(wàn)片/月(已實(shí)現(xiàn)10,000片/月)；青島GaN產(chǎn)線-GaN外延晶圓-產(chǎn)能830片/月。
②交易中產(chǎn)線：德國(guó)FAB5-汽車芯片-8英寸晶圓-產(chǎn)能高于8,000片/月。（該交易已與2022年11月被德國(guó)政府禁止，相關(guān)信息參看：《6億收購(gòu)泡湯！中國(guó)最大MEMS代工廠被德國(guó)下禁令！》）
③籌劃/籌建中產(chǎn)線：FAB4(內(nèi)部商業(yè)討論中)；合肥FAB6-MEMS芯片-12英寸晶圓-設(shè)計(jì)總產(chǎn)能2萬(wàn)片/月；懷柔FAB7-MEMS芯片-6/8英寸晶圓-設(shè)計(jì)總產(chǎn)能3,000片/月；MEMS先進(jìn)封測(cè)P-FAB1-MEMS芯片-8英寸晶圓-設(shè)計(jì)總產(chǎn)能1萬(wàn)片/月；深圳大灣區(qū)MEMS中試線-8英寸晶圓-設(shè)計(jì)產(chǎn)能3000片/月。
17、西安勵(lì)德（代工）-6英寸
西安勵(lì)德微系統(tǒng)科技有限公司是一家專業(yè)提供MEMS一體化解決方案的技術(shù)創(chuàng)新企業(yè)。2022年3月新建千平六寸MEMS產(chǎn)線一條投產(chǎn)，涵蓋深硅刻蝕、雙面光刻、薄膜、清洗、鍵合和隱形劃片等全產(chǎn)業(yè)鏈工藝設(shè)備和對(duì)應(yīng)的測(cè)試能力，六寸中試線能夠完成從器件設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、工藝驗(yàn)證到批量生產(chǎn)等全產(chǎn)品孵化流程。
18、紹興中芯集成（代工）-8英寸
紹興中芯集成電路制造股份有限公司(下稱“中芯集成”)擁有目前中國(guó)大陸本土產(chǎn)能最大的MEMS產(chǎn)線，MEMS晶圓年銷量超85000+片。
2018年3月由中芯國(guó)際、紹興市政府、盛洋集團(tuán)共同出資設(shè)立中芯集成電路制造（紹興）有限公司。同年5月，總投資58.8億元的中芯集成電路制造（紹興）項(xiàng)目開工奠基，該項(xiàng)目用地207.6畝，新建14.65萬(wàn)平米的廠房，建設(shè)一條集成電路8寸芯片制造生產(chǎn)線和一條模組封裝生產(chǎn)線。
中芯國(guó)際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風(fēng)、加速度計(jì)、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。根據(jù) Yole 發(fā)布的《2023 年 MEMS 產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀》報(bào)告，全球主要 MEMS 晶圓代工廠中，中芯集成排名全球第五。相關(guān)信息參看《最新全球MEMS晶圓廠排名出爐》。
據(jù)2023年上半年波高顯示，產(chǎn)能方面，中芯集成應(yīng)用于車載、工控領(lǐng)域核心芯片的 IGBT 產(chǎn)能達(dá)到 8 萬(wàn)片/月，其產(chǎn)能利用率超過 95%；SiC 新建產(chǎn)能 2000 片/月，產(chǎn)能利用率超過 90%。此外公司還擁有 MOSFET 產(chǎn)能 6.5 萬(wàn)片/月、MEMS 產(chǎn)能 1.1 萬(wàn)片/月、HVIC 產(chǎn)能 5000 片/月。相關(guān)信息參看《中國(guó)大陸最大規(guī)模MEMS代工廠，上半年?duì)I收25.2億元》
中芯集成已于今年5月10日在上交所科創(chuàng)板上市，募集金額達(dá)125億元，相關(guān)信息參看《國(guó)內(nèi)最大MEMS代工廠成功上市！》。
19、青島芯恩 （代工）-8英寸
芯恩（青島）集成電路有限公司坐落于青島市西海岸新區(qū)，是中國(guó)首個(gè)協(xié)同式集成電路制造(CIDM)項(xiàng)目。芯恩實(shí)現(xiàn)高端數(shù)模混合以及特殊工藝的8英寸以及12英寸芯片、國(guó)內(nèi)先進(jìn)光掩膜版等集成電路產(chǎn)品的量產(chǎn)，結(jié)合國(guó)內(nèi)外知名芯片設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)等企業(yè)落戶，打造成與國(guó)外先進(jìn)IDM同等規(guī)模的國(guó)內(nèi)先進(jìn)的垂直整合芯片廠。芯恩（青島）特色工藝芯片包括MEMS芯片等。
20、昊潤(rùn)科技 （IDM）
山東昊潤(rùn)自動(dòng)化技術(shù)有限公司從事硅壓阻、硅電容OEM傳感器，通用型、智能型及行業(yè)專用型自動(dòng)化測(cè)控儀表的設(shè)計(jì)研發(fā)和規(guī)?；圃臁?/p>
2011年歐洲經(jīng)濟(jì)危機(jī)期間，昊潤(rùn)科技收購(gòu)芬蘭VTI公司3D-MEMS 硅電容傳感器全套生產(chǎn)線，并引進(jìn)其核心技術(shù)。因此，昊潤(rùn)科技擁有自己的3D-MEMS技術(shù)和硅電容傳感器生產(chǎn)線，年生產(chǎn)規(guī)模1500萬(wàn)只。
21、青鳥元芯 （中試線）-4/6英寸
北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限責(zé)任公司是目前國(guó)內(nèi)第一家采用MEMS技術(shù)批量生產(chǎn)微型傳感器的高科技企業(yè)。公司以"北京大學(xué)微電子學(xué)研究院"和"微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室"為技術(shù)依托，專門從事各種微型傳感器的研發(fā)和生產(chǎn)。目前，青鳥元芯擁有4 英寸/6 英寸MEMS 中試線，傳感器年產(chǎn)能達(dá)千萬(wàn)規(guī)模。已經(jīng)批量生產(chǎn)系列化微型濕度傳感器及模塊、MEMS壓力傳感器芯片、MEMS壓力傳感器、加速度傳感器及相關(guān)傳感器模塊和解決方案。
22、中電49所 （IDM&代工）-4英寸
中國(guó)電科49所是我國(guó)軍工集團(tuán)唯一專門從事電子敏感技術(shù)研究、敏感元器件與傳感器研發(fā)的專業(yè)研究所，國(guó)內(nèi)最大的傳感器產(chǎn)業(yè)研究開發(fā)基地之一。建有4英寸MEMS微加工工藝線，自主研制出壓力、加速度、流量、濕度、氣體等MEMS敏感芯片，批量生產(chǎn)SOIMEMS壓力傳感器、薄膜鉑熱敏電阻器、高分子濕敏電容、可燃?xì)怏w傳感器等產(chǎn)品。
23、英特神斯科技 （代工）
江蘇（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS軟件巨頭美國(guó)Intellisense的中國(guó)戰(zhàn)略研發(fā)機(jī)構(gòu)，在江蘇南京建有MEMS傳感器芯片工藝線，與北京大學(xué)、清華大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院等眾多科研機(jī)構(gòu)建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系。
24、浙江芯動(dòng)科技（代工）-6英寸
浙江芯動(dòng)科技有限公司位于浙江省嘉興市，是一家專注高端MEMS代工并擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)加工企業(yè)，是納杰微電子旗下公司。
芯動(dòng)科技擁有先進(jìn)的6英寸MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過程，生產(chǎn)壓力、加速度計(jì)、陀螺儀，光鏡和生物醫(yī)學(xué)等MEMS傳感器芯片產(chǎn)品。
芯動(dòng)科技目前已投入1億多用于產(chǎn)線的建設(shè)，計(jì)劃聯(lián)合資本方在未來2-3年投入5億元人民幣繼續(xù)完善制造基地的相關(guān)設(shè)備設(shè)施。該基地目前建筑面積為3000平方米，是中國(guó)最先進(jìn)的MEMS器件加工平臺(tái)之一，具備芯片制造、封裝測(cè)試等一系列的能力。
25、原位芯片（IDM&代工）-6英寸
原位芯片成立于2015年，主要研究人員由來自清華大學(xué)、中科院和海外院校的微電子、生物和機(jī)電等專業(yè)技術(shù)人才組成。原位芯片擁有一條6英寸MEMS晶圓產(chǎn)線，掌握40多項(xiàng)領(lǐng)先MEMS技術(shù)，擁有芯片設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、流片生產(chǎn)和測(cè)試的全流程自主研發(fā)、生產(chǎn)能力。
原位芯片專注于MEMS液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片和氮化硅薄膜窗格等產(chǎn)品，其自主研發(fā)的氮化硅薄膜窗口產(chǎn)品成功打破海外壟斷，液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片也是國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品首創(chuàng)。
26、華潤(rùn)微電子（IDM&代工）-6&8英寸
華潤(rùn)微電子是2002年華潤(rùn)集團(tuán)收購(gòu)華晶集團(tuán)改組而成，總部位于無(wú)錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產(chǎn)線是國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，具有國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。
華潤(rùn)微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴(kuò)充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺(tái)從6英寸升級(jí)到8英寸，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術(shù)水平和競(jìng)爭(zhēng)能力。
27、上海先進(jìn)半導(dǎo)體（代工）-5、6、8英寸
上海先進(jìn)半導(dǎo)體前身是1988年中荷合資的上海飛利浦半導(dǎo)體公司，經(jīng)過多次改制后，2019年被上海積塔半導(dǎo)體吸收合并，改制為上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司。
先進(jìn)半導(dǎo)體由傳統(tǒng)模擬芯片代工廠轉(zhuǎn)型MEMS代工， 目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圓生產(chǎn)線，MEMS生產(chǎn)線可以代工的器件包括：三軸陀螺 儀、加速度計(jì)、生物MEMS芯片、光學(xué)MEMS、RFMEMS、微流體開關(guān)、壓力傳感器等，可被廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、醫(yī)療電子以及汽車電子等領(lǐng)域。
目前，該MEMS生產(chǎn)平臺(tái)擁有世界最先進(jìn)的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設(shè)備，設(shè)計(jì)月產(chǎn)量可達(dá)3000片。
28、華虹宏力（代工）-8英寸
華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司合并而成，自建設(shè)中國(guó)大陸第一條8英寸（200mm）集成電路生產(chǎn)線起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠（華虹一廠、二廠及三廠），月產(chǎn)能約18萬(wàn)片。
在8英寸制造平臺(tái)上，華虹實(shí)現(xiàn)MEMS器件與標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝及生產(chǎn)線的全兼容。已流片的產(chǎn)品包括磁力計(jì)、加速度計(jì)、壓力傳感器等。
2023年，華虹宏力在上交所科創(chuàng)板上市，相關(guān)信息參看《中國(guó)第二大晶圓廠A股上市！》。
29、?？滴⒂?（IDM）-8英寸
?？滴⒂笆菄?guó)內(nèi)紅外熱成像巨頭?？低暺煜缕髽I(yè)，主要從事MEMS傳感器、紅外探測(cè)器芯片研發(fā)、生產(chǎn)。
2021年11月9日在投資平臺(tái)上，海康威視透露?？滴⒂耙呀?jīng)自建一條8寸MEMS生產(chǎn)線及封裝線，具備年產(chǎn)晶圓一萬(wàn)片，探測(cè)器百萬(wàn)顆的生產(chǎn)能力。
探測(cè)器產(chǎn)線潔凈面積達(dá)到800平方米、凈化級(jí)別高達(dá)10級(jí)的8英寸，擁有業(yè)界—流的集成電路設(shè)計(jì)、MEMS設(shè)計(jì)、MEMS/封裝制程開發(fā)、應(yīng)用成品開發(fā)及銷售服務(wù)團(tuán)隊(duì)。
30、愛司凱（IDM）-8英寸
愛司凱成立于2006年，致力于工業(yè)打印核心技術(shù)研發(fā)和多技術(shù)（微機(jī)電系統(tǒng)MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技術(shù)企業(yè)。目前已掌握三大核心技術(shù)：即激光技術(shù)、壓電式噴墨打印技術(shù)和精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng) ，愛司凱在廣州中新知識(shí)城建有8英寸晶圓MEMS噴墨打印頭產(chǎn)線。
31、西人馬（IDM）-8英寸
西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯(lián)合測(cè)控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車間和先進(jìn)微納米研究實(shí)驗(yàn)室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和中國(guó)先進(jìn)的MEMS器件加工平臺(tái)。
西人馬19年11月獲得朗潤(rùn)基金數(shù)千萬(wàn)A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，2021年3月獲B輪融資，發(fā)展迅速，西人馬已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)MEMS領(lǐng)域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達(dá)到幾十萬(wàn)顆。西人馬是中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)之一。
32、罕王微電子（IDM）-8英寸
罕王微電子是一家以MEMS傳感器設(shè)計(jì)及制造生產(chǎn)為核心的高科技中美合資企業(yè)，總部位于遼寧省沈撫新區(qū)，系罕王集團(tuán)控股子公司。
罕王微電子2016年收購(gòu)美信旗下MEMS傳感器業(yè)務(wù)，2018年建成國(guó)內(nèi)首條8英寸純MEMS規(guī)模化量產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程，設(shè)計(jì)晶圓產(chǎn)能36萬(wàn)片/年。生產(chǎn)傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測(cè)量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應(yīng)力傳感器等。
33、美泰科技（IDM）-6英寸
中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應(yīng)用”通過科技部組織的專家驗(yàn)收。
6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝和封裝技術(shù)用于MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線月產(chǎn)能達(dá)到1萬(wàn)片。
34、多維科技（IDM&代工）-6&8英寸
成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設(shè)有完整的第四代磁傳感技術(shù)——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應(yīng)芯片產(chǎn)線。
多維科技的磁傳感器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開發(fā)及晶圓制造服務(wù)（包括設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試），年產(chǎn)10億個(gè)TMR磁傳感器。
2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)線進(jìn)行升級(jí)，能夠進(jìn)一步強(qiáng)化“自研、自產(chǎn)、技術(shù)領(lǐng)先”的核心競(jìng)爭(zhēng)力。
35、啟泰傳感（IDM）
2006年成立，總部在湖南瀏陽(yáng)。啟泰傳感以王國(guó)秋教授為首的科研團(tuán)隊(duì)攻克了異質(zhì)膜關(guān)鍵工藝與技術(shù)，建設(shè)國(guó)內(nèi)第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線，是世界上少數(shù)幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規(guī)?；a(chǎn)能力的公司之一。
2019年8月該生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬(wàn)顆，至2021年一期工程順利完工投產(chǎn)，用地面積35畝，建設(shè)總用地面積2萬(wàn)多平米，傳感器芯片年生產(chǎn)能力可達(dá)600萬(wàn)顆，傳感器封裝200萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達(dá)10億元。
據(jù)二期項(xiàng)目正在進(jìn)行，預(yù)計(jì)完工后，傳感器芯片產(chǎn)能將達(dá)2000萬(wàn)顆，傳感器封裝1000萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達(dá)50億元。
36、高德紅外（IDM）
高德紅外創(chuàng)立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產(chǎn)型 MEMS 生產(chǎn)線，是目前國(guó)內(nèi)唯一一條自主可控且具備批產(chǎn)能力的非制冷紅外焦平面探測(cè)器生產(chǎn)線，已實(shí)現(xiàn)從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類面陣規(guī)格產(chǎn)品型號(hào)批產(chǎn)能力。
高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測(cè)器產(chǎn)線，據(jù)2021年8月消息，年底將有新產(chǎn)線投產(chǎn)，并提高3~4倍產(chǎn)能
37、士蘭微（IDM）-6&8英寸
杭州士蘭微1997年成立，是國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設(shè)計(jì)與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。
自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對(duì)加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測(cè)生產(chǎn)線，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請(qǐng)相關(guān)發(fā)明專利百余項(xiàng)。
目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計(jì)、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數(shù)字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。
士蘭微是中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)之一，據(jù)其2022上半年度報(bào)告披露，2022 年上半年，公司 MEMS 傳感器產(chǎn)品的營(yíng)業(yè)收入達(dá)到 1.5 億元，較上年同期增加 7.8%。
38、德爾森 （IDM）
德爾森集團(tuán)是一家中德合作的高新技術(shù)企業(yè)，集團(tuán)總部與產(chǎn)品設(shè)計(jì)中心位于德國(guó)法蘭克福和中國(guó)南京。
德爾森與南京市共同建立江蘇MEMS智能傳感器研究院，投資1.04億元建有基于德國(guó)CIS研究院技術(shù)的MEMS壓力傳感器芯片產(chǎn)線。
39、力盛芯 （IDM）-8英寸
力盛芯（洛陽(yáng)）電子科技公司是由臺(tái)灣LED產(chǎn)業(yè)之父石修投資建立的企業(yè)，主要生產(chǎn)微機(jī)電工藝傳感器、硅基微型聚光斗芯片和微機(jī)電工藝集成電路代工制造三大類產(chǎn)品。2017年總投資9億元，約5萬(wàn)平方米的8英寸MEMS芯片廠正式投產(chǎn)。
40、睿創(chuàng)微納（IDM）-8英寸
睿創(chuàng)微納總部位于山東煙臺(tái)，是從事專用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設(shè)計(jì)與制造的企業(yè)。
睿創(chuàng)微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線由公司與代工廠共建，已量產(chǎn)，月產(chǎn)能1500片晶圓。
2020年7月，與煙臺(tái)開發(fā)區(qū)簽署協(xié)議，建設(shè)一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導(dǎo)體工藝線。其中，化合物半導(dǎo)體芯片工藝線面向半導(dǎo)體激光器、光電探測(cè)器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高端光學(xué)MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。
41、沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院（中試線）-4英寸
沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院傳感器國(guó)家工廠研究中心是我國(guó)唯一的國(guó)家級(jí)傳感器工程研究中心，在中國(guó)傳感器研發(fā)、生產(chǎn)、應(yīng)用等方面有著舉足輕重的地位。是我國(guó)傳感器標(biāo)準(zhǔn)起草牽頭單位、傳感器行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)單位。
研究中心建有4英寸中試線，主要用于MEMS傳感器研發(fā)生產(chǎn)使用。
42、國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心（中試線）-12英寸
2021年6月30日，由國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心（簡(jiǎn)稱“創(chuàng)新中心”）建設(shè)的國(guó)內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線成功通線。
該中試線以國(guó)產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測(cè)等先進(jìn)傳感器和晶圓級(jí)3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時(shí)為國(guó)產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺(tái)，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。
43、蘇州納米城（中試線）-6英寸
蘇州納米城6英寸MEMS中試線由蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區(qū)政府出資）建設(shè)，是江蘇省“十二五”重大科技平臺(tái)項(xiàng)目。
蘇州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線采用市場(chǎng)化、全開放的運(yùn)作模式，主要開展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測(cè)試、專利運(yùn)營(yíng)、設(shè)備租賃、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品
44、諾思微系統(tǒng)（IDM）-6英寸
諾思微系統(tǒng)位于天津，是一家無(wú)線設(shè)備射頻前端MEMS濾波芯片服務(wù)商，其產(chǎn)品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術(shù)以及硅襯底的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)，同時(shí)為無(wú)線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。
諾思微已投產(chǎn)一條6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線和一條4英寸工藝研發(fā)線。廠房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬(wàn)平方米。
2021年3月，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專項(xiàng)項(xiàng)目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”的項(xiàng)目在諾思微系統(tǒng)啟動(dòng)，針對(duì)5G/6G無(wú)線通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對(duì)射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術(shù)要求，對(duì)實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國(guó)目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。
2021年8月完成4億元融資，預(yù)計(jì)在一年內(nèi)全面加速產(chǎn)能釋放，達(dá)年產(chǎn)20億顆濾波器芯片的產(chǎn)能規(guī)模。
45、武漢衍熙微器件（IDM）-8英寸
武漢衍熙微器件擁有全國(guó)第一條8寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線，具有先進(jìn)的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設(shè)備，并建立創(chuàng)新自主開發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。該產(chǎn)線主要產(chǎn)品有MEMS濾波器、雙工器等。
2018年，武漢衍熙微器件進(jìn)行項(xiàng)目擴(kuò)建，一期為租賃現(xiàn)有廠房5600平方米，建設(shè)3600平方米的無(wú)塵室車間；二期計(jì)劃建設(shè)約10000平方米的無(wú)塵室車間，用于擴(kuò)大生產(chǎn)。
46、蘇州固锝（IDM）-8英寸
蘇州固锝成立于1990年，是國(guó)內(nèi)二極管龍頭企業(yè)，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業(yè)務(wù)。
2010年固锝收購(gòu)明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺(tái)技術(shù)及八英寸晶圓級(jí)封裝技術(shù)及產(chǎn)線和產(chǎn)品研發(fā)。
2011年成立明皜傳感，從事微機(jī)電傳感器芯片和器件的工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊(cè)資本由 6443.64 萬(wàn)元人民幣增加至 7085.19 萬(wàn)元人民幣，增幅為 9.96%。
47、西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院（研發(fā)平臺(tái)）-8英寸
西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院智能傳感芯片技術(shù)研究中心依托西北工業(yè)大學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)及納米技術(shù)雙一流學(xué)科、極端環(huán)境智能微系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（培育）寧波基地、空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室寧波基地等優(yōu)勢(shì)平臺(tái)，建有國(guó)際先進(jìn)、國(guó)內(nèi)一流的硅基MEMS核心工藝加工服務(wù)平臺(tái)，團(tuán)隊(duì)實(shí)力雄厚，具有MEMS器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、批量化代工、性能測(cè)試等研發(fā)加工能力。
西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院MEMS加工平臺(tái)位于寧波市國(guó)家高新區(qū)智造港A區(qū)，擁有世界頂級(jí)SPTS深硅刻蝕機(jī)、SUSS MA/BA8 Gen4光刻機(jī)、SUSS XB8鍵合機(jī)、全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)、原子層沉積設(shè)備、兩臺(tái)電子束蒸鍍?cè)O(shè)備（金/銀/鋁等金屬、SiO2/Al2O3等介質(zhì)）、兩臺(tái)激光隱切設(shè)備（硅/玻璃）、濕法腐蝕與清洗系統(tǒng)、橢偏儀、臺(tái)階儀等MEMS工藝專業(yè)設(shè)備，設(shè)備兼容8/6/4/2英寸晶圓加工，面向全國(guó)提供MEMS芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、鍍膜、光刻、刻蝕、劃片、封測(cè)、應(yīng)用開發(fā)等全方位技術(shù)服務(wù)。
48、蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（中試線）
中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所由中國(guó)科學(xué)院與江蘇省人民政府、蘇州市人民政府和蘇州工業(yè)園區(qū)于2006年共同創(chuàng)建。研究所前瞻布局了電子信息、納米材料、生物醫(yī)學(xué)等重點(diǎn)研究領(lǐng)域，建設(shè)有用于MEMS器件研發(fā)使用的代工產(chǎn)線。
49、淄博高新區(qū)6英寸中試線
該產(chǎn)線由清華大學(xué)、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國(guó)高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司共同完成。
是國(guó)內(nèi)首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺(tái)，超凈規(guī)模國(guó)內(nèi)一流；配備了國(guó)際一流設(shè)備的中試代工線，中試生產(chǎn)能力可達(dá)月產(chǎn)傳感器十萬(wàn)只，產(chǎn)品的測(cè)試環(huán)境也居國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。
50、兵器214所（中試線）
蚌埠兵器214所智能傳感器創(chuàng)新中心已建成國(guó)家級(jí)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)國(guó)家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室和6英寸MEMS智能傳感器研制生產(chǎn)工藝線，具有設(shè)計(jì)、制造、封裝、篩選測(cè)試及應(yīng)用的全產(chǎn)業(yè)鏈研制生產(chǎn)能力，擁有豐富的完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS技術(shù)，核心發(fā)明專利300余項(xiàng)，產(chǎn)品覆蓋高端慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS傳感器、流量傳感器以及氣體傳感器等，是國(guó)內(nèi)MEMS龍頭企業(yè)和工信部傳感器“一條龍”示范企業(yè)。
51、中科院微電子所（中試線）
2016年由中科院微電子所設(shè)立的MEMS研發(fā)平臺(tái)，其8英寸MEMS中試線工藝穩(wěn)定性達(dá)到98%；針對(duì)三軸重力加速度計(jì)、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫(yī)用CT中X-ray探測(cè)、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測(cè)器等產(chǎn)品。
52、中科院電子學(xué)研究所（研發(fā)平臺(tái)）
中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所（以下簡(jiǎn)稱電子所）創(chuàng)建于1956年，現(xiàn)已并入中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院，是我國(guó)第一個(gè)綜合型電子與信息科學(xué)研究所，設(shè)有傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(北方基地)，建有用于MEMS研發(fā)使用的MEMS產(chǎn)線。
53、中科院上海微系統(tǒng)所（研發(fā)平臺(tái)）
中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)所設(shè)有傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(北方基地)，現(xiàn)有的MEMS技術(shù)平臺(tái)由微系統(tǒng)加工平臺(tái)和微系統(tǒng)封裝平臺(tái)兩部分組成，分別位于上海微系統(tǒng)所漕河涇園區(qū)內(nèi)主樓的一層和二層凈化間內(nèi)。
整個(gè)平臺(tái)擁有100多臺(tái)套先進(jìn)的大中型設(shè)備，總價(jià)值達(dá)1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測(cè)試、微系統(tǒng)集成等成套工藝，為微系統(tǒng)研究提供有力的技術(shù)保障。
54、上海微技術(shù)工研院（中試線）
2017年，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡(jiǎn)稱“工研院”）構(gòu)建的國(guó)內(nèi)首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式投入運(yùn)營(yíng)，月產(chǎn)量將達(dá)到3000件。
該產(chǎn)線部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備。作為國(guó)內(nèi)第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率。
其他
（擱置）55、賽微電子 （代工）-12英寸
2022年1月3日晚間，賽微電子發(fā)布公告，公司于2022年1月1日與合肥高新區(qū)管委會(huì)簽署了《合作框架協(xié)議》，擬在合肥高新區(qū)投資建設(shè)12吋MEMS制造線項(xiàng)目，總投資51億元，擬建設(shè)一座設(shè)計(jì)產(chǎn)能為2萬(wàn)片/月的12吋MEMS產(chǎn)線，預(yù)計(jì)滿產(chǎn)后可實(shí)現(xiàn)年收入約30億元。將是中國(guó)較具規(guī)模的12英寸MEMS產(chǎn)線之一。
賽微電子合肥項(xiàng)目公司注冊(cè)資本擬設(shè)定為40億元，計(jì)劃賽微電子占股約36%(出資約14.4億元)、合肥高新區(qū)管委會(huì)聯(lián)合市區(qū)下屬國(guó)資平臺(tái)占股約24%（出資約10億元）、項(xiàng)目核心團(tuán)隊(duì)持股約10%（出資約4億元）、其他社會(huì)資本占股合計(jì)約30%（出資約12億元）。
據(jù)2023年8月最新消息，該項(xiàng)目處于擱置狀態(tài)，啟動(dòng)日期未定。
（已破產(chǎn)清算）56、東方微磁 （IDM）
湖北宜昌東方微磁有限公司是中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一〇研究所全資子公司，是一家致力于磁學(xué)計(jì)量和中國(guó)磁電產(chǎn)業(yè)發(fā)展的高新技術(shù)企業(yè)，建有國(guó)防科技工業(yè)弱磁一級(jí)計(jì)量站、磁電子技術(shù)國(guó)家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室、湖北省磁電子工業(yè)技術(shù)研究院，擁有國(guó)內(nèi)第一條MEMS磁傳感器芯片生產(chǎn)線。
東方微磁的MEMS生產(chǎn)線2015年底全部調(diào)通，是國(guó)內(nèi)首條可滿足工業(yè)化生產(chǎn)的磁芯片生產(chǎn)線，保守產(chǎn)能為1000片/月，每年至少可生產(chǎn)月2億顆芯片，共有濺射鍍膜、光刻、真空、測(cè)試等設(shè)備進(jìn)60臺(tái)。
下載ECAD模型
